多弧离子镀调研报告.docx

多弧离子镀技术的现状调研引言物理气相沉积技术早在 20世纪初已有些应用，但在最近 30年迅速发 展，成为一门 极具广阔应用前景的新技术，并向着环保型、清洁型趋势发展20世纪 90年代初至今， 在钟表行业，尤其是高档手表金属外观件的表面处理方面得到越来越为广泛的应用离子镀技术是在真空蒸镀和真空溅射的基础上于 20世纪 60年代初发展起来的新型 薄膜制备技术，于1963年由D. M. Mattox提出，1971年Chamber等 发表了电子 束离子镀技术，1972年又出现了反应蒸发镀（ARE）技术，并制作了 TIN及TIC超 硬膜同年，MOLEY和SMITH将空心阴极技术应用于镀膜多弧离子镀属于离子镀的 一种改进方法，是离子镀技术中的皎皎者最早由苏联 人开发， 80 年代初，美国的 Multi-Arc 公司首先把这种技术实用化，至此离子镀达到工业应用水平离子镀种类很多，蒸发远加热方式有电阻加热、电子束加热、等离子电子束加热、高 频感应加热等然而多弧离子镀与一般的离子镀有着很大的区别多弧离子镀采用的是弧光放电，而 并不是传统离子镀的辉光放电进行沉积简单的说，多弧离子镀的原理就是把阴极靶作为 蒸发源，通过靶与阳极壳体之间的弧光放电，使靶材蒸发，从而在空间中形成等离子体， 对基体进行沉积。

由于多弧离子镀技术具有镀膜速度高，膜层的致密度大，膜的附着力 好等特点，使多弧离 子镀镀层在工具、模具的超硬镀膜、装饰镀膜等领域的应用越来越 广泛， 并将占据越来越重要的地位离子镀技术是当前使用面最为广泛、最为先进的表面处理技术之一，而多弧离子镀更 是其中的佼佼者据不完全统计，国内外有近一半以上表面处理使用多弧离子镀技术，尤 其是那些需要耐磨、耐蚀及特殊要求的场合随着社会的进步，科学的发展，离子镀技术 必将加完善目录引言 11 物理气相沉积技术 31.1 物理气相沉积技术种类 31.2 物理气相沉积技术主要厂商 31.2.1 PLATIT涂层设备公司 31.2.2 赛利涂层技术有限公司 41.2.3 欧瑞康巴尔查斯有限公司 41.2.4 德国PVT涂层有限公司 41.2.5 瑞士 Sulzer 41.2.6 亚特梯尔镀层科技有限公司 51.2.7 爱恩邦德技术有限公司 5匕2-8 豪泽(Hauzer)技术镀层公司 51.2.9 北京丹普表面技术有限公司 61.3 物理气相沉积技术总结 62 多弧离子镀 62.1 多弧离子镀原理及工艺 62.2 多弧离子镀工艺特点 72.3 多弧离子镀膜设备 72.3.1 多弧离子镀膜设备构成 72.3.2 多弧离子镀膜设备厂家 83 多弧离子镀技术制备银膜3.1 多弧离子镀设备制备银膜的特点 93.2 破坏银膜的主要因素 93.3 多弧离子镀设备制备银膜的改善4 生产成本分析 94.1 成本分析的目的 94.2 成本分析的根本任务 104.3 影响产品成本的主要因素： 104.3.1 建厂时带来的固有因素 104.3.2 宏观经济因素 104.3.3 企业经营管理因素 104.3.4 生产因素 114.3.5 其他影响因素 115 多弧离子镀工艺问题分析和改进方向 115.1 基体沉积温度 115.2 反应气体压强与流量 115.3 靶源电流 115.4 基体负偏压 125.5 基体沉积时间 121 物理气相沉积技术6 结语 131.1 物理气相沉积技术种类物理气相沉积 (Physical Vapor Deposition ，PVD) 技术是在真空条件下，采用物理 方法，将材料源——固体或液体表面气化成气态原子、分子或部分电离成离子，并通过 低压气体(或等离子体)过程，在基体表面沉积具有某种特殊功能的薄膜的技术。

物理气相 沉积的主要方法有 ( 1)真空蒸镀；(2)溅射镀膜；(3) 离子镀膜发展到目前，物理气相沉积技术不仅可沉积金属膜、合金膜、还可以沉积化合物、 陶瓷、半导体、聚合物膜等1.1.1 真空蒸镀真空蒸镀基本原理是在真空条件下，使金属、金属合金或化合物蒸发，然后沉积 在基体表面上， 蒸发的方法常用电阻加热， 高频感应加热， 电子束、激光束、 离子束高 能轰击镀料， 使其蒸发成气相， 然后沉积在基体表面， 历史上真空蒸镀 是 PVD 法中使 用最早的技术1.1.2 溅射镀膜溅射镀膜基本原理是充氩气的真空条件下， 使氩气进行辉光放电， 这时氩原 子电离 成氩离子，氩离子在电场力的作用下，加速轰击以镀料制作的阴极靶材， 靶材会被溅射出 来而沉积到工件表面如果采用直流辉光放电，称直流（Qc）溅射，射频（RF）辉光放电 引起的称射频溅射磁控（M）辉光放电引起的称磁控溅射1.1.3 离子镀膜离子镀基本原理是在真空条件下， 采用某种等离子体电离技术， 使镀料原子 部分电 离成离子， 同时产生许多高能量的中性原子， 在被镀基体上加负偏压 这 样在深度负偏 压的作用下，离子沉积于基体表面形成薄膜1.2 物理气相沉积技术主要厂商1.2.1 PLATIT 涂层设备公司PLATIT公司总部位于瑞士，属于BCI集团旗下企业。

该公司是目前唯一只做设备 不做涂层服务的公司 目前在国内的市场主要由代理商科汇负责， 科汇最 早在香港开了 涂层中心，于2006年在深圳成立分厂，但现在基本都转移到深圳PLATIT的最大优点 是开发纳米结构涂层，而且宣传的非常好，PLATIT的设备是目前在国内销售的最多的外国涂层设备1.2.2 赛利涂层技术有限公司赛利涂层技术有限公司原是天威赛利涂层技术有限公司， 由天威集团与德国CemeCon AG共同投资成立公司成立于2003年09月2005年04月，天威赛利成 功通过德国T V （莱茵公司）的IS09001:2000质量认证，2008年06月顺利完成了 由德国 CemeCon 独资的股权变更，公司名称变更为：保定赛利涂层技术有限 公司公司 主营业务为：PVD （物理气相沉积）与金刚石涂层产品、涂层设备、配件与耗材的制造、 销售与售后服务1.2.3 欧瑞康巴尔查斯有限公司欧瑞康巴尔查斯涂层 （苏州 ）有限公司是瑞士独资公司，注册成立于 2003年， 目 前全国有 7 个涂层中心，分别位于天津、江苏苏州、浙江温岭、陕西汉中和西 安、四川成 都、广州东莞目前我们正在建设两个新的涂层中心，分别位于在重 庆市和山东济南市。

欧瑞康已涉足六大领域：涂层、真空、光学和航空元件、纺 织品、推进系统、半导体等欧瑞康巴尔查斯产品在国市场的占有份额约为15%— 20%，这一份额已经是国内最大的 PVD涂层公司，比其它涂层公司要高出很多，目前巴尔查斯在全球市场所占份额约为三分 之一1.2.4 德国 PVT 涂层有限公司德国PVT涂层有限公司，是由德国PVT公司在中国投资设立的涂层加工中 心公 司总部在德国的本斯海姆， 目前该公司自己在国内有四个涂层中心： 黑龙 江哈尔滨、江 苏常州、浙江温岭、广东东莞德国PVT公司是当今世界上最先进的超硬涂层技术研发 和设备制造公司之一， 是专门开发设计具有世界领先水平 的离子和等离子真空镀膜设备的 高科技公司， 主要集涂层设备制造， 涂层新工艺 研发及涂层加工于一体 特别是其动态 磁场设计， 电弧运动速度快， 而且遍布整 个靶面，能够提高膜层均匀性、提高靶材利用 率、减小液滴等特点1.2.5 瑞士 Sulzer瑞士 Sulzer公司成立于1984年，1987年在德国Bevgisch Gladbach建立独立的 涂层中心，主要以MAXIT耐磨涂层为主1992年开始生产制造设备，并扩大了涂层服 务，1997年兼并了 Klocknev Ionon GmbH公司，业务范围扩展到等离子渗氮领域，即 IONIT R耐磨保护，1999扩展到装饰涂层领域。

2001年该公司被瑞士 Sulzer公司收 购，2002年扩大了 Bergisch Gladbach的IONIT和IONIT OX的生产规模，成为最大 的工业等离子表面处理制造商 2003年兼并了美国前 DB 薄膜公司，开始从事 MAXIT、IONIT、IONITOX 生产服务1.2.6 亚特梯尔镀层科技有限公司亚特梯尔镀层科技有限公司是由香港 Art Technology Development LTD 与英 国 Teer Coating LTD 共同投资组建的外资企业 Teer coating 主要强项是非平衡磁 控溅 射，公司位于东莞市凤岗镇塘沥村福民工业区，主要从事机械加工用的刀、 模具的镀层处 理，目前主要生产CrAlTiN、Graphit-iC和MoST三种高性能的镀层1.2.7 爱恩邦德技术有限公司爱恩邦德技术有限公司于2005年由lonbondAG集团投资140万美金成立了爱恩 邦德涂层（苏州）有限公司，公司下设苏州、昆山两个工厂分别位于苏州工 业园区和昆山 经济技术开发区lonbondAG集团中国总部---爱恩邦德（无锡）技术有限公司设于无 锡市高新科技技术区，lonbondAG集团致力于CVD （化学气相沉积）、PVD （物理气 相沉积）、PACV（D离子加强化学气相沉积）以及CVA （铝化学气相沉积）等多种表 面膜层技术及其设备的研发与生产。

匕2-8豪泽（Hauzer）技术镀层公司豪泽（Hauzer ）技术镀层公司是PVD技术的全球供应商，该技术广泛应用于切削 刀具、 汽车零部件及卫浴五金件 母公司易普森国际是市场上领先的真空 热处理技术供 应商，易普森工业炉（上海）有限公司是其在中国的生产基地豪 泽公司以易普森上海为 其在中国的基地，为豪泽公司先进的镀层和PVD系统的用户提供本地化的服务支持除 了为切削刀具提供一流的硬镀层外， 豪泽公司也 为硬质钢的干式高速加工以及铝、 不锈 钢和钛合金的切削刀具提供最优化的工具镀层技术和减磨镀层技术Hauzer在汽车发动 机零部件涂层上的市场份额是全球第一的，另外他最突出的涂层技术是在DLC膜上，这 几年刀具涂层方面的业务 发展迅速1.2.9 北京丹普表面技术有限公司北京丹普表面技术有限公司是由北京丹鹏表面技术研究中心和意大利普罗 泰克表面技 术有限公司于 2000年 4月共同投资兴建的中意股份合作企业主要从 事物理气相沉积（PVD）技术的研究和开发主营产品为阴极电弧离子蒸发系统和非平衡磁控溅射系统， AS系列和Propower （简称PP）系列计算机全自动控制离子镀膜设备是其主打产品。

1.3 物理气相沉积技术总结磁控溅射技术和电弧技术在工具涂层领域各有优势， 到目前为止还很难说哪 种技术 更好 磁控溅射技术这几年发展很快， 世界涂层领域在工具涂层上溅射技 术做的最好的 还是德国的 Cemecon 公司，而且涂层的产品几乎全是刀具在刀具涂层领域， 涂层设备的设计制造也有一些新的趋势 一些知名的国外 涂层设 备制造商纷纷推出电弧加溅射的涂层设备， 例如 Sulzer 的 Domino 系列涂 层设备， Balzers的Innova，以及豪泽公司的涂层设备因此溅射技术还是存在电弧技术代替不了 的优势的最近两年来，高能脉冲磁控溅射技术炒的很热以 Cemecon 和 Hauzer 公司 为代 表，已经推出了采用这种技术的涂层设备 从原理上讲， 这确实是一种能够 结合电弧和 溅射技术所有优点的涂层技术 如果发展的顺利， 高能脉冲磁控溅射 技术将代表工具涂 层技术未来的发展方向在国内物理气相沉积镀膜设备主要是以进口为主， 目。