微流控芯片简介最新课件.ppt

苏州汶颢芯片科技有限公司Suzhou Wenhao Chip Technology Co., Ltd.1一、什么是微流控芯片：微流控芯片技术(Microfluidics)是把生物、化学、医学分析过程的样品制备、反应、分离、检测等基本操作单元集成到一块微米尺度的芯片上， 自动完成分析全过程Lab on a chip!2微流控是一种精确控制和操控微尺度流体，尤其特指亚微米结构的技术 特别的，微意味着以下的特性：微小的容量（纳升，皮升，飞升级别）微小的体积低能量消耗装置本身占用体积小微流控利用对于微尺度下流体的控制，是一个包括了工程学，物理学，化学，微加工和生物工程的多交叉学科微流控在20世纪80年代兴起，并在DNA芯片，芯片实验室，微进样技术，微热力学技术得到了发展微流控研究的空间特征尺度范围在1微米(10-6米)至1毫米(10-3米)3生物医学领域：可以使珍贵的生物样品和试剂消耗降低到微升甚至纳升级，而且分析速度成倍提高，成本成倍下降化学领域：它可以使以前需要在一个大实验室花大量样品、试剂和很多时间才能完成的分析和合成，将在一块小的芯片上花很少量样品和试剂以很短的时间同时完成大量实验分析化学领域：它可以使以前大的分析仪器变成平方厘米尺寸规模的分析仪，将大大节约资源和能源42004年，美国期刊《商务2.0》（Business2.0）的封面文章“七大新技术将改变一切”中第五种即是微流控芯片系统2006年Nature杂志就这种可能会成为“这一世纪的技术”推出专辑。

微流控芯片系统作为第三次产业革命“生物科技革命”的佼佼者正重演当初电子芯片的蓬勃发展态势，它必将改变人类将来的生活方式1995年全球第一家微流控芯片企业Caliper Technologies（现名：Caliper Life Sciences）在美国成立，一年即集资近千万美元，而后1999年成功上市，同年市值达到了7500万美元，并于2011年达到市值10亿美元5微流控芯片系统涉及领域极其广泛，包括疾病检测、生化分析、蛋白质检测、药物筛选、毒品检测、商品检验、环境监测、刑事科学、军事科学及航天科学等，覆盖人们生活的方方面面6Nannan Ye,aJianhua Qin,*aWeiwei Shi,aXin LiuaandBingcheng Lin*aLab Chip, 2007,7, 1696-1704a 7R.H. Liu, J.N. Yang, T. Lenigk, J. Bonanno, P. Grodzinski, Anal. Chem.76 (2004) 1824.几千元几十万元8如何组成一套微芯片系统微流控芯片技术(Microfluidics)Micro：微小的 fluidics：应用流体学进样器芯片检测器9进样器注射泵：工作时，单片机系统发出进样器控制电机带动脉冲使步进电机旋转，而步进运动，推动注丝杆将旋转运动变成直线射器的精度，平稳无脉动的液体传输。

活塞进行注射输液，实现高恒压泵：恒流泵精准、耐用、输送流量稳定，连续可调有较高的压力和扬程，而且输送物质不与外界接触，防止污染，各种流量加液抽液有微量输送，也可作小型罐装用10进样器电泳：带电颗粒在向着与其电性相反的电极移动，电场作用下，称为电泳利用带电粒子在电场中移动速度(electrophoresis, EP)不同而达到分离的技术称为技术电泳磁分选或:处于磁场中的受到电流磁性物质的物质进行分离磁力，会因为磁场的作用而感，从而与其他不带磁性热传导：到另一部分或由一个系统传到另热量从系统的一部分传一个系统的现象叫传热传热11进样器: 利用液12重力驱动体自重完成进样离心力驱动离心力驱动Centrifugal Microfluidics PlatformAnal. Chem. 2002, 74, 5569-557513微芯片制备和反应：将常规的混合，加热等步骤，在芯片上通过液体的流路控制来实现Anal. Chem.2002, 74,1565-157114培养：将常规的微生物、细胞、组织培养进行微型化，通过结构设计，把微通道变成培养皿，同时进行温度、湿度、气体浓度控制，实现生物培养功能15分离：对通道内进行修饰或者外加驱动力，根据停留时间不同实现不同物质的分离，达到常规色谱或者电泳的分离效果。

16检测器光谱检测器：光谱仪( Spectroscope)是将成分复杂的光分解为光谱线的科学仪器，由棱镜或衍射光栅等构成，利用光谱仪可测量物体表面反射的光线阳光中的七色光是肉眼能分的部分(可见光)，但若通过光谱仪将阳光分解，按波长排列，可见光只占光谱中很小的范围，其余都是肉眼无法分辨的光谱，如红外线、微波、紫外线、X射线等等通过光谱仪对光信息的抓取、以照相底片显影，或电脑化自动显示数值仪器显示和分析，从而测知物品中含有何种元素17电化学检测器：以测量某一化学体系或试样的电响应为基础建立起来的一类分析方法它把测定的对象构成一个化学电池的组成部分，通过测量电池的某些 物理量，如电位、电流、电导或电量等，求得物质的含量或测定某些电化学性质18质谱显微成像19有哪些微流控芯片从材料分PDMS PMMA PC等）20有机聚合物芯片（玻璃芯片纸芯片其他有哪些微流控芯片PDMS: 聚二甲基硅氧烷作为一种高分子有机硅化合物，通常被称为有机硅具有光学透明，且在一般情况下，被认为是惰性，无毒，不易燃最广泛使用的硅为基础的有机聚合物材料，其运用包括在生物微机电中的微流道系统、填缝剂、润滑剂、保护剂等21分为A(基本组分)，B(固化剂)两个组分混合均匀后加热固化固化后为透明软质材料优点：惰性，生物相容性，透明，易加工缺点：软，对蛋白质有吸附作用22有哪些微流控芯片PMMA（聚甲基丙烯酸甲酯） PC （聚碳酸酯）俗称有机玻璃，亚克力，透明材料中质地最优异，价格又比较适宜的品种PMMA树脂是无毒环保的材料，可用于生产餐具，卫生洁具等，具有良好的化学稳定性、和耐候性，在破碎时不易产生尖锐的碎片23PC是几乎无色的玻璃态的无定形聚合物，有很好的光学性。

PC高分子量树脂有很高的韧性，主要性能缺陷是耐水解稳定性不够高，对缺口敏感，耐有机化学品性，耐刮痕性较差，长期暴露于紫外线中会发黄和其他树脂一样，PC容易受某些有机溶剂的浸浊原料为透明板材，通道加工有模具热压，机床切割加工等24玻璃:硼硅酸盐玻璃：以 SiO2和B2O3 为主要成分，具有良好的耐热性和化学稳定性，用以制造烹饪器具、实验室仪器、金属焊封玻璃等硼酸盐玻璃以 B2O3为主要成分，熔融温度低，可抵抗钠蒸气腐蚀含稀土元素的硼酸盐玻璃折射率高、色散低，是一种新型光学玻璃磷酸盐玻璃以 P2O5为主要成分，折射率低、色散低，用于光学仪器中石英玻璃：SiO2含量大于99.5%，热膨胀系数低，耐高温，化学稳定性好，透紫外光和红外光，熔制温度高、粘度大，成型较难多用于半导体、电光源、光导通信、激光等技术和光学仪器中钢化玻璃：属于安全玻璃钢化玻璃其实是一种预应力玻璃，为提高玻璃的强度，通常使用化学或物理的方法，在玻璃表面形成压应力，玻璃承受外力时首先抵消表层应力，从而提高了承载能力，增强玻璃自身抗风压性，寒暑性，冲击性等25其他纸芯片金属芯片凝胶芯片等等26芯片制作与修饰微结构的形成1．经典的光刻技术? 适合硅、玻璃、石英等材料，与传统的半导体工业的方法一致。

分为湿法和干法两种，干法的分辨率较湿法高，相应的制造成本也高Analyst, 2004, 129, 305–308Photolithograph proceduresformakingglass template. (a) Spine coatingofphotoresist, (b) covered with photomask, (c) exposure, (d) developing, (e)etching, and (f) removalofphotoresist.272．模版浇注法（模塑法）适合聚合物材料大批量生产时成本低Anal. Chem., 2002, 74, 78A-86A微结构的形成Process overviewformass manufacturingofplastic microfluidicsystems28??微结构的形成3．模版热压法适合热塑性聚合物Applied Physics Letters, 2002, 80, 3614-3616Schematicrepresentationofthefabricationmethodinvolvinghotembossingofthermoplastic polymerpellets and thermal bonding.29?汶颢芯片科技汶颢芯片科技微结构的形成4．激光刻蚀法用激光直接在聚合物或玻璃上加热形成微结构.Anal. Chem., 1997, 69, 2035 -2042 30芯片的封装1．热键合对玻璃和石英材质刻蚀的微结构一般使用热键合方法，对玻璃和石英材质刻蚀的微结构一般使用热键合方法，将加工好的基片和相同材质的盖片洗净烘干对齐紧贴后平将加工好的基片和相同材质的盖片洗净烘干对齐紧贴后平放在高温炉中，在基片和盖片上下方各放一块抛光过的石放在高温炉中，在基片和盖片上下方各放一块抛光过的石墨板，在上面的石墨板上再压一块重墨板，在上面的石墨板上再压一块重0.5kg0.5kg的不锈钢块，的不锈钢块，在高温炉中加热键合。

玻璃芯片键合时，高温炉升温速度在高温炉中加热键合玻璃芯片键合时，高温炉升温速度为为1010o oC/C/分，在分，在620620o oC C时保温时保温3.53.5小时，再以小时，再以1010o oC/ C/ 分的速分的速率降温石英芯片键合温度高达率降温石英芯片键合温度高达10001000o oC C以上此方法对操以上此方法对操作技术要求较高作技术要求较高现代科学仪器，2001，4，8-1231芯片的封装2．阳极键合在玻璃、石英与硅片的封接中已广泛采用阳极键合的方法在玻璃、石英与硅片的封接中已广泛采用阳极键合的方法即在键合过程中，施加电场，使键合温度低于软化点温度即在键合过程中，施加电场，使键合温度低于软化点温度在在500-760500-760 伏电场下，升温到伏电场下，升温到 500oC500oC 时，可使两块玻璃片时，可使两块玻璃片键合在两块玻璃板尚未键合时，板间空气间隙承担了大部分键合在两块玻璃板尚未键合时，板间空气间隙承担了大部分电压降，玻璃板可视为平行板电容器，板间吸引力与电场强度电压降，玻璃板可视为平行板电容器，板间吸引力与电场强度的平方成正比，因此，键合从两块玻璃中那些最接近的点开始，的平方成正比，因此，键合从两块玻璃中那些最接近的点开始，下板中可移动的正电荷（主要是下板中可移动的正电荷（主要是 Na+Na+ ）与上板中的负电荷中和，）与上板中的负电荷中和，生成一层氧化物（正是这层过渡层，使两块玻璃板封接），该生成一层氧化物（正是这层过渡层，使两块玻璃板封接），该点完成键合后，周围的空气间隙相应变薄，电场力增大，从而点完成键合后，周围的空气间隙相应变薄，电场力增大，从而键合扩散开来，直至整块密合。

键合扩散开来，直至整块密合现代科学仪器，2001，4，8-1232汶颢芯片科技汶颢芯片科技3．室温键合Anal. Chem. 2004, 76, 5597-560233芯片的封装4．贴合（等离子处理或者不处理）将聚合物薄片直接覆将聚合物薄片直接覆盖在玻璃或石英板上盖在玻璃或石英板上5．压合Schematic illustrationofsealing andconnection method. The top andbottom plates are pressedbya screwandholders.Anal. Chem. 2002, 74, 1724-172834汶颢芯片科技汶颢芯片科技表面修饰1．作为色谱固定相Anal. Chem. 2003, 75, 64A-69AAnal. Chem. 2002, 74, 784-789coating of channel walls with something, e.g.octadecylsilanes, to create stationary phases35表面修饰2．固定化酶Schematicdiagramofstreptavidin-conjugatedalkaline phosphatase boundtoasupportedlipidbilayercontaining biotinylated lipids.Anal. Chem. 2002, 74, 379-38536表面修饰3．固定化生物膜Langmuir 2003, 19, 1624-163137表面修饰4．亲水或疏水修饰Analyst 2004, 129, 284-28738需要什么条件超净间:超净间(Clean Room)，亦称为无尘室或清净室。

「超净间」是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间亦即是不论外在之空气条件如何变化，其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性 超净间最主要之作用在于控制产品（如硅芯片等）所接触之大气的洁净度日及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造，此空间我们称之为「超净间」工业超净间工业超净间以无生命微粒的控制为对象主要控制空气尘埃微粒对工作对象的污染，内部一般保持正压状态械工业、电子工业（半导体、集成电路等）宇航工业、高它适用于精密机纯度化学工业、原子能工业、光磁产品工业（光盘、胶片、磁带生产）等多行业LCD （液晶玻璃）、电脑硬盘、电脑磁头生产生物超净间生物超净间主要控制有生命微粒（细菌）与无生命微粒（尘埃）对工作对象的污染又可分为；制微生物（细菌）对象的污染同时其内部材料要能经受A、一般生物超净间，主要控各种灭菌剂侵蚀，内部一般保证正压实质上其内部材料要能经受各种灭菌处理的工业超净间例：制药工业、医院（手术室、无菌病房）食品、化妆品、饮料产品生产、动物实验室、理化检验室、血站等。

B对外界和人的污染内部要保持与大气的负压例：细菌、生物学安全超净间：主要控制工作对象的有生命微粒学、生物学、洁净实验室、物物工程（重组基因、疫苗制备）39光刻机:光刻机/紫外曝光机（Mask Aligner) 又名：掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统等常用的光刻机是掩膜对准光刻，所以叫 Mask Alignment System.一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀、等工序Photolithography（光刻） 意思是用光来制作一个图形（工艺）；在硅片表面匀胶，然后将掩模版上的图形转移光刻胶上的过程将器件或电路结构临时“复制”到硅片上的过程40等离子清洗机(plasma cleaner):也叫等离子表面处理仪，是一种全新的高科技技术，利用等离子体来达到常规清洗方法无法达到的效果等离子体是物质的一种状态，也叫做物质的第四态对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态等离子体的“活性”组分包括：离子、电子、活性基团、激发态的核素（亚稳态）、光子等等离子清洗机就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面，从而实现清洁等目的41数控机床:是数字控制机床（Computer numerical control machine tools）的简称，是一种装有程序控制系统的自动化机床。

该控制系统能够逻辑地处理具有控制编码或其他符号指令规定的程序，并将其译码，用代码化的数字表示，通过信息载体输入数控装置经运算处理由数控装置发出各种控制信号，控制机床的动作，按图纸要求的形状和尺寸，自动地将零件加工出来数控机床较好地解决了复杂、精密、小批量、多品种的零件加工问题，是一种柔性的、高效能的自动化机床，代表了现代机床控制技术的发展方向，是一种典型的机电一体化产品42注射泵：注射泵由步进电机及其驱动器、丝杆和支架等构成，具有往复移动的丝杆、螺母，因此也称为丝杆泵螺母与注射器的活塞相连，注射器里盛放药液，实现高精度，平稳无脉动的液体传输43苏州汶颢芯片科技有限公司Suzhou Wenhao Chip Technology Co., Ltd.祝你成功！44。