PDS Handbook 制程排放管路系统工程手册(全).docx

PDS Handbook 制程排放管路系统工程手册第一章 系统设计1. PDS系统定义及分类(PDS系统定义及分类可以根据不同厂区的不同要求有所改变),NO.Description DraindefinitionAbbreviation1Acid/Caustic waste water drainincl. SC2, HCl , H2SO4 , H2O2 , Developer（不含胺，氟）, scrubber and exhaust drain waste waterDWW-A2Reclaim water-first drainDI (Hot & Cold) First rinse ,the waste rinse waterDRW-F3Reclaim water-last drainincl. Second rinse and after rinse waste waterDRW-L4MUA condensate drainMUA condensate water drainDMUA5Concentrated fluoride drainAbove 1 wt % CHF waste waterDCHF6Diluted fluoride drainDHF 20:1 , 50:1 , 100:1 drain, M1/ M2 ,DDHF7IPA drainIPA drain(浓)DIPA8Solvent-1 drainincl. NMP, Acetone, Diluted IPA drain waste water, GC 废溶剂排放DSOL-19Solvent-2 drainincl. EKC waste water drainDSOL-210Local solvent-1 drainincl. EBR waste water drainDLocal-111Local solvent-2 drainincl. TOK 105, C260, A515 waste water drainDLocal-212Sulphuric acid drainincl. H2SO4 drain water,DH2SO413Phosphoric acid drainincl. H3PO4，M2 drain water,DH3PO414Grinding waste drainincl.Backside-grinding drain waterDBG15Copper waste water drainincl. Slurry-Copper clean drain water，ECP CuSO4 tools Rinse waterDWW-Cu16Copper concentrate drainincl.Slurry-Copper concentrate waterDSlurry-Cu17Metal slurry drainincl. Slurry-Metal drain waterDSlurry-Metal18Oxide slurry drainincl. Slurry-Oxide drain waterDSlurry-Oxide19Floor drainFab I & 3B 2F floor waste water (except HF,others acid and caustic could drain to this piping)DFloor drain20NH4OH drainincl. NH4OH drain waste water，SC1，BOE 10:1, 50:1 , 130:1, BOE 1200,TMAH，DNH4OH21CMP Clean Water draindrain waterDCMP-Clean2. PDS管路设计通则2.1 承包商应该设计和安装附属的管道支撑钢架以增强主建筑钢构的需要2.2 大部分情况管线设计给予稍微倾斜,范围在0.3-0.5%，管线倾斜给予管线充足的排放, 同时消除介于管支架间下垂之影响2.3 管架位置必须和管线上之配件同作考虑来决定, 如重阀,主管,法兰,插接等2.4 禁止用一管道支撑另一管道2.5 水平管道吊杆应该用集中负荷型夹具附挂在钢梁上或焊接在插在混泥土内的梁片2.6 设计管路原则上不留阀，管路尽可能直接能重力流到处理点。

进出建筑物时，为避免建筑物沉降影响管路使用，建议增加软接3. PDS管路安装设计要求3.1 通常情况下，分段的DWWA支管在联结合一后再接入DWWA主管这种接法可能因各分段的DWWA水质不同而在联结段发生沉淀反应引起堵管的风险（LESSON LEARN 4.2）并且为防止化学反应，堵塞管道，应该避免把local scrubber的排水连接到DWWA管路，而建议铺设单独排放到WWT系统的管路（LESSON LEARN 4.16）3.2 不同种类的SOLVENT最好可以用不同的Drain管直接排放到相应的桶槽内，以免不同种类的Solvent相互反应而引起结晶或沉淀堵管（LESSON LEARN 4.1）3.3 BG废水排放管路在由机台排放至管路之前建议安装沉淀槽，预沉淀其中部分容易沉淀的SS，以免造成后段堵管（LESSON LEARN 4.3）3.4 设计施工中要考虑Drain Check Sensor与机台的连锁，是否会因sensor的异常而引起机台当机（LESSON LEARN 4.4）3.5 施工过程中要考虑在SCRUBBER Drain系统排放管路安装过滤器，以防止因为结晶的硫酸铵堵塞管路（LESSON LEARN 4.5）。