单靶镀膜工艺操作规程.doc

编 号 ZHKJ--1单 靶 镀膜工 艺 操 作 规 程第 A 版 第 0 次 修 改山 东 中 恒 科 技 有 限 公 司 第 1 页 共 4 页1. 适用范围本规程规定了单 靶 镀膜操作的技术要求和操作步骤2. 技术要求2.1 铝靶的直径≥60mm ；2.2 压缩空气的压强应达到 0.4～0.6Mpa；2.3 镀膜操作室的室温小于 35℃，相对湿度小于 70%RH；2.4 镀室内清洁，无灰尘、异物3. 操作步骤3.1 工作准备3.1.1 打开压缩空气阀门，检查空气压强是否达到 0.4～0.6Mpa3.1.2 打开冷却循环水阀门，同时检查通水状况是否良好，各水管的接头和阀门有无泄漏3.1.3 检查氩气、氮气两种气体的联接状况，看接头是否有泄漏,分别打开氩气、氮气的总阀3.2 开机3.2.1 开启本机电源3.2.2 将机箱控制面板上的电源开关置于“开”的位置，手动状态下，打开“机械泵” ，延时 1 分钟后，压差阀自动打开，按下“前级阀”按钮，当电离计显示数值低于 8Pa 时，开“机械泵扩散泵” ，扩散泵加热扩散泵加热温度超过 160℃后，方可进行正常的操作。

3.2.3 缓慢调节氩气、氮气减压阀，得氩气、氮气的低压表读数控制在 0.1-0.2MPa之间编 号 ZHKJ--1集 热 管 单 靶 镀膜工 艺 操 作 规 程第 A 版 第 0 次 修 改山 东 中 恒 科 技 有 限 公 司 第 2 页 共 4 页3.2.4 打开质量流量计显示器电源开关3.2.5 打开计算机电源，输入工艺卡片中规定的工艺参数3.2.6 打至 “放气”按钮，放完气后打到“停” ，然后打开镀室门3.3 装管3.3.1 打开转架电源开关，将合格内管插入转架插杆装管时，预先戴好一次性手套，外层再戴上干净的细纱手套，戴好之后不许触摸其他物品，如门、车把、桌椅等3.3.2 玻璃管全部插满插杆后，观察每支管子的自转状态，确定玻璃管间无碰撞后，关闭转架电源开关，关闭镀室门3.4 粗抽真空将“前级”拨到“停”拨到“粗抽”系统进入“粗抽” ，复合计开始显示读数3.5 精抽真空当复合计显示值小于 8Pa 时，将按钮由“粗抽”拨到 “停”然后到“前级”再到“高阀” 3.6 溅射镀膜3.6.1 当高真空达到工艺设定（复合计显示值）后，将按钮达到“光栏”按下“氩气”开关将质量流量计达到“自动” “阀控” 。

开始进氩气3.6.2 打开转架旋转电源开关、慢慢调至 80±10V3.6.3 当电离计显示到工艺压强时，打开靶电源，调节电流旋钮至规定电流值直到电压达到 400V，按下“运行”开始镀膜3.6.4 当镀膜机处于溅射工作状态时，操作工随时观察设备的运行状态，注意各仪器仪表显示的数值变化，严格按要求填写《镀膜操作记录》 编 号 ZHKJ--1集 热 管 单 靶 镀膜工 艺 操 作 规 程第 A 版 第 0 次 修 改山 东 中 恒 科 技 有 限 公 司 第 3 页 共 4 页3.7 装配支架3.7.1 装填支架前，检查支架清洗是否干净，焊接是否牢固3.7.2 支架装填到外管的圆头部，装填时应避免划伤外管的内壁装填支架必需使用专用工具并配戴一次性手套，不得用手直接接触支架以免造成污染3.8 终止溅射镀膜 计算机程序运行到 1 秒后，执行如下操作：当镀室内真空度达到 9.0×10-2Pa 以上后，将“高阀”关闭，达到“前级”状态，将按钮达到“放气”放完气后达到“停”3.9 出管3.9.1 取管：手握已镀膜管下部垂直往上提，使管口脱离转架轴，将镀膜管移出镀室。

3.9.2 内外管装配：手握已镀膜内管，管口向上，管身竖直放入外管中；放入时应注意避免内管的圆头划伤外管内壁，使其轻缓下落，直至接触到支架内管装入外管后，按住内管端口往下轻压，使支架包住圆头3.10 连续工作时重复 3.3～3.9 的操作步骤3.11 产品经自检合格后，由操作工在内管管口部位印上工号，转下工序3.12 关机当镀膜机要停止工作时，执行如下机程序：3.12.1 在镀膜机停止工作前，先关镀室门，打开 “粗抽”按钮，将镀室真空度抽到 8Pa 以下3.12.2 然后将“粗抽”拨到“停”拨到“前级” ，将按钮“机械泵扩散泵”拨到“机械泵” ，冷却（60℃之后）关掉“前级”关掉“机械泵” 编 号 ZHKJ--1集 热 管 单 靶 镀膜工 艺 操 作 规 程第 A 版 第 0 次 修 改山 东 中 恒 科 技 有 限 公 司 第 4 页 共 4 页3.12.3 关两气总阀（高压、低压） 3.12.4 关循环水，关电源总开关3.12.5 若设备关机后长期停放，则需放净水套及盘管内的循环水，并用高压空气吹干4. 质量标准整体膜色均匀，管口无明显变浅区，膜层无划伤、无脱落；内外管及卡子装配到位。

5. 检查方法目测编制： 审核： 批准：日期： 日期： 日期：1. 在组织间主任的指导下，安排本班组的日常生产，并处理生产过程中的各种问题 2. 做好本班组员工之间的工作协调 3. 按照工艺规程指导本班组人员生产 4. 编写岗位操作规程，经批准后贯彻执行，并经常检查和指导各岗位正确执行 5. 负责车间工艺指标执行情况的日常检查，保证生产稳定运行 6. 组织本班组员工严格按照工艺规程和操作规程执行 7. 负责组织、检查本班组各种原始记录、工艺记录 8. 负责班组生产报表的制定 8. 协助车间主任对发生的技术质量事故进行调查、分析、处理 9. 做好班组安全生产检查工作，及时记录，对发现问题及时处理并向上级汇报 10. 做好本班组现场 5S 管理 11. 负责各项生产纪律的落实、检查考核 12. 负责班组下属员工的培训、考核工作 13. 负责班组级安全教育 14. 领导安排的其它工作。