一色率阶段报告.pdf

一色率阶段报告工艺技术部 陆明涛 侯庆传 2014-09-16目录• 主题选定 • 制定目标 • 定义及原因分析 • 数据分析与实验 • 效果确认 • 标准化 • 成果比较主题选定• 7月份1色率呈整体下降趋 势，7.1-7.15 平均1色率 43.05%，7.16-7.30 平均一 色率33.51%，整体下降了 9.54% • 一色率的稳定、控制和提升 作为重要的项目内容制定目标• 一色率目标：60%• 目前水平30%以下第一部分 定义及原因分析• 1.一色率定义• 2.要因鱼骨图• 3.控制矩阵图1.一色率定义• 目前分为10个色系：天蓝、淡1、淡2、淡3、淡4、 蓝1、蓝2、蓝3、蓝4、隔离片、深蓝 • 其中：一色：淡1、淡2、蓝1、蓝2 •两色（相近色）：淡3、淡4、蓝3、蓝4 •天蓝和深蓝以及隔离片，客户拒收，不分一色 和两色 • 一色率指检验数据中一色的电池片总数占检验总数 的比例，即淡1、淡2、蓝1、蓝2的总数占10个色系 总数的比例 • 单色双色比例：一色两色的总数占10个色系总数的 比例颜色 天蓝 淡1 淡2 淡3 淡4 蓝1 蓝2 蓝3 蓝4 隔离片 深蓝一色率低一色率低TTV 大大厚薄边方向不一致厚薄边方向不一致机器线别差异机器线别差异减薄量波动大、轨道间差异大减薄量波动大、轨道间差异大硅片入制绒槽后铺液异常硅片入制绒槽后铺液异常检验手法不一致检验手法不一致检验标准不统一检验标准不统一工艺差异工艺差异石墨舟状态差石墨舟状态差机器状态差异机器状态差异膜厚折射率控制差膜厚折射率控制差插片不到位插片不到位2.要因鱼骨图• 要因鱼骨图3.控制矩阵图 • 目前控制手段项目内容负责工序/ 人现状日常控制手段是否有记录控制行动项行动项负责人实验验证1 原材料 ttv厚的在盒子上部IQCIQC控制IQC检验时抽检，每天早上产线抽检 4-10盒无抽检燕云之前实验验证厚边朝前最好，暂时不重复 实验2上料手法标准化 并执行工艺 制造 培训 抓执行阶段一色率检查表 当班监督填写，《一色率检查表 》抽检 监督现场组+侯庆传实验确认间距 手法 平齐 铺液 正常状态 下 一色率情况3双人上料 平齐制造执行阶段一色率检查表 当班监督填写，《一色率检查表 》抽检 监督现场组4间距3cm-5cm制造执行阶段一色率检查表 当班监督填写，《一色率检查表 》抽检 监督 及报警频次现场组5轨道差异工艺工艺交接日记内容 0.02g以内cpk 极差 与一色率关系分析，数据 真实性检查《一色率检查表 》0.02g以内 越小越好现场组+工程师6减重控制偏上限0.4-0.42工艺制绒SPC控制表cpk 极差 与一色率关系分析，数据 真实性检查《制绒减薄量记 录表》《制绒SPC 控制表》《一色 率检查表》0.40-0.42g现场组之前结论高减薄量好，暂时不做7模糊晶界工艺okcpk 极差 与一色+C4+F9:I11率关系 分析，数据真实性检查《一色率检查表 》按照标片标准调现场组+工程师8绒面线别差异及一致性工艺有差异 3线量 有绒丝 4线暗 无绒丝 1线 添加剂 模糊晶界好 有绒丝 发亮工程师制定标片，当班按标片标准控 制《一色率检查表 》按照标片标准调现场组+工程师制绒1.4线对比两次4线别3线高11% 0.52% 继续重复验证中9铺液（间距及上料平齐必须保 证）工艺已经降低泵浦（原来85 85） 1线80 75 3线80 70 4线80 75 制造保证上料间距和硅片平齐，硅片不铺 液一色率检查表 当班监督填写《一色率检查表 》抽检现场组实验设计完成，后面进行实验10镀膜工艺差异工艺产线1.2.3线为新工艺 4线为原来工艺测试膜厚折射率等待验证11镀膜线别石墨舟状态工艺有石墨舟寿命监控、卡点每3个月更换一 次，异常舟及时维修和更换舟使用100次换下清洗石墨舟看板，每 班更新工夹具管理员同一炉管不同石墨舟的差异12膜厚折射率控制工艺当班每各班测试一条线并控制膜厚，其它 线有异常制造部通知后进行调整当班每各班测试一条线并控制膜厚， 其它线有异常制造部通知后进行调整有所有炉管，上午一次，下 午一次 13镀膜线别机器状态工艺 14镀膜相同工艺的线别差异工艺同舟不同炉管的差异15检验环境FQC1.3.4线亮度基本相同 2线亮度大无同一人在不同线检验台对 比段淑霞等待验证16检验手法FQC检验手法为每人检验固定的档位，并分选 10中颜色领班进行确认和对标，对分线进行评 价无一定数量硅片进行对标段淑霞17检验人员FQC新员工参与检验，检验后所有硅片老员工 进行检查新员工检验后的硅片老员工进行确 认，并进行评价无一定数量硅片进行对标段淑霞对标实验片2组，FQC员工最大差异23%， 后续做200片以上的对比18 标准客户客户没有数据标准，目前产线很多电池片 膜厚差异在3-6nm附近，很难评定为1色还 是2色无无与客户对标周小川已经选片，和客户沟通中，寄送样片或是 随货送样制绒镀膜FQC上页重点项目汇总：上页重点项目汇总： • 1.IQC逐盒检查，根据“粘胶面”和两边厚度差判定 厚边，并将厚边放置在盒子上方 • 2.制绒按照之前的控制手段控制，主要是： 制造部：上片手法统一（取片上片方式、上料平齐）上片手法统一（取片上片方式、上料平齐）、间 距3-5cm间 距3-5cm 工艺技术部：减薄量偏上限控制，轨道差异控制轨道差异控制，铺液情 况检查，绒面一致性检查和控制（模糊晶界控制、线别绒面差 异） • 3.PE膜厚折射率控制3.PE膜厚折射率控制，石墨舟定管定舟石墨舟定管定舟，石墨舟寿 命控制。

石墨舟寿 命控制 • 4.FQC领班对标接上页第二部分 数据分析与实验数据分析和实验• 1.IQC检验情况调查及改善 • 2.片源与一色率的关系（参考） • 3.淡蓝比例与一色率的关系 • 4.1线4线一色率差异分析及实验 4.1 制绒差异 4.1.1 制绒开线波动对一色率的影响 4.1.2 制绒1线 4线 精确对比 4.2 镀膜差异（暂时未分析） 4.3 FQC检验差异4.3.1 FQC差异分析4.3.2 与客户对标情况1.IQC检验情况调查及改善• IQC厚边放置在盒子上方抽检数据如下： • 合格率平均在85%左右合格率平均在85%左右日期厂家 批次 检验盒数 合格盒数不合格盒数合格率不合格率合格率不合格率 9.4润丽98087187.5%12.5%87.5%12.5% 9.5润丽98087187.5%12.5%87.5%12.5% 9.7润丽9802823582.1%17.9% 4437784.1%15.9%82.1%17.9% 4437784.1%15.9% 9.10高佳9876253985.5%14.5%85.5%14.5% 9.12高佳9903229390.6%9.4%汇总90.6%9.4%汇总接上页• IQC检验手法的改善：IQC检验手法的改善： • 根据边缘亮晶晶还是光滑 判定是否厚薄边位置不对，亮晶晶 的是位置错误的判定100%准确。

• 前提条件：前提条件：先根据“粘胶面”判定厚薄边 • 动作更改：动作更改：IQC检验时， 先根据“粘胶面”判定 厚薄边并将厚边向上放置 然后再看上方表面的亮晶晶 或是光滑，将亮晶晶的面 向下放置下一步：手法更改后再次追踪数据下一步：手法更改后再次追踪数据2.片源与一色率的关系（参考）6月份1色率46.31% 7月份1色率38.86% 7月比6月低7.45% 从片源数据分析看，片源影响在1.1%，加上其他因素如7月的协鑫和高佳片源，6月的氧 化片和重测片等，最大影响在2%， 可见片源是影响一色率的重要原因之一，比例在15%-27%之间，还有其他主要原因 的影响7月一色比例 片数一色片数 6月一色比例 片数一色片数 润丽34%171.958.4 润丽41%174.671.6 天威53%115.661.3 天威50%6432.0 大海47%18.98.8 银阳40.60%44.8618.2 返工57.40%17.510.0 合计306.4128.51.89300.96131.81.10%片源数量比例总效率片源数量比例总效率片源数量比例总效率片源数量比例总效率 协鑫130300.4%17.695% 协鑫349541.0%17.548% 高佳202080.6%17.613% 高佳22420.1%17.594%润丽润丽171899555.1%55.1%17.515%17.515% 润丽润丽174626051.9%51.9%17.473%17.473% 天威天威115608037.1%37.1%17.572%17.572% 天威天威64028019.0%19.0%17.521%17.521% 客退198320.6%17.465% 重测+氧化1848565.5%17.381% 大海1893226.1%17.645%17.645% 大海1290193.8%17.633% 银阳银阳银阳银阳44859713.3%13.3%17.442%17.442% 返工片+氧化15200.0%17.014% 返工片1753005.2%17.504% sum3118987100.0%17.545% sum3361508100.0%17.482%6月片源比例与效率7月份 片源比例与效率情况6月片源比例与效率7月份 片源比例与效率情况 参考 分析参考 分析3.淡蓝比例与一色率的关系• 淡蓝比例与一色率的关系• 理论上分析，镀膜膜厚控制偏上限时，需要更长的镀膜时 间，镀膜的均匀性相对会好一点，从检验数据上看，淡蓝的 比例会高于50%，从整月数据看，一色率最高时，淡蓝比例在 60%左右。

• 结论：结论：86±4nm的控制范围，偏上限88nm控制，对一色率的提 升方面没有对应关系86±4nm的控制范围，偏上限88nm控制，对一色率的提 升方面没有对应关系4.1线4线一色率差异分析及实验• 1线4线一色率差异• 分析：①4线1色率比1线平均高19%（7月，6月为18.75%）②另一方面 不同片源的一色率天威片为53% 45% 润丽片为34% 南玻片 为27%，存在较大差异 片源差异）• 除去片源的影响，1.4线一色率差异可能工序： • ①制绒②PE待验证③FQC4.1 制绒差异• 制绒3线开线前3单共计1200片PE返工率及一色率数 据：• 分析：分析：①开线前3单硅片，PE返工率呈下降趋势PE返工率呈下降趋势，平均 2.42%，一色呈上升趋势一色呈上升趋势，平均11.02%，低于产线正常水平 • 结论：结论：制绒停机后开线前的1200片，硅片存在减重和绒面的 波动，可以导致PECVD返工高，一色率低的现象 • 清洗组给出计划分析和解决项目第①单第②单第③单平均 PE返工率3.50%2.10%1.75%2.42% 一色率6.26%10.82%15.72%11.02%4.1.1 制绒开线波动对一色率的影响比• 实验方案：选片全测每一片硅片的两边，确保厚边向上分片1片1片发牌分片，尽量排除硅锭差异制绒分别在1,4线制绒，注意事项为减重尽量保持两条线一致在 0.02g的差异以内最好，方向在后续工序保持厚边向上 一 直到镀膜扩散同管、或是两管刻蚀同线PE1线制绒和4线制绒的用3个舟，均采用面对面插片对比（制 绒1.4线减重差异越小，镀膜时膜厚差异才可以忽略）丝网同线FQC同一检验员 在一条线检验测试检验完成后测试4.1 制绒差异 4.1.2 制绒1线4线精确对比• 制绒减薄量控制：①② 1线制绒 实验前实验后4线制绒 实验前实验后1线制绒 实验前实验后4线制绒 实验前实验后 0.40.3820.4220.390.4170.4280.4140.397 0.3990.3950.4160.3920.4070.420.4160.399 0.3960.380.4230.4010.4150.4120.4220.413 0.390.4170.3960.420.4240.4130.398 碎片0.390.4240.3840.4140.4290.。