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1长晶操作培训教材培训目录1、更换泵油及过滤器2、清炉及热场组立3、投料4、抽空、检漏5、送电熔料6、As、Sb 掺杂及补掺作业7、试温、引晶8、放肩、收肩9、收尾10、 冷却、晶棒取出11、 表单填写及认识12、 晶棒量测及记录13、 埚底料分装14、 位错判定15、 隔离操作16、 吊渣作业17、 直径信号调整18、 埚位校正19、 紧急停机处理2一、 更换泵油及过滤器更换过滤器芯长晶炉关闭功率 3小时后，关闭主阀门、泵，打开管路泄压阀，每炉更换过滤滤芯及加泵油吸净排气管口的污物，打开抽气手动阀，打开过滤器箱盖，取出过滤器，用压缩空气冲洗抽气管道用白棉布倒上酒精，擦干净过滤器箱内壁；安装新的过滤器芯，拧紧；把过滤器箱密封圈取出，用酒精擦净密封槽、密封圈（注：密封槽没擦干净，有异物的话，可能回造成密封圈的损伤，造成漏气，而抽不上真空）；安装完成后，用棉白布擦净过滤器箱的盖板，锁紧螺丝关闭抽气手动阀更换过滤器芯完成废过滤器芯的处理办法目的：由于从泵上拆下的过滤滤芯温度太高，容易引发火灾，为了杜绝火灾发生，对拆下的过滤滤芯作出严格管理流程规定动作：1、 从过滤筒上拆下过滤滤芯，放入指定的金属槽内。

2、 把金属槽放满自来水，等到过滤滤芯浸泡 5分钟后，放干槽内的水3、 取出过滤滤芯，放入公司指定的工业垃圾筒内真空泵换油每次停机后，检查真空泵油情况，及时加油，如油污浊则及时换油,轻掺 3炉换一次，重掺 2炉换一次油 换油或加油时，加到油位窗的 2/3处，不能加得太多或加少注意观察罗茨泵的油量，及时加油注：换油、加油或者更换滤芯在检点标上打“v”并签名二、 清炉及热场组立清炉作业:1.定 义:1.1长晶炉 冷 却 后 ， 必 须 清 理 废 料 及 炉 内 残余物至重新组立的过程2.目 的:2.1将长 晶 炉 内 的 杂 质 清 除 ， 做 重 新 投 料 前准 备，以确保长晶炉的成长顺利3.人 员: 2 人4.工 具:4.1手推车 、 吸 尘 器 、 加 热 器 固定把手，白铁埚5.材 料:5.1 毛 刷 、 棉白布与无尘布、 酒 精 、 一次性专用手套、口罩、石棉手套6.作 业:长晶炉关闭功率 3小时后，开始清炉：36.1将炉体充气，打开拉升舱门杆，待气灌至常压后将单晶棒上升至隔离阀门以上6.2关闭隔 离 阀 ， 下 降 晶 棒 尾 端 至 离 阀 门 约 5~10cm 的 位置取出单晶棒（使用晶棒夹车，参阅晶棒夹车取出作业），并清理拉升舱。

6.3 关闭拉升舱门，并上升炉盖6.4 将炉盖移动至定位6.5 将手推车推至定位并在机台边缘铺上橡胶布或纸板，防止地面脏污）6.6 戴上防热用的石棉手套，将热遮板取出，取出 Ar气清净套筒6.7 将已经破裂之石英坩埚取出，移至石英坩埚 废置桶6.8 将埚底的残料取出置于白铁埚内，待其冷却 后移至废料弃置桶6.9 移出石墨坩埚于手推车上6.10 上升炉体，并将炉体移至定位，并下降至定位，将机座上的密封圈用绝缘胶带贴上，以保护炉体密封圈6.11 移出坩埚支撑盘于手推车上6.12 用坩埚轴把手，将坩埚轴取出，置于手推车上6.13 将手推车移至一旁，待石墨部件冷却6.14 待部品稍微冷却约 30min后，开始清理（可优先清理炉盖）6.15 吸尘器 软 管 接 上 毛 刷 头 后 ， 先 清 除 炉 盖 上 的 气 体 灰 尘 后 ， 再用白螺纹布与无尘布沾酒精擦拭干净6.16 清除炉体及基部的气体灰尘，并以棉白布与无尘布沾酒精擦拭干净6.17 以砂皮和白洁布清理加热器以下继续为炉体大清作业)6.18取出加热器固定螺丝6.19 两人作业，将加热器搬移至一侧白铁板上6.20清理下部绝缘档板、支撑柱、支撑柱底盘及 6.21取出防漏板和支架，以及其它石墨器件用砂皮清理干净。

6.22取出电极石英套筒，并将之清理干净6.23取出电极护环，以砂皮清理6.24以毛刷头将底盘保温石墨棉清理干净6.25移出底盘保温石墨棉6.26清理机座，并以棉白布与无尘布沾酒精擦拭干净6.27移出石墨保温上部环，并清理之6.28清理石墨保温内筒6.29移出石墨棉保温外筒6.30移出石墨棉保温内筒6.31移出石墨棉保温筒下部支撑环6.32用白洁布将炉体内壁清理干净组立作业:1.定 义 :1.1所谓组立是指机械完成作业或维修后重新进入另一个新的成长作业模式的准备工作2.工 具 :42.1棉纱手套,酒精,棉白布与无尘布,吸尘器,刀片,石墨垫片,坩埚轴把手,加热器螺丝固定把手3.人 员 :两人4.作 业 流 程 :4.1检查电极与电极固定螺帽间之石墨垫片，有无突出 o(因石墨垫片受螺帽压缩，会向四周伸展)如有则需将其切除 o4.2清除电极与固定螺母；检查电极护环外观，有无裂痕及外观有无缺角及受损将电极护环旋进电极，并转紧4.3放入底盘石墨棉4.4清除基座，并放入电极石英护环4.5放入支撑柱底盘4.6以顺时钟方向放入加热器支架,并维持于微倾斜4.7用手锁入加热器支架固定螺丝至微紧后,倒转约 1/8圈。

4.8 锁入挡板支持柱4.9 锁入挡板调整螺帽4.10 放上下部绝缘挡板(有上下两片)4.11清除加热器所有接触面，放入石墨垫片, 放上加热器4.12锁上加热器固定螺丝至紧4.13检查加热器与防漏板的间隙以>5mm 为准如检查结果不能达到要求,则需分解加热器重新做部骤 11).开始如达到标准则 CG-6000炉，将另两支脚座及加热器固定螺丝锁紧4.14放入石墨坩埚轴护环4.15清除石墨坩埚轴外部附着硅渣，并用坩埚轴把手将坩埚轴固定螺丝锁紧4.16清除坩埚轴上部接触面附着的 Si024.2清除支撑盘底部之 Si02，并放入支撑盘，以两手轻按两侧，摇动数下以确定支撑盘与坩埚轴的平稳度4.21放上石墨坩埚，旋转并下降坩埚观察其平稳度，将坩埚降至与 Heater齐平确认坩埚位置”0” 点，并做坩埚的归零动作（每炉必须要做）4.22放入保温筒下部环4.23清除热幅射计乩孔长晶炉能量纪录表上引晶温度与上一炉相差 10~25sp时才需要清理）4.24放入保温内筒放入石墨棉保温外筒,并将幅射孔与幅射计对准4.25放入保温上部环4.26用无纤维布沾酒精擦拭下炉体 O-ring，盖上上炉体4.27石英坩埚的安装a. 将新的完好的石英坩埚用洁净压缩空气吹洗一下。

b. 将石墨坩埚托碗升至加热器上沿，双手握住石英坩埚内壁，轻轻地放进石墨坩埚中，确保石英坩埚完全就坐在石墨坩埚的底部上，并与石墨坩埚高度差各处基本一致再把坩埚降至与加热器持平坩埚轴石英套筒5三、 加料作业加料作业:1.定 义:1.1系指长晶炉于成长开始重新投入多晶硅块而言2.工 具:2.1 一次性手套、刀片、口罩、防护眼镜3.原 料:3.1石英坩埚、多晶硅块、掺质(Dopant)、晶种 (Seed)4.作 业 流 程:4.1操作者先核对[硅晶棒制造命令单]与确认制造命令无误4.2核对掺质(Dopant)浓度及重量,及欲始用之多晶块厂商及批号和重量4.3将石英坩埚及欲投入量之多晶块,搬运至机台旁，并将石英坩埚的重量记录于《Cz 单晶生长记录卡》上4.4以刀片将包装封袋割开4.5戴一次性手套,将石英坩埚由包装袋内取出4.6检查石英坩埚内部,有无石英细粉,倒转石英坩埚,检查石英坩埚有无凹陷;透光;或气泡4.7将石英坩埚放入石墨坩埚内,先约略检查其平稳度,并调整之然后旋转坩埚,观查其是否平稳并调整4.8待确定石英坩埚平稳后,将坩埚旋转停止戴双层手套,将多晶硅块,轻轻放入石英坩埚内掺母合金之掺质于此时投入。

a.先 用 大 块 料 覆 盖 石 英 坩 埚 底 部 ， 再 用 小 料 填 满 大 料 周 围 空 隙 b.将 中 等 料 装 入 ， 最 后 将 大 块 料 放 在 顶 层 ， 成 “金 字 塔 ”形 ， 以 防 熔化 期 间 粘 住 坩 埚 的 内 壁 ， 装 填 完 后 用 双 手 轻 压 硅 多 晶 块 ， 确 认 不 会滑 落 c.装 好 料 后 ， 再 吸 去 石 墨 坩 埚 、 炉 膛 周 围 装 料 时 带 来 的 污 物 4.9多晶块的堆栈,待到达约熔解后液面高度时硅块的堆栈需渐渐往中间靠4.10投料完成后,将坩埚缓慢旋转以吸尘器将掉落于外侧之硅渣清除4.11放入热遮板4.12用无纤维布沾酒精擦拭上炉体 O-ring，盖上炉盖4.13打开拉升舱门,降下晶种夹具4.14检查 Cable线及夹具是否 OK,并以 白螺纹布与无尘布 清洁干净4.15此时砷及锑的 Dopant，可将其挂入晶种夹具中而磷与硼则检查晶种方向性并确定晶种夹具 OK4.16稳定晶种,并上升晶种至最高点，眼睛目视晶种夹具进入拉伸仓顶并能自动停止4.17打开隔离阀，并清洁阀门及隔离阀之 O-ring。

4.18 CG-6000炉须清洁晶种位置扫瞄器(位于拉升舱内隔离阀两侧凹孔内)4.19清洁拉升舱 O-ring4.20关闭拉升舱门，并锁上舱门杆6四、 抽空、测漏抽空、测漏1.1 当 电 真 空 表 上 指 示 压 力 达 到 13.3Pa(10-1 托 )时 ,炉 膛 内 用 氩 气 吹 洗 一次 （ 只 能 一 次 ） ， 即 开 启 炉 子 氩 气 截 流 阀 ， 并 把 氩 气 流 量 计 调 在 8格 ， 15 分 钟 后 ， 关 闭 氩 气 截 流 阀 1.2 监 视 电 子 真 空 表 ， 在 40 分 钟 内 抽 到 8Pa 后 对 炉 子 进 行 检 漏 ， 若 在 40分 钟 内 不 能 抽 到 8Pa 时 ， 炉 内 重 新 充 氩 ， 并 报 告 有 关 主 管 人 员 1.3 关 闭 真 空 阀 ， 5 分 钟 后 读 出 真 空 表 上 的 读 数 ， 漏 气 速 率 ≤ 3Pa/5min1.4 检 漏 合 格 后 ， 打 开 真 空 阀 ， 氩 气 流 量 阀 使 氩 气 流 量 和 真 空 度 达 到 制 程数 值 2.1检查项目:CG-6000基础压力＜300MT漏气量＜300MT/hr (冷态)CG-3000、CG-2000基础压力细 颈 断 棱 、 细 颈 丢 苞 或 细 颈 脱 离 液 面 时 ，则 应 将 埚 转 降 至 2 rpm， 并 将 温 度 重 新 调 整 回 开 始 引 晶 的 点 数 ， 将 有 位 错部 分 细 颈 回 熔 掉 ,重 新 开 始 引 晶 操 作 。

八、放肩、收肩放 肩 ， 收 肩1. 当 细 颈 长 度 达 到 要 求 时 ， 将 籽 晶 拉 速 降 至 0.5mm/min， 并 在JSK 第 01 步 中 降 低 温 度 设 定 20-30 点 ， 并 不 断 观 察 平 肩 长 势 情况 ， 如 果 生 长 偏 快 ,则 应 提 高 拉 速 或 升 温 ， 如 果 生 长 偏 慢 ， 则 应降 低 温 度 设 定 值 ， 直 到 生 长 速 度 正 好 为 止 102. 经 常 用 测 经 仪 测 量 平 肩 直 径 ,当 拉 76.2mm(3")单 晶 时 ， 平 肩 长到 70mm 可 进 入 收 肩 ， 当 拉 100mm(4")单 晶 时 ， 平 肩 长 到 90 可进 入 收 肩 ， 当 拉 125mm(5")单 晶 时 平 肩 长 到 114mm 可 进 入 收 肩 一 般 当 放 肩 偏 冷 时 ， 提 早 2-4mm 进 入 收 肩 ； 当 放 肩 偏 热 时 要 慢2-4mm 收 肩 3. 当 达 到 收 肩 目 标 直 径 时 3.1 将 籽 晶 速 率 加 至 2.5mm/min， 大 约 30sec 后 光 圈 会 从 边 缘开 始 产 生 .3.2 光 圈 从 边 缘 产 。