ITO薄膜基础知识精要.doc

ITO 薄膜根底知识一、ITO薄膜的概念ITO 薄膜是 Indium Tin Oxides 的缩写作为纳米铟锡金属氧化物，具有很好的导电性和透明性，可以切断对人体有害的电子辐射，紫外线及远红外线因此，喷涂在玻璃，塑料及电子显示屏上后，在增强导电性和透明性的同时切断对人体有害的电子辐射及紫外、红外 ITO 是一种 N 型氧化物半导体 -氧化铟锡 ,ITO 薄膜即铟锡氧化物半导体透明导电膜 , 通常有两个性能指标 : 电阻率和透光率 .二、ITO薄膜的应用ITO薄膜具有优良的光电性能，对可见光的透过率达95% 以上，对红外光的反射率70%,对紫外线的吸收率A 85%,对微 波的衰减率A 85%,导电性和加工性能极好，硬度高且耐磨耐 蚀 , 因而在工业上应用广泛 , 在高技术领域中起着重要作用主要用途有 :〔一〕用于平面显示ITO薄膜的透明导电性及其良好的电极加工性能 ，所以它作为液晶显示器用的透明电极获得高速开展 , 约占功能膜的50%以上,例如液晶显示〔LCD〕、LED、电致发光显示〔ELD〕、 电致彩电显示 〔ECD〕 等随着液晶显示器件的大面积化、高等级化和彩色化 ,LCD 将超过 CRT 成为显示器件中的主流产品。

因而 ITO 薄膜主要用于高清晰度的大型彩电、计算器、计算机显示器、液晶和电子发光屏幕等面看限任U二|}愿用屋品4重城< JOOO隼用液晶■示器、情控面板'隔摩雷磁波坡端40液晶手悔、家蔻用用液晶面板，太陵宅池，播带式液晶 甯玩、量测倒器用之^示器、EL15-40液晶彩色甯很、犀圮型他人重踏•揣帑型僧人电璃<10甯版题示盏，液晶稿示嚣〔LCD］、翦皂雄步&用之重检〔二〕用于触摸屏目前市场上，使用ITO材料的电阻式触摸屏和电容式触 摸屏应用最为广泛1、电阻式触摸屏薄的ITO透明性好，但是阻抗高；厚的 ITO材料阻抗低, 但是透明性会变差在 PET聚脂薄膜上沉积时，反响温度要 下降到150度以下，这会导致ITO氧化不完全，之后的应用中 ITO会暴露在空气或空气隔层里，它单位面积阻抗因为自氧 化而随时间变化这使得电阻式触摸屏需要经常校正电阻 式触摸屏的多层结构会导致很大的光损失，对于手持设备通 常需要加大背光源来弥补透光性不好的问题，但这样也会增 加电池的消耗电阻式触摸屏的优点是它的屏和控制系统都 比拟廉价，反响灵敏度也很好2、电容式触摸屏电容式触摸屏也需要使用ITO材料，而且它的功耗低寿命长，自从 Apple 推出 iPhone 后，友好人机界面、流畅操作性能使电容式触摸屏受到了市场的追捧，各种电容式触摸屏产品纷纷面世。

而且随着工艺进步和批量化，它的本钱不断下降，正逐步取代电阻式触摸屏外表电容触摸屏的ITO涂层通常需要在屏幕的周边加上线性化的金属电极， 来减小角落 /边缘效应对电场的影响 有时ITO涂层下面还会有一个ITO屏蔽层，用来阻隔噪音外表 电容触摸屏至少需要校正一次才能使用感应电容式触摸屏与外表电容触摸屏相比，可以穿透较厚的覆盖层，而且不需要校正电容式触摸屏技术是利用人体的电流感应进行工作的电容式触摸屏是一块四层复合玻璃屏，玻璃屏的内外表和夹层各涂有一层 ITO,最外层是一薄层矽土玻璃保护层，夹层ITO涂层作为工作面，四个角上 引由四个电极，内层ITO为屏蔽层以保证良好的工作环境代表产品就是苹果 iphone 、 iPod touch 和 iPad 系列产品，拥有其他产品难以超越的非凡触控体验〔二〕用于交通工具风挡ITO 薄膜能除雾防霜 ,是一种典型的透明外表发热体 ,可以用作汽车、火车、电车、飞机等交通工具的风挡 ,用于陈列窗、溜冰眼镜、双引自行战车及医疗喉镜还可以用作烹调用加热板的发热体 ,也可以用于炉门、 冷冻食品的显示器及低压钠灯等〔三〕用于太阳能方面ITO薄膜用于异质结SIS太阳能电池顶部氧化物层，可以得到高的能量转换效率 ,例如 ITO/SiO 2/P-Si 太阳能电池可以产生13%〜16%的转换效率。

ITO玻璃还可以用于Si太阳能电池的反射涂层以及用于异质结型 A-Si 基太阳能电池的透明电极具有电致变色〔EC〕的灵巧窗的典型结构是在普通白 玻璃上沉积多层膜，其内外层为ITO膜研究说明，EC玻璃可使建筑物内暖气、冷气和照明等能耗减少 50% 以上〔四〕用于微波屏蔽和防护镜ITO 薄膜有良好的微波屏蔽作用 ,能防静电 ,可用于屏蔽电磁波的地方 ,如计算机房、雷达的屏蔽保护区 ,甚至可用于防雷达隐形飞机上茶色ITO薄膜是锢、锡氧化物的新品种它能防紫外线和红外线 ,滤去对人体有害的紫外波段 ,因此镀ITO膜的玻璃镜片可作特殊防护镜三、ITO薄膜的主要制备方法ITO导电薄膜是用物理的或化学的方法在基体外表上沉积得到基体材料一般采用玻璃，如采用低温溅射工艺制备这种薄膜，基体也可以采用塑料等聚合物材料基体的热膨胀系数对膜的性质有较大的影响，所以选择基体时应考虑基体和莫的热膨胀系数的匹配问题〔一〕磁控溅射法： 磁控溅射法是利用惰性气体离子轰击靶材 〔一般为高密度的铟锡氧化物靶材 〕 ,轰击下来的原子沉积到衬底上形成薄膜磁控溅射法采用的靶材有 IT靶和ITO靶两种〔二〕化学气相沉积 〔CVD〕 法： CVD 法首先是将铟、锡的有机盐气化，然后在N2或Ar的载气气氛中与O2,H2O或H2O2等反响而得到ITO薄膜。

〔三〕喷雾热分解法：喷雾热分解法是将锢和锡的金属 盐溶液雾化后喷在处于高温区域的衬底上 ，经过液滴的干 燥、热分解过程在基体外表得到 ITO薄膜〔四〕溶胶-凝胶法：首先得到氢氧化锢锡溶胶 ，然后 通过浸涂、煨烧等后续工艺得到薄膜〔五〕水热法：水热法制备薄膜是近年来开展起来的一 种很有潜力的液相制膜技术，它一般以廉价的无机盐或氢氧 化物水溶液或悬浮液为前驱体，以单晶片、金属片、玻璃片、 甚至塑料等为衬底，将前驱体和衬底置于密闭反响容器里 ， 通过对反响容器加热，创造了一个高温〔通常低于300 C 〕、 高压的反响环境，最终在衬底上形成稳定结晶相薄膜目前 水热法制备薄膜的研究主要集中在制备压电和铁电薄膜四、电容屏主要供给厂商〔一〕台湾电容屏主要供给厂商BrandBusinessCustomer BaseMajor Market哀鸿TPKTP Sei50r/M oduleAppleUSA/Korea/Japan奇美CMITP Sensor/ModuteApple/HTC胜华WintekTP Sensor/ModuleApple达虹CandoTP Sensor/ModuleApple/HP和薜SintekTP Seisor/ModuleAppie/SonyEris凌达giantplusLCM Mo eluteHTC泮华Young FastModuleHTC/. •,星『国华联CpttLCM Modute斌和DeWHP弁面J TouchLCM ModuleSonyEnis/- W/LG全台EDTLCM Module/Lexmark/5ymt)olCHINA/Japan明兴UnidisplayTP seisor/Module湾三曲掖匕Korea/TW/Japan〔二〕国内电容屏主要供给厂商BrandBusinessCustomer BaseMajor Market比业迪BYDLCM Module金立/康佳/天时达CHINA天马TianmaModule华为/中兴/大语南玻NaBOGlsss/ITO Glass东方/宇肿/航天光电牧东Mutt。

TP Sensor海尔/中兴/海信/联想信利TrulyTP Sensor/Module华为/中兴/天语超声Go worldTP Sensor/Module联想/天语莱宝LaibaoGlaiss/ITO Glass天马，信利/超声CHINA华意EELVTP Sensor世」韦尔/三里?在联想CHINA/Japan宇顺SuccessTP Sensor/Module华为川I兴/BBK/美悭CHINA长信TokenGlass/ITO Gg相天马/信利/超声〔三〕国外电容屏主要供给厂商BrandBusinessCustomer BaseMajor MarketAreaLG化学LGModuleLG/OLhersKoreaKoreaDigitechN/ATP Sensor三星KoreaKon&aELKN/ATP Ssnsor/ModuleKorea/JapsnKoreaMELFASN/ATP Sensor三星Korea/JapanKoreaSynupexN/ATP Sensor/Module三星Korea/JapanKonea写真NisshaModulelireUSA/Korea/Japan/TWJapan〔四〕触控板材料价值分布Printed circuit boards1、Touch sensor 〔触控感测器〕40%2、Cover glass 〔防护玻璃罩〕30%3、Touch sensor chip 〔触摸传感器芯片〕 15%4、Printed circuit boards and other components 〔电路板及其他部件〕 15%五、ITO材料在电容式触摸屏产业链中的根本情况〔一〕行业综述ITO靶材，约占原材料采购本钱 20%左右。

主要由日本提供，日本目前提供了全球 70%左右ITO靶材日东电工目 前在电阻屏和电容屏的 ITO film 领域都是第一品牌，采取的是高端市场战略，大陆厂商由于和日东合作的历史不长， 从日东采购的ITO film 的价格要比日本和台湾厂商高 30%-50% 〔二〕ITO导电膜应用空间广阔ITO导电膜通过不断技术革新，在物理性能上与 ITO导电玻璃的差距在不断缩小，而自身独特的某些性能更适合于大尺寸触屏，加之其较为明显的本钱优势，在日益增长的中低端市场更受青睐， ITO 导电膜可能出现新一轮景气周期。