FPCDES工艺规程可编辑范本.doc

LONGXIN龙芯柔性电路板有限公司ＤoｎgGuan Lｏng　Xin　FPC CｏDＥS工作指示内部受控文件严禁私自以任何形式全部或部分复制 　　 　 　 　 姓名部门职位签名日期拟制陶兴平工艺部主管审核陶兴平工艺部主管冯永阵生产部主管陶兴平品质部主管批准李松海总经办懂事　 　 　 　　　 　 　 　 　 　 　 　 　 　　　 　 　 　 文件编号:ＬX—MＥＩ-TD—004 　　　 　 　 　版次：A.0 　 　 　 　 　 　 　　 　　页码： 1/１５　修改履历版次修改原因文件名作成日期修改人A．0新规作成LX—MEI—ＴD－0042011—04-０1陶兴平A．1新增内容ＬＸ-MＥI—TＤ—004２0１1-０7－0１陶兴平文件编号:LX—MＥI—TD-004 　　　 　 　 版次：Ａ０　 　 　 　 　 　　 　 　 页码: 2／１5作业指导书作成审核批准编 　号LＸ－MＥＩ—TD-004 　　版　 次A.1页３／15生效日2０１1-07-０1名称DES工艺规程１. 目的：1。

1 本规程规范DES工艺及操作，满足其生产品质要求；1２ 本规程为生产、品质、工艺等有关人员提供操作和监控的依据 适用范围:适用于本公司DES工序的作业控制3. 　使用材料、工具、设备：工业碳酸钠，氢氧化钠、硫酸(ＣP级）、消泡剂、显影机、引导板、工业盐酸、蚀刻子液、氢氧化钠、蚀刻机、脱膜机、百倍镜.4． 作用或原理: 4.1 各药水缸的作用：缸　名作用或原理显影感光膜中未曝光部分的活性基团与稀碱溶液反应生成可溶性物质而溶解下来,留下已感光交联固化的图形部分蚀刻1、以化学的方法去除线路板上铜箔表面多余部分的铜,使之形成所需的电路图形;2、在蚀刻过程中,CuCｌ2中的二价铜具有氧化性，将板面铜氧化为一价铜:Cu＋CuCl2= Cu２Cl23、为了达到再生的目的,利用氧化剂将Cu2Ｃl２中的一价铜氧化为二价铜： 　 　 　　 　 　Cu2Ｃl2＋2ＨCｌ+H２O2　＝ 2CｕCl２＋2Ｈ２O脱膜将板面的抗蚀干膜（或油墨）彻底的退除干净、露出新鲜的Ｃu面以便于后制程的生产５ 作业方法:５.1 作业准备：5.１.１作业前准备：（每班检查一次)检查各连接处有无渗漏 → 检查进、排水总阀是否打开 → 检查各水洗缸进水循环管是否打开 →　检查各药液排出阀是否关闭 → 检查各缸内液位是否足够,如不够，则加水至液位,搅拌后通知化验室分析调整　→ 检查传动系统是否正常 → 滚轮表面是否有异物　→ 检查喷淋、压力是否正常　→需加温的药缸提前预热 →进产品前药缸开泵循环2分钟以上后,观察控制面板上温度是否到达操作的温度,否则需继续加热 。

作业指导书编　 号LＸ-MEI-TD—004 版 次A1页４/15生效日２011—07—0１名称ＤEＳ工艺规程５.１2 作业前具体检查项目（每班检查一次)5.１.2.1 液位:各缸液位偏低则按各自方法补加与调整,偏高则视具体情况决定是否排出；5．1．2.2 温度：各缸液实测温度与设定值允许偏差±2℃;５.1．２.3　过滤：过滤器不允许有漏液、漏气、空转、停转、堵塞等问题;５.12.4 喷嘴:喷淋无堵塞、倾斜；5.12.5　仪表:各仪表显示准确、无异常；５．1．2．6 摇摆：是否正常工作;5２．７ 风刀:无堵塞,气流温度正常;5.1．２8 吸水海棉:目视及用手捏挤看其是否有污水渗出,如异常则须清洗至合格，正常生产每个月更换一次吸水海棉,新吸水海棉需用清水浸泡4个小时才能使用;每天每班二次清洗一次5．19　滤膜系统，滤渣系统无干膜渣堆积,脱膜缸内无大量干膜渣漂浮,脱膜后水洗段传送轮上不允许有膜碎,必须用自来水将其冲干净５.2 作业流程:５．2１　工艺（作业)流程：FPＣ上导板(单面板) →入板→显影１和2→隔离→压力水洗→压力水洗→压力水洗→市水洗→吸干→强风吹干→热风吹干→出板→蚀刻进板→蚀刻1、2和3→隔离→压力水洗→压力水洗→市水洗→吸干→中检→脱膜1、2和3→压力水洗→隔离→压力水洗→压力水洗→压力水洗→市水洗→吸干→强风吹干→热风吹干→　　FＰC下导板。

５2.2　工艺(作业）流程示意图：无5３ 作业步骤:53.１开机方法：51打开控制柜电源开关；5.3１．2按下面板上“启动START”按钮;53依据《流转单》规定值，调整参数后，做首板确认具体的参数；53.１.４从左至右将总控制面板上所有按钮打至绿灯亮５.3.2 关机方法：(先确认缸内无产品）5．３.2.1　从左至右将总控制面板上所有旋钮关至“绿灯灭”位置,“O"位置或直接按红色“SＴOP” 键;　 作业指导书编 号LＸ—MEI-TD—004 　版 次A.1页５/１５生效日２011-０７—０1名称DＥS工艺规程5.3.2.2 关控制柜总电源；52.3　关掉总进水阀.５．３3 槽液控制:工序槽名控制项目单位控制范围控制点DES线显影Na２CO3%0.8—1．２1０蚀刻HClmol/L2—3２.5Cｕ2+g／Ｌ120—160１4０退膜NaOH%3-５ 453.4 参数控制:工作段名称参数控制范围显影工作速度干膜 ２0ｍ/ｍｉn湿膜2.0-30m／ｍin感光油墨１０-2．0 m/mｉｎ喷淋压力15kg/cm２(控制点2．0ｋg/cm２）水洗压力1.5-２5kg/cm2(控制点20ｋｇ/ｃm2）温度28-32℃（控制点3０℃）烘干温度４5-65℃(控制点50℃）蚀刻工作速度(以首板速度为准）单面１/2OZ 　　　 　　2。

5—3５m/miｎ1OＺ 　 　 　 　 　1.５-2５m/mｉn双 面多 层1/3OZ　 1.5-２5ｍ/min1/2OＺ 　　 2.２±0.２1OZ 　 　 　１．5—２５m/miｎ镂空1ＯＺ 　　　 1．6±0.2喷淋压力 　 　　　　 　 　 　１.5—2５kg／cm2（控制点２0 kg/cm２)水洗压力1.5—2.5kg/cm２（控制点20　ｋｇ／cｍ2)温度 　 　 ４5—50℃(控制点５0℃）脱膜温度　 4８—52℃(控制点50℃)喷淋压力15ｋｇ/cm2 （控制点2．0kg/cm２)速度湿膜 　 　 　 　２0—3.0ｍ/miｎ干膜　 　 　　 　２0—3.0ｍ/mｉｎ水洗压力１0－１.5kg／ｃｍ2溢流水洗压力15 kg/cm2（控制点1．0 kg／ｃm2）烘干温度　　 　 8０—90℃（控制点85℃)作业指导书编　　号LX—MEＩ—TD-0０4 版 次A1页6/15生效日2０1１-07－01名称DES工艺规程55　溶液开缸及药水添加：缸号体积及控制要求开缸用量添加要求换缸要求显影1000ＬNa２CＯ3 浓度:1.0(0。

８％-1.2%)8Kg1手动加药：每生产4小时化验；2化验室取样分析后,生产根据化验分析结果进行添加且做好药水添加记录,加药时，应将药品溶解后加入；3非正常连续生产过程中，生产前应通知化验室分析并根据分析结果进行调整药品浓度后方可生产每生产１00㎡更换一次蚀刻12３0LHCL: 2ｍol/L—3 ｍol/L由供应商提供蚀刻母液化验调整成分后使用1、盐酸的添加量按化验结果添加;2,盐酸与再生剂的添加比例按3：１添加，再生剂应分次少量添加（每次不超过5０0ＭＬ,如超过应分次添加)3、液位过低及时反馈通知设备部检查系统运行情况由化验室通知Cu2+ 12０—１６0ｇ/L脱　膜１000LNａＯH 40％（　3．0—50％)1加水约1/2体积;正常生产时依据每班分析结果补加ＮaOH． 每两天换缸一次2加入25ｋgＮaoＨ;３补足水位，开循环泵搅拌作业指导书编 号LX—MEI-ＴD-００4 版 　次Ａ.1页7/１5生效日2011-07-01名称ＤEＳ工艺规程５.３.６ 各缸换缸步骤和频次:缸名换缸频次换缸操作步骤显影 　 　 (830L）按照平米计算每生产100㎡更换一次显影液１.开泵循环2-５分钟后,关泵后再将旧药水排放干净;２.用市水冲洗缸壁及缸底,再用干净扫把擦洗干净缸壁及缸底污垢；３。

注入市水至液位处,开泵循环１0—２0分钟;４关泵,放干缸内水,关排水阀;５.加水,称取10kｇ碳酸钠，溶解后加入缸内;6通知化验室分析调整浓度；7.水洗段每过4小时更换一次纯水;7蚀刻 　　 123０L由化验室通知1用５微米聚丙烯滤芯的泵,抽出所有蚀刻液至备用缸;２见蚀刻缸大保养方法;3加ＤＩ水至液位循环30min后排水;4将药液抽回至缸内．循环3０ｍin后通知化验室分析.脱膜 　 800Ｌ1次／两天1. 开泵循环2—5分钟后，关泵后再将旧药水排放干净用清水冲洗缸壁及缸底，再用干净塑料扫把擦拭干净缸壁及缸底污垢3.注入市水6０0Ｌ，开喷淋、开泵循环10-２0分钟4.关泵、关喷淋,放干缸内水,关排水阀5.加入3/4缸市水，将称取2５kｇ NａOＨ溶解后加入缸内加水稀释到液位700L，循环10分钟以上７.通知化验室分析调整浓度水洗1次/每班１关机后将水洗缸排水阀打开至水排干;２．用干净塑料扫把擦洗缸壁及用水管冲洗缸底;3．加市水至液位６. 维护与保养：6.1 日常维护和保养:作业指导书编 号LＸ-MＥI-TD—004 版 　次A１页８/15生效日。