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合肥京东方半导体有限公司.doc

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    • 合肥京东方半导体TFT-LCD 六代线玻璃减薄配套工程环境影响报告书〔简本〕目 录〔一〕 建设工程状况简述;〔二〕 建设工程对环境可能造成影响的概述;〔三〕 预防或者减轻不良环境影响的对策和措施的要点;〔四〕 环境影响报告书提出的环境影响评价结论的要点;10一、建设工程状况简述合肥京东方半导体拟在合肥站综合开发试验区〔合肥京东方半导体厂址内〕建设 TFT-LCD六代线玻璃减薄配套工程,工程总投资 4176 万元人民币工程建 1 栋生产厂房,建1 座废水处理站,配套建设危急废物暂存库及一般废物暂存库、纯水制备系统、废气处理系统、废水处理系统等配套设施,局部设施依托现有工程序号产品名称1TFT-LCD 玻璃面板减薄六代线蚀刻产能G6 规格型号 产能1500×1850mm 7.2 万片工程建成后从事 TFT-LCD 六代线玻璃减薄工程产品方案及规模见表 1表 1 产品方案及规模该工程位于合肥站综合开发试验区建设,符合国家产前产业政策和园区的产业进展规划二、建设工程对环境可能造成的影响概述本工程产生的主要污染物有:生产废水〔W1 清洗废水、W2 高浓度含氟废水、W3 低浓度含氟废水、W4 悬浮物废水、W5 酸性废气洗涤塔排水、W6 纯水制备废水、W7 冷却塔循环水排水〕和 W8 生活污水;生产废气〔G1 有机废气、G2 酸性废气〕;动力配套设施运行产生的噪声;固体废物〔包括危急废物和一般废物〕。

      〔一〕废水本工程生产废水排放量 963.2m3/d1、W1 清洗废水:废水排放量 250 m3/d,排放方式为连续排放清洗废水主要来源于前清洗、抛光后清洗工序,废水中含有清洗剂,本工程建一般废水处理系统一套,清洗废水全部排入其中处理2、W2 高浓度含氟废水、W3 低浓度含氟废水(1) W2 高浓度含氟废水: 排放量 4.2m3/d,连续排放自蚀刻槽定期倒槽,废水中含有氢氟酸、硫酸、盐酸等物质2) W3 低浓度含氟废水:废水排放量 500m3/d,连续排放含氟废水主要源自蚀刻减薄线的清洗工序,废水中含有氢氟酸、硫酸、盐酸等物质3) W5 酸性废气洗涤塔排水:废水排放量 15m3/d,连续排放酸性废气洗涤塔排水主要来源于蚀刻减薄线产生的的酸性废气通过洗涤塔处理后的排水3、W4 悬浮物废水:废水排放量 32m3/d,排放方式为连续排放主要来源于抛光工序,废水中含有少量抛光粉〔主要成分为氧化铈〕4、W6 纯水制备排水本工程建纯水制备系统,依据纯水制备工序,在制备的过程中将产生RO 浓缩水和反洗废水1) RO 浓缩水:排放量 140m3/dRO 浓缩废水指反渗透工艺中未通过半透膜的废水,主要含原自来水中的离子〔盐类〕。

      为了节约水资源,本工程将RO 浓缩水收集后,用作局部用作厂区卫生间冲洗水;局部用作酸性废气洗涤塔补水;多余的 RO 浓水通过厂区废水总排口排放2) 反洗废水:废水排放量 47m3/d纯水制备过程中,需通过反洗来恢复其过滤力量反洗水就是反洗介质过滤器和活性炭过滤器排水5、W7 冷却塔循环水排水:废水排放量 40m3/d,排放方式:连续排放常温冷却水用来冷却空压机系统,由于水质较清洁,直接经废水总排口排放6、W8 生活污水本工程厂区不设食堂,设置就餐区,承受配餐制,餐具不在厂区清洗工程产生的生活污水主要为卫生间盥洗污水,排放量为 8.5 m3/d〔二〕地下水本工程给、排水均不会与地下水直接发生联系,工程的建设根本不会对地下水水位造成明显影响,仅有可能对地下水的水质造成肯定影响拟建工程可能对地下水造成污染的途径主要有:生产车间〔蚀刻生产区〕、化学品库、储酸区〔含配酸区〕、危废暂存库、废水处理设施〔包括废水处理池体及管道〕、事故应急池等污水下渗对地下水造成的污染〔三〕废气主要包括一般性废气〔废热〕、酸性废气、有机废气为了使本工程所排放的废气得到有效治理,依据废气性质,将废气处理系统分为一般废气〔废热〕排风系统和酸性废气处理系统,由于工程产生的有机废气量极少,可直接通过一般废气〔废热〕排风系统排风。

      1) 一般废气〔废热〕本工程车间一般废气〔废热〕排风通过车间设置的风机抽排2) 有机废气工程产生有机废气的工序为 UV 固化和清洁工序固化主要承受紫外线照耀,此过程仅会产生微量的有机废气;清洁工序承受无尘布蘸乙醇进展擦拭, 由于乙醇的使用量较小,因此挥发产生的有机废气量也很小由于有机废气产生量很小,污染物浓度极低,可直接通过车间一般废气〔废热〕排风系统排出3) 酸性废气酸性废气主要来源于蚀刻减薄工序中使用各种刻蚀液,主要污染物为氟化物、氯化氢、硫酸雾等〔四〕噪声本工程生产设备位于密闭厂房内,厂房有较好的隔声作用因此,工程噪声源主要为动力设备噪声本工程动力关心设备中除供水系统、现有工程废水站外,其余的均为增系统增的产噪设备主要为风机、空压机、冷却塔、水泵等动力设备〔五〕固体废物本工程生产过程中产生的固体废物分为危急废物和一般固体废物两类危急废物主要包括:S1 不合格玻璃、S2 废弃无尘布〔含乙醇〕、S3 蚀刻槽渣、S4 废 UV 胶、S7 沾染化学试剂容器、S9 含氟污泥一般废物主要包括:S5 废靶材、S6 废包装材料、S8 办公生活垃圾、S10 一般废水处理系统污泥等三、预防或者减轻不良环境影响的对策和措施要点为了预防和减轻本工程建成投产后产生的污染物可能对四周环境的影响, 本工程对产生的废水、地下水、废气、噪声和固体废物,拟分别实行的主要防治措施如下:1、废水处理措施及对策本工程废水处理站 1 座,其中建 1 套含氟废水预处理系统、1 套含氟废水处理系统、1 套悬浮物废水处理系统,1 套最终中和处理系统。

      高浓度含氟废水首先经含氟废水预处理系统处理,处理后与低浓度含氟废水、酸性废气洗涤塔排水一并排入含氟废水处理系统,最终再排入最终中和处理系统;悬浮物废水排入悬浮物废水处理系统,最终再排入最终中和处理系统;一般清洗废水, 纯水制备反冲洗废水和冷却塔排水,水质均较清洁,均直接排入最终中和系统处理工程产生的生活污水首先经化粪池预处理后再排入现有工程废水处理站进一步处理放量废水排(m3/d)名 称CODBOD5NH -N 氟化物 氯化物〔以3〔以 F〕Cl 计〕SSLAS磷酸盐(以P 计)pH971.7排放浓度(mg/L) 排放标准(mg/L)达标状况表 2 本工程废水排放口污染物排放浓度状况150.261.98.013.5358.6100.44.00.036~93801803020600*2002046~9达标达标达标达标达标达标达标达标达标注:〔1〕标准执行GB 8978-1996〕三级标准和小仓房污水处理厂接收标准;〔2〕氯化物参照执行《污水排入城镇下水道水质标准》〔CJ 343-2022〕B等级标准生产废水和生活污水经处理到达《污水综合排放标准》〔GB 8978-1996〕三级标准和小仓房污水处理厂接收标准要求后,经市政污水管网排入小仓房污水处理厂,处理达标后排入南淝河。

      本工程的建设对南淝河的水质影响较小,工程的建设不会造成南淝河的水质进一步恶化2、地下水防渗措施工程的地下水污染预防措施应依据“源头把握、分区把握、污染监控、应急响应”的主动与被动防渗相结合的防渗原则将全厂按物料或者污染物泄漏的途径和生产功能单元所处的位置划分为重点污染区防治区、一般污染区防治区以及非污染防治区三类地下水污染防治区域:重点污染防治区是可能会对地下水造成污染,风险程度较高,需要重点防治的区域,主要包括{生产车间〔蚀刻生产区〕、化学品库、储酸区〔含配酸区〕、危废暂存库、废水处理设施〔包括废水处理池体及管道〕、事故应急池}一般污染防治区{生产车间〔除蚀刻生产区外〕、一般废物暂存库、生产区路面}非防渗区主要为:办公、生活区对重点污染区防治区防渗措施:(1) 生产车间〔蚀刻生产区〕:地面全部进展防渗、防腐处理2) 储酸区〔含配酸区〕:地面全部进展防渗、防腐处理储存区四周设置经过防渗、防腐处理的地沟,并设置自动抽水泵3) 化学品库:化学品库用于储存UV胶、乙醇、清洗剂、抛光粉等物质地面全部进展防渗、防腐处理4) 危废暂存库:危废暂存库需严格依据《危急废物贮存污染把握标准》GB 18597-2022的要求设计,地面与裙脚均进展防渗,四周设置经过防渗、防腐处理的地沟。

      5) 废水处理站及废水管道:全部废水处理池根底进展防渗处理废水输送全部承受管道,视废水水质的不同选择适宜材质并作外表防腐、防锈蚀处 理,减轻管道腐蚀造成的渗漏;并进展定期检查,确保消退跑、冒、滴、漏现象发生废水处理站内设一座经过防渗、防腐处理的应急事故池1座〔容积360m3〕在实行上述措施后重点防渗区的渗透系数≤1.0×10-10cm/s对一般污染防治区地面用在抗渗混凝土面层中掺水泥基渗透结晶型防水 剂,其下铺砌砂石基层,原土夯实到达防渗目的通过上述措施使一般污染区各单元防渗层渗透系数≤1.0×10-7 cm/s综上所述,在实行上述防渗、防腐处理措施后,工程对地下水根本不会造成明显影响3、废气处理措施及对策废气包括 G1 有机废气、G2 酸性废气和 G3 一般废气〔废热〕等一般废气〔废热〕通过厂房风机直接抽排;有机废气产生量很小,污染物浓度极低,直接通过车间一般排风系统排出;工程建 2 套酸性废气处理系统〔1 用 1 备〕,酸性废气承受“碱液喷淋吸取处理”,酸性废气中各污染物指标均能到达《大气污染物综合排放标准》〔GB 16297-1996〕中二级标准的要求排放的废气对工程所在区域大气环境影响甚微。

      处理后评价标准废气种类 排气总排气筒 污染物名量(m3/h) 数〔个〕称排放速率(kg/h) 0.060.070.10排放浓度(mg/m3) 1.561.862.86处理措施率(kg/h)排放速G2 酸性废气360001氟化物氯化氢硫酸雾碱液湿式洗涤塔0.10.261.5排放浓度(mg/m3) 910045达标情况达标达标达标表 3 本工程生产废气主要污染物处理及排放状况4、噪声防治措施10S8 办公生活垃圾16.511S10 一般废水处理系统污泥15小计33.54合计8876.8工程噪声的治理拟实行以下主要措施:(1) 优化设备选型,合理布置总平,高噪声设备布置尽量使用远离厂界;(2) 除冷却塔、废气处理设备风机设置于室外,其余产噪设备均布置于室内,厂房墙体起到了明显的隔声降噪作用;(3) 风机承受减振台根底,空调净化排风系统的主排风管设消声器,排风管道进出口加柔性软接头;排风机外壳设隔声罩;(4) 水泵根底设橡胶隔振垫,水泵吸水管和出水管上均加设可曲绕橡胶接头以减振;(5) 对空压机设置隔音门窗,墙面装修材料承受吸音板空压机设备根底设计减振台,管道进出口加柔性软接6) 在冷却塔的进风口和排风口安装消声器,在受水盘水面铺设聚胺脂多孔泡沫塑料垫,减小淋水噪声。

      通过上述隔声、减振等降噪措施后,本工程厂。

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