特气管道施工工艺标准.docx

QG/ZD Ⅱ-T03-12-2003中国电子系统工程第二建设公司洁净厂房高纯气体管道施工工艺标准拟稿单位：总工程师办公室编 制： 邓 顺 志审 核： 王 开 源批 准： 侯 忆二 OO 三年一月二十五日目 录1、总则 ----------------------------------------------------------------------------------12、高纯气体的三个主要参数 -------------------------------------------------------13、管道材料选择 ----------------------------------------------------------------------24、施工程序 ----------------------------------------------------------------------------45、图纸会审 ----------------------------------------------------------------------------56、工程测定 ----------------------------------------------------------------------------57、绘制管段图 -------------------------------------------------------------------------58、设置预制洁净房 -------------------------------------------------------------------69、材料检查确认 ----------------------------------------------------------------------610、保护气体的供给和管理 ---------------------------------------------------------911、管段预制 --------------------------------------------------------------------------1112、现场配管施工 --------------------------------------------------------------------1313、压力试验 --------------------------------------------------------------------------1914、系统吹扫 --------------------------------------------------------------------------2015、系统测试 --------------------------------------------------------------------------21附录 1 露点、含湿量、绝对湿度换算表 ---------------------------------------24附录 2 洁净室及洁净区空气中悬浮粒子洁净度等级 ------------------------26附录 3 EP/BA 管自动氩弧焊接钨棒尺寸表 ------------------------------------271. 总则1.1 本标准适用于洁净厂房高纯气体管道配管施工。

1.2 气体管道的干管，应敷设在上下技术夹层或技术夹道内，当与水、电管线共架时应设在其上部1.3 当采用碳素钢支吊架、碳素钢管卡时必须是镀锌件，且不锈钢管道与其接触处应采用不产尘的非金属材料隔离1.4 高纯气体管道的设计应符合下列要求：a. 按气体流量、压力或生产工艺需要确定管径，气体管道最小管径不小于 φ6×1mm；b. 管道系统应尽量短；c. 不应出现不易吹除的盲管、死角；d. 管道系统应设必要的吹除口和测试取样口1.5 气体管道穿过洁净室墙壁或楼板处的管段不应有焊缝管道与墙壁或楼板之间应采取可靠的密封措施，并用装饰板封堵1.6 可燃气体和氧气管道的末端或最高点应设放散管放散管引至室外应高出屋脊 1 米，并应有防雨、防杂物侵入的措施可燃气体和氧气管道还应符合《洁净厂房设计规范》 8.4 安全技术措施的有关要求1.7 高纯气体终端过滤器应设在靠近用气点处2. 高纯气体的三个主要参数所谓高纯气体管道的洁净技术控制，主要是指气体纯度、干燥度、洁净度的控制（即三度控制） 2.1 气体纯度 指气体中杂质气氛的含量， 通常用气体纯度的百分数表示，如 99.9999%（俗称 6 个 9），也可用杂质气氛含量的体积比 ppm、ppb 表示。

洁净厂房高纯气体管道系统建成的各个环节必须做到上流的合格气体流经厂房管道系统到达用气点的气体纯度仍能满足工艺对用气纯度的要求2.2干燥度气体中微量水分的含量，通常以露点表示，如露点-70℃，或以含湿量 ppm 表示，如含湿量 2.584ppm两者的转换见附录1）2.3洁净度指气体中含有污染物粒子的数量， 粒径为 μm 的粒子的个数，pc/m3高纯气体管道通常使用在洁净的生产环境当中，对应的洁净环境等级，在《洁净厂房设计规范 GB50073-2001》中，直接采用国际标准ISO14644-1（详见附录 2）对高纯气体洁净度的控制，当设计未加特别注明时，施工中对洁净度的控制应与使用空间的洁净度等级保持一致，严防气体中的污染物粒子超过规定值，而造成管路系统或洁净生产空间的污染洁净厂房高纯气体管道的设计、 施工管理，不同于一般工业气体管道，任何一个环节稍有失控，就可能影响输送气体的质量，从而导至无法生产出合格的产品3. 管道材料选择将高纯洁净气体输送到各用气点而不被污染，在很大程度上受管路诸多因素的影响，其中管材的选择显得十分重要3.1 用于输送高纯气体的管道应具备以下性能a. 管材的透气性要小；b. 管材内表面吸附解吸气体的作用要小；c. 内壁光滑、耐磨损；d. 有良好的抗腐蚀性能；e. 性能稳定，含碳量低。

3.2 管道材料选择管道材料由设计选定，自行设计时应遵守《洁净厂房设计规范》的有关规定a. 能满足上述 3.1 要求的管材，对于气体纯度在 99.999%以上或在空气洁净度等级中 1~6 级洁净室内时，以 316L 内壁经电抛光的不锈钢管 （EP）为最佳选择，由于施工现场条件限制，管材应在制造厂脱脂、清洗、干燥，并有双重膜包装， 对于气体纯度为 99.99%的洁净管道和干燥空气管道可选用内壁经机械抛光的 304 不锈钢管（ BA ）注： 316L 的国内对应牌号为 00Cr17Ni12Mo2Ti304 的国内对应牌号为 0Cr18Ni9b. 阀门及其它附件的选择阀门及其它附件的材质应与管材选用原则一致，在采用不锈钢管材的管路系统中，不得采用铜材质的阀门，为确保阀门及管道系统的严密性和介质不受污染，应采用两端为焊接连接的无填料波纹管阀或隔膜阀对于系统终端采用螺纹连接时， 应采用 VCR 卡套连接；非焊接连接的垫片， 对于氢、氧管道应采用金属垫片， 其它高纯介质管道可采用聚四氟乙烯垫片，三通、弯头应采用与管材同材质的成品，为适应公司现有自动焊头的施焊条件，订货应注明对颈长 L 的要求（见下表）管子外径（ mm）6~19.0525.4~63.576.2~114.34. 施工程序图纸会审工程测定绘制管段图设置预制洁净房材料检查确认管段预制现场配管压力试验系统吹扫系统测试整理竣工资料交 工L （mm） 图示≥36≥48≥55支吊点划线支吊架制作支吊架安装5. 图纸会审图纸会审应着重解决以下问题，为绘制管段图做好准备。

a. 图纸是否出自注册设计单位；b. 设计选材能否满足介质纯度、干燥度、洁净度要求；c. 用气工艺设备位置是否最终确定；d. 管道走向应排除与其他管线打架现象，并最终确定走向；e. 各支管三通位置的确定；f. 管道支吊型式及支吊架材质的选定；g. 检测口、吹扫口和放散管（氢气）位置的选定；h. 氢、氧管道防静电接地的型式6. 工程测定将土建专业提供的基准标高和基准轴线，用测量仪器移值到安装场所墙柱的适当位置，并作出标识，以此确定管道所处位置如与建筑结构发生矛盾时，再与有关方面协商调整，但最终应反应到竣工图上7. 绘制管段图7.1 凡施工图已提供透视图的，可利用透视图作为管段图，无透视图时应在施工前绘制管段图7.2 不可将几个管道系统绘制在一张图上，一个小系统，可绘制在一张图纸上，大系统可分段绘制在几张图上，但应标出连接符号7.3 无论是利用透视图还是自绘管段图均应标注各管段直径、长度、标高和阀门、三通、法兰等的位置 ，还应分别标出预制组件的焊口（即死口）和现场焊接的焊口（即活口）位置，并在图中顺序标出焊口号7.4 图中标注的各项尺寸应是现场实测的尺寸7.5 对一个系统分段予制的原则是：a. 尽可能减少现场（安装场所）焊接的焊口数，大量的焊接工作尽可能在预制间完成；b. 现场焊接的焊口应设在便于操作的位置；c. 予制组件的大小应尽可能大一些，。