MSDS_SiH2Cl2.doc

MSDS-Gas-08 Material Safety Data Sheet / 物质安全资料表第一部分 化学品及企业标识化学品中文名称：二氯硅烷化学品俗名或商品名：二氯硅烷,DCS化学品英文名称： Dichlorosilane企业名称：Air Products and Chemicals (Shanghai) Co., Ltd.地址：GSM15-2 Plot, Wai Gao Qiao Free Trade Zone, Shanghai 邮编：200131电子邮件地址：－号码： 021-63609090企业应急： 0532-3889090 021-63608080技术说明书编码：X2300030生效日期：2003年 5 月12 日国家应急：事故应急救援（021）62533429(F) , FAX(021)62563255 , 火警 119第二部分 成分/组成信息                þ纯品             □混合物 化学品名称：二氯硅烷 化学式:SiH2Cl2有害物成分：二氯硅烷                         浓度：>99%                         CAS No.：4109-96-0第三部分 危险性概述 危险性类别：2.1易燃气体 2.3 有毒气体 腐蚀性物质侵入途径：皮肤接触,口腔、鼻吸入健康危害：健康危害效应:二氯硅烷在水中与或与空气中水分水解,施放热量,快速产生氢氯酸,使皮肤灼伤,粘膜组织刺激等症状,类似氢氯酸(盐酸)所造成之症状.吸入过量可能致死,灼伤粘膜,严重刺激眼睛、皮肤、呼吸道.急性：眼接触：刺激和灼伤眼角膜，造成视力受损或失明。

摄入：消化道灼伤，食入可能致死皮肤接触：短暂接触会发痒并造成不舒服长时间接触会造成灼伤长时间大面积接触可能吸取某些有害物质吸入：高浓度会严重腐蚀呼吸道、咳嗽、喉部痉挛，过量可能会致死慢性：吸入：肺水肿皮肤接触：组织刺激甚至坏疽眼睛接触：视力受损或失明物理性及化学性危害：1、 二氯硅烷遇空气中水分时，会放出HCl熏烟2、 蒸汽比空气重，会传播至远处，遇火源可能造成回火3、 容器遇热可能破裂或爆炸特殊危害：极毒性、强腐蚀性主要症状：透不过气来、咳嗽、水肿、喉部痉挛、灼伤、刺激感环境危害：危害动植物生长及死亡燃爆危险： 正常存储在钢瓶中，其存储压力为其蒸汽压-23.3psig (70°F )钢瓶暴露在高温或火焰中，会猛烈地爆炸该产品的自燃温度很低非常容易自燃火焰或与水反应产生的热量都会引起自燃第四部分 急救措施 皮肤接触：脱掉粘有二氯硅烷的衣服、鞋子及饰品，用大量的水冲洗15～20分钟用干净衣物覆盖受伤部位，立即送医并注意保暖衣物再次使用前要清洗眼睛接触：翻开眼睑，使其离开眼球，用大量的水冲洗15分钟，小心勿使洗液沾染未受污染的眼睛以以纱布覆盖双眼立即进行医疗处理吸 入：施救前先做好自身的防护措施，以确保自己的安全。

将人员移到未被污染处，若停止呼吸，采用人工呼吸但建议不要嘴对嘴的人工呼吸若呼吸困难，则输氧并迅速进行医务处理，在等待期间继续吸氧如果呼吸道阻塞，需要由紧急医疗人员建立人工呼吸道患者可能会出现迟发性肺水肿，至少需要医疗观察24小时食 入：不可能成为接触二氯硅烷 的途径 医生须知：过分暴露在二氯硅烷中的伤害部分是由于它释放出氯化氢造成二氯硅烷强烈刺激和腐蚀粘膜吞入二氯硅烷有导致食道上部溃疡和穿孔的可能而且会发生 MEDIASTINITIS、腹膜炎和其他复杂的变化暴露于大量的蒸汽中可能引起迟发性肺水肿另外的危害是引起呼吸道烧伤应对病人进行的观察吸入物可引起肺伤害不能进行机械或药物催吐如果认为有必要排出胃中物，则必须保证呼吸通畅（例如，插入空气管）注意避免食道急性烧伤部位的穿孔或溃烂第五部分 消防措施 危险特性：钢瓶暴露在高温或火焰中，会猛烈地爆炸 如果泄漏或喷溅的二氯硅烷着火，不要灭火有毒、腐蚀性、可燃的气体可能会泄漏出来，遇到火源会爆炸该产品的自燃温度很低非常容易自燃火焰或与水反应产生的热量都会引起自燃燃烧产生的酸性分解物会在泄漏处与金属猛烈反应有害燃烧产物：氯气、氯化氢和硅的氧化物。

灭火方法及灭火剂：二氧化碳、化学干粉（不含碱）大火：喷水、泡沫灭火注意事项：1、 安全情况下将容器搬离火场；2、 以水雾冷却暴露火场的贮槽或容器3、 除非能阻止气体流出，不要尝试扑灭火灾4、 救火中流出的水等可能被污染，检测其PH值进入泄漏区必须有适当的装备消防人员之特殊防护设备：A级防护衣及自给式呼吸器（SCBA）第六部分 泄漏应急处理 应急处理：将所有人员撤离受影响的区域移走所有可能引起燃烧的物品并进行最大限度的防爆通风监控二氯硅烷含量使用适当的防护设备如有可能切断气源若从钢瓶及钢瓶阀门泄漏，请拨打Air Products的紧急联系若泄漏来自用户系统，应关掉钢瓶阀门，在修复前一定要安全地泄压并用惰性气体吹扫消除方法： 1、 若是制程设备发生泄露，关闭钢瓶，安全地排放压力维修前确定使用无水惰性气体进行管线吹扫2、 设法关闭阀门或封住泄露处3、 可利用水雾或喷水来降低或驱走蒸汽第七部分 操作处置与储存操作注意事项：一定不要拉、滚动或滑动钢瓶用合适的手推车来移动钢瓶，千万不要试图抓住气瓶的盖子来拎起它保证气瓶在使用的全过程中为固定状态用一个独立的控制阀安全的从气瓶内释放气体用单向阀来防止倒流。

不要用明火或其他附近的热源加热钢瓶的任何部分如果使用者在操作气瓶阀时有困难，需停止使用，并与供应商联系不可将工具( 如：扳手，螺丝刀，等) 插入阀盖内否则会损坏阀门并引起泄漏使用可调节的带扳手来打开过紧或生锈的阀盖碳钢、不锈钢、Monel 合金(Ni-Fe-Cu)及铜可以在没有潮气的情况下使用不要用黄铜和铝Ni-Mo-Cr合金、铂及金有很好的抗腐蚀性，可以在有潮气的情况下使用Kel-F或 Teflon可以作为垫圈的材料当选择材料及设计系统时应考虑压力的要求储存注意事项：在通风良好、安全且不受天气影响的地方存储钢瓶应直立摆放钢瓶应保持保护帽和输出阀的密封完好储存区域内不应有点火源所有电器必须有防爆设施存储区域必须符合 National Electrical Codes for class 1有害区域的要求易燃物存放区应与氧或其他氧化物存放区最少相距20ft或者在中间放置至少5英尺高的不可燃材料作为屏障，且保证能防火半小时在储存或使用区内应有“禁止吸烟和使用明火”的警示牌存储温度不可高于125oF(52oC),存储区域应远离频繁出入处和紧急出口将空瓶与满钢瓶分开存放使用先进先出系统避免满瓶存储时间过长。

特殊注意事项：所有管线及设备都要接地所有电器设备都必须防爆、防火花应根据美国压缩气体协会 ( 703-412－0900)手册CGAP－1及当地法规对压力气体进行存储和操作当地可能对其使用和储存要求有特殊的设备第八部分 接触控制/个体防护 最高容许浓度(ceiling)：5ppm 立即致生命健康危险浓度(IDLH):50ppm.监测方法：未建立工程控制： 应有良好的通风和/或专用排空，防止气体浓度积累过高排出的废气必须进行处理，才可以释放到外部空间装置HCl气体侦测器，开放空间撤离警报建议值：50ppm呼吸系统防护：一般作业: 更换钢瓶或PM作业时,要配戴全面罩气管防护器.紧急情况: 需要自给式呼吸器或接有供气式呼吸器的全面罩并配有逃生用SCBA眼睛防护：当搬运液体时建议佩戴安全眼镜、防化眼镜身体防护：一般作业:防护手套、安全鞋 紧急状态：开放空间浓度＜50ppm：防护手套、防护靴； 开放空间浓度≥50ppm：A级防护衣、防护靴手防护：一般作业:防护手套 紧急状态：开放空间浓度＜50ppm：防护手套； 开放空间浓度≥50ppm：A级防护衣。

其他防护：工作后尽快脱掉污染衣物，不可随便丢弃；工作场所严禁抽烟或饮食；处理此物后，须彻底洗手 第九部分 理化特性 外观与性状：无色 气体，有刺激辛辣性、窒息性酸性气味在潮湿空气中释放出白色烟雾pH值：无资料 熔点（℃）：（1atm）－122.0 °C（－187.6°F）沸点（℃）：（1 atm）8.2 °C（46.7°F） 相对密度（水=1）：1.3 临界温度：349℉ （176℃） 相对蒸气密度（空气=1）：3.487饱和蒸气压：( 70°F(21.1°C)): 23.3 psia      分子量：101.01 g/mol自燃点: 44°C〔111°F〕 燃烧极限: 4.6-98.0%闪点（℃）：-37（闭杯）           爆炸上限％（V/V）：99%自燃温度（℃）：131℉ (55℃)                 爆炸下限％（V/V）：4.1%溶解性： (体积/体积,32°F(0°C) 1 atm ): 水解其他理化性质：密度:0.268 lb/ft3(0.0043g/cm3),70℉(21℃)第十部分 稳定性和反应活性 稳定性：稳定禁配物： 水、碱、酒精、丙酮、氧化剂、铝、黄铜、氧气。

室温下它与硝酸盐接触会发生爆炸，其它氧化剂可引起类似反应与水剧烈反应与醇类，伯氨，仲氨，氨气及其它有活泼氢原子的化合物发生放热反应在氨类、铁锈及氯化氯或热量的催化下会重组为：硅烷、一氯硅烷、二氯硅烷、四氯硅烷的混 合物这种混合物会在氧或空气中自燃避免接触的条件：100℃以上会不安定、热、火花、引火源聚合危害：可能存在分解产物： 硅、氯化氢（遇湿汽时）氢气、氯气、二氧化硅接触潮气分解为高密度的二氧化硅云雾和极大体积的氯化氢 固体水解产物也可燃第十一部分 毒理学资料急性毒性：吸入：1、呼吸不畅、咳嗽、水肿、喉部痉挛2、过量可能致死3、LC50(1小时)：314 ppm（大鼠）皮肤：严重的刺激感及灼伤眼睛：严重的刺激感食入：1、消化道灼伤；2、其溶液为强酸，食入可能致死亚急性和慢性毒性：长期接触会造成灼伤长期大面积接触 可能导致吸收某些有害物质刺激性：短暂接触会发痒并造成不舒服致敏性：无资料致突变性：无资料致畸性：无资料致癌性：无资料其  他：--第十二部分 生态学资料 生态毒性：未建立生物降解性：未建立生物富集或生物积累性：未建立非生物降解性：未建立其他有害作用：不要向大气中大量排放二氯硅烷。

此产品不含有任何1类或 2类的分解臭氧的化学物质可能引起水中生态系统pH值的改变第十三部分 废弃处置 废弃物性质：           þ危险废物              □ 工业固体废物 废弃处置方法：在燃烧器中燃烧后再净化是通常的处理方法废弃注意事项：将空的容器及未用。