东海-国家硅材料检测中心设备简介.pdf

国家硅材料深加工产品质量监督检验中心仪 器 设 备 简 介联 系人 ： 高 丽荣地 址 ：江 苏省 东海 县经 济开 发区 晶都 大道 938号邮 编 ： 230电 话 ： 0518-72801传 真 ： 0518-72801手 机 ： 1509285邮 箱 ： gaolirong014@： 18731926目录国家硅材料深加工产品质量监督检验中心 简介 ..........11、设备名称： X射线衍射仪（ XRD） ...............22、设备名称： X射线荧光光谱仪（ XRF） .............33、设备名称：紫外、可见、近红外分光光度计 ..........44、设备名称：傅立叶变换红外光谱仪 ...............55、 设备名称： 低温傅里叶红外光谱仪 ...............66、设备名称：氧测定仪 .......................77、设备名称：碳硫分析仪 ......................88、设备名称：少数载流子寿命测试仪 ...............99、设备名称：多功能硅片测试系统 ................1010、设备名称：变温霍尔效应测试仪 ...............11、设备名称：深能级瞬态谱仪 ..................1212、设备名称：偏光金相显微镜 ..................1313、设备名称：激光粒度仪 .....................1414、设备名称：气相色谱仪 .....................1515、设备名称：火焰石墨炉原子吸收光谱仪 ...........1616、设备名称：电感耦合等离子体原子发射光谱仪 .......1717、设备名称：辉光放电质谱仪 ..................1818、设备名称：电感耦合等离子体质谱仪 ............1919、 设备名称：带能谱仪场发射扫描电镜 ............20硅检中心现已设备一览表 ......................211国家硅材料深加工产品质量监督检验中心 简介国家硅材料深加工产品质量监督检验中心是国家质检总局批准筹建的国内首家专业从事硅材料及其深加工产品质量检验的国家级检验中心 ， 地处新亚欧大陆桥东方桥头堡 —— 连云港。

中心依托于母体连云港市产品质量监督检验所雄厚的技术装备及人员优势，按照国际标准、国家标准、行业标准、 SEMI、 ASTM、 JIS、 DIN等标准对硅材料及其深加工产品的质量性能作出权威评价检验检测范围涵盖晶体硅材料 、石英及相关矿产品 、 石英玻璃制品 、 硅微粉 、 人造石英晶体 、 水晶工艺品 、 碳化硅产品、熔融石英产品、金属硅产品等 9大类 291种产品中心下设理化分析检验室、光谱分析室、色谱分析室、质谱分析室、光学分析检验室、电学分析实验室和水晶珠宝检测室，实验室面积达 750m2拥有辉光放电质谱仪 、 场发射扫描电镜 、 低温傅里叶红外光谱仪 、 电感耦合等离子体质谱仪 、 X射线衍射仪 、 扫描型 X射线荧光光谱仪 、 紫外 ·可见 ·近红外分光光度计、傅立叶变换红外光谱仪、激光粒度仪、金相显微镜、等离子发射光谱仪 、 原子吸收光谱仪 、 超低碳分析仪 、 超低氧分析仪 、 少子寿命测试仪 、 贵金属检测仪 、宝石鉴定仪等 60余套国际一流的检测设备国家硅材料质检中心将打造成 “国内第一、国际先进 ”的硅材料检验机构 ， 成为国内外先进的硅材料深加工产品检验检测 、 咨询 、 标准制修订 、 科研和认证方面国家级研究型检测基地 ， 为全国硅材料企业在检验检测 、 产品认证 、 新产品研发以及技术标准等方面提供公共服务 ， 为硅材料产业经济发展提供强有力的技术支撑。

21、设备名称： X射线衍射仪（ XRD）设备型号： D8ADVANCE设备厂商： 德国 BRUKER设备简介： 最大输出功率 3.0kW，最大管压 60kV，最大管流 80mA，测角仪半径≥ 200mm， 连续可调 ， 2θ 转动范围 ： -110º～ 168º， 可读最小步长 ： 0.0001º°，角度重现性： 0.0001º测试范围 ： 对金属和非金属多晶粉末 、 块状及片状样品进行物相检索分析 、 物相定量分析 、 基本参数法线形分析分析 、 晶胞参数计算和固溶体分析 、 微观及宏观应力分析32、设备名称： X射线荧光光谱仪（ XRF）设备型号： ARLADVANT’ X设备厂商： 美国 ThermoFisher设 备 简 介 ： X射 线 管 ： 类 型 为 陶 瓷 端 窗 Rh靶 光 管 铍 窗 厚 度 为 ≤ 75μ m 照 射方式为下照射样品激发距离为 ≤ 18mm， 测角仪：测量最小角度 0.001° ,角度重现性优于 ± 0.0002° ,扫描速度 0～ 327° /分 （ 2θ ） ,定位速度 4800° /分（ 2θ ） ,闪烁计数器 2θ 范围 0° -115° ；最小步长 0.0005° ,流气正比计数 器2θ 范围 17° -152° ,最小步长 0.0005° 进样器 ： 能自动识别样品类型 （ 如粉未压片 、 融片和液体等 ） ， 样品盒的配置能满足固体及松散粉末等样品的检测要求 。

测试范围 ： 可分析所有类型的大块样品液体样品及不规则形状的小样品诸如一枚螺丝钉、金属钻屑、松散的乃至 10mg的粉末、树木年轮等 ,满足检测石英材质中的 O到 U元素含量的要求，检测范围： ppm到 100%43、设备名称：紫外、可见、近红外分光光度计设备型号： Cary5000设备厂商： 美国 Varian设备简介 ： 异面复式 Littrow单色器 ， 氘灯 、 钨灯 、 汞灯为光源 ， 双面闪耀光栅 ，光 电 倍 增 管 ,半 导 体 冷 却 的 PbS的 检 测 器 ， 波 长 范 围 ： 175～ 3300nm， 波 长 准 确度 ： 紫外可见 ≤± 0.1nm； 近红外 ≤± 0.4nm， 波长重复性 ： 紫外可见 ≤± 0.005nm；近 红 外 ≤ ± 0.02nm， 光 谱 带 宽 :紫 外 可 见 ： 0.01～ 5nm,0.01nm间 隔 自 动 调 节 ；近红外 ： 0.04～ 20nm， 0.01nm间隔自动调节 ， 光度准确性 ： ≤± 0.0003A， 光度重复性 ： ± 0.00008A(0～ 0.5A)； ± 0.00014A(0.5～ 1A)， 光度范围 ： 8A， 杂散光 ：≤ 0.00008%T（ 220nm,10g/LNaIASTM方法 ） ，光度稳定性： 0.0002A/h，基线平滑度： ± 0.0007A。

测试范围： 可用于食品、饲料、生化样品、药品以及环境样品的定性定量分析 ；玻璃、滤光片、固体粉末、薄膜、镀膜光学材料的透射、反射测定54、设备名称：傅立叶变换红外光谱仪设备型号： Nicolette6700设备厂商： 美国 ThermoFisher设 备 简 介 ： 光 谱 范 围 :7,800-350cm-1； 分 辨 率 :优 于 0.09cm-1， ASTME1421标 准 线 性 度 :优 于 0.07%T； 灵 敏 度 :仪 器 在 达 到 ASTM标 准 线 性 度 优 于 0.07%T的 条 件 下 ， 噪 音 峰 -峰 值 小 于 8.68× 10-6Abs.即 在 达 到 ASTM标 准 线 性 度 优 于0.07%T的条件下，信噪比至少优于 50,000:1，波数精度：优于 0.01cm-1，信噪比 ： 仪器在达到 ASTM标准线性度优于 0.07%T的条件下 ， 噪音峰 -峰值小于 8.68× 10-6Abs.在 达 到 ASTM标 准 线 性 度 优 于 0.07%T的 条 件 下 ， 信 噪 比 至 少 优 于50,000:1测 试范围： 固体或不含水的液体物质的结构定性分析，部分物质（有较强特征吸收峰）的定量分析，如无机物、有机物、塑料、橡胶等。

表面和界面研究 ， 反应动力学和催化机理研究 ， 高聚物分子取向研究 ， 矿物油的测定 ， 硅晶体中间隙氧替位碳含量测定等65、 设备名称： 低温傅里叶红外光谱仪设备型号： CryoSAS设备厂商： 德国 BRUKER设 备简介： 本仪器分 辨率 优于 0.5cm-1， 适用于测量单晶硅样品中 B、 P、 As、 Al、Sb、 Ga、 In等含量的分析 叁 伍 族 元 素 测 量 按 照 SEMIF1630-704方 法 测 量 ， 仪 器的 测 量 其 中 P的 检 出 限 为 10pta， B的 检 出 限 为 30pta， C的 检 测 限 为 25pba， O的 检测 限为 10pba 所 有元 素同 时检 测出 76、设备名称：氧测定仪设备型号： RO400设备厂商： 美国 LECO设备简介 ： 分析范围 ： 氧含量 2.0ppm-3%， 减小称样重量 ， 理论上分析范围可以扩展到 100％ ； 分析精度 ： 氧精度 1.0ppm或 0.5%RSD（ 标气 ） 1.5ppm(标样精度 ） ；对同一样品检测重复性：氧重复性 1.5ppm或 0.5%RSD（固标）仪器长期工作的稳定性：仪器长期精度验收指标（连续两天）氧含量： ≤ 50ppm可以达到的精度： ≤ 1.5ppm灵敏度 0.01ppm测试范围 ： 用于黑色金属 、 有色金属 、 硬质合金 、 无机材料 、 稀土金属等材料中的氧含量的分析87、设备名称：碳硫分析仪设备型号： CS230设备厂商： 美国 LECO设备简介 ： 分析范围 ： （ 1g试样 ） 碳 2ppm-3.5%； 减少试样称重可以扩大分析范围理论上分析范围可达到 0-100%； 分析精度 ： 碳 ： 1ppm或 0.5%RSD； 读出能力 :碳 0.01ppm； 分析时间 ： 不超过 60秒 ； 电子天平 ： 外接万分之一精度电子天平 ，称量范围 0-120g测试范围 ： 用于黑色金属 、 有色金属 、 硬质合金 、 无机材料 、 稀土金属等材料中的碳、硫含量的分析98、设备名称：少数载流子寿命测试仪设备型号： WT-2000PVN设备厂商： 匈牙利 Semilab设备简介 ： 测试 多晶硅锭 ， 硅片 中的 少数 载流子寿命及体电阻率 ； 可测试硅块最大尺寸： 156mmX156mmX270mm（长 X宽 X高）；可测试硅片的尺寸： 210mmX210mm（长 X宽） ； 可以做扫描测试 ,对硅片（块）可做全面扫描 ； 扫描分辨率 0.5,1,2,4,8,16mm可自行选择 ； 具备自动寻找边缘 ， 用于不同形状 、 尺寸的硅片（锭）测试 ； 少子寿命 测试方法为无接触、无损伤测试的 光电导衰减法（ μ -PCD法） ； 可以对电阻率范围 0.1– 1000Ω.CM硅材料样品进行寿命测试 ；激光光源波长： 904nm； 光源脉冲宽度： 200ns， failtime10ns； 少子 寿命测试范围： 0.1μ s– 30ms； 少子寿命 测试分辨率： 0.1%； 少子寿命 测试重复 性 ：≤ 5%； 体电阻率测试方法为 无接触涡流场技术； 体 电阻率测试范围： 0.5to20Ω.CM； 体 电阻率测试准确度： ≤ 4%； 体 电阻率测试重复性： ≤ 2%测试范围： 可测半导体材料尤其是晶体硅材料、太阳能电池片少数载流子寿命 、Fe含量测试，以及涡流法测试半导体材料体电阻率109、设备名称：多功能硅片测试系统设备型号： MS103设备厂商： 上海星纳电子科技有限公司设备简介： 厚度： 100μ m~1000μ m；厚度精确度： ≤± 1.0μ m；重复性（ 1δ ） ： 1δ≤ 0.15μ m；线性度： ≤± 0.3%； TTV:0.0μ m~200.0μ 。