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空气过滤器典型使用场所分析
9页1、空气过滤器典型使用场所分析您好,欢迎来到阿里巴巴空气过滤器典型使用场所分析(2011/05/15 20:33)空气过滤器典型使用场所分析1芯片厂当今,半导体芯片厂对生产环境空气洁净程度最挑剔,对空气过滤器的要求也最苛刻。粘在芯片上的粉尘可能造成断路、短路而直接影响成品率。芯片厂用的高效过滤器和风机过滤单元(FFU)出厂前要经过扫描测试。芯片厂不认钠焰法和DOP法的帐。芯片厂特别在意过滤器上可能的微量挥发元素。近几年出现了聚四氟乙烯PTFE纤维高效过滤材料,这种材料没有挥发物,但它带静电,过滤后的空气要进行电中和以消除离子,少了个隐患,多了个麻烦。但当芯片的线宽小到0.5um时,人们发现空气中的化学污染物成了影响成品率的主要危害,于是,后建的芯厂空调系统中普遍配置了化学过滤器。芯片厂说的化学过滤器就是活性炭过滤器,它的原理和制造工艺并不复杂。许多情况下,设计师和现场人员也说不清污染物的种类和浓度,因此,芯片厂用的化学过滤器应具有两个特点:广谱吸附性能、足够多的吸附材料。如果能确定污染物种类,就可对吸附材料进行有针对性的化学处理,以增强对特定污染物的吸附能力。过滤器供应商有时还要提供相应的
2、现场检测服务,以帮助用户确定化学过滤器的使用情况,这就要求供应商中有搞化学过滤的专家,并与权威实验室有密切的关系。半导体工业并非无烟工业,它也有环境问题。为降低环境风险,有些芯片厂的排风系统也装有化学过滤器。2机场空调系统飞机场是宾客对城市的第一印象,机场空调系统表明主人的实力和空调设计师的水平。在发达国家大型机场的空调系统中,空气过滤器常见配置为:G4F6预过滤器活性炭过滤器F7末端过滤器F7过滤器(Ashhae Dust-spot 85%)是上档次的公共场所中最常见过滤器。经过F7过滤器后,空气含尘浓度可以达到旅游景区的水平。国家标准中规定候机厅可吸入颗粒物的浓度上限为0.15mg/m3,这是从卫生角度考虑的最低要求,机场室外空气也比这个浓度低.设计中,机场空调考虑的是档次,而不仅仅是卫生.机场有汽油味,消除气味的活性炭过滤器成了发达国家机场空调中的标准配置.这里没多少技术可言.活性炭过滤器检验机场投资者和运营者的实力.3洁净室末端过滤器过滤器是通用产品,不管什么等级的洁净室,所用的高效过滤器是一样的.一但过滤器的品质一有了保证,通风参数(换气次数或平均风速)就成了决定洁净工程质量
3、的关键因素。表3是洁净室设计时应考虑的一些因素。表3洁净度、通风参数与高效过滤器ISO14644分级对应传统规格气流形式平均风速(m/s换气数末端过滤器效率过滤器出厂检验方法ISO1级99.9999%扫描ISO2级U 0.30.599.9999%扫描ISO3级1 U0.30.599.999%扫描ISO4级10 U0.30.599.999%扫描ISO5级100 U0.20.599.97%总效率或扫描ISO6级1000 N,M 7016099.97%总效率或扫描ISO7级10000 N,M 207099.97%总效率或扫描ISO8级100000 N,M 102099.97%总效率或扫描注:U-单向流,N-非单向流,M-单向与非单向混合流表2中的平均风速只针对单向流洁净室,这种洁净室的平均风速必须压过粉尘的扩散速度。表中的换气次数是针对高3m左右的常规洁净而言,这个参数通常仅对非单向流和混合洁净室有意义。目前国外高档次洁净室用的高效过滤器全部经过扫描检验,由于历史原因,有些要求不高的洁净室仍使用经过传统的总效率方法测试的过滤器。由于具体项目的要求不同以及设计理念的差异,设计师对换气次数的平均
4、风速选取也会不同。近几年,国内设计洁净室的换气次数有提高的趋势。国内制药行业GMP规范中有个30万级。30万级的环境相当于风平浪静的近海海面、环境质量优的景区。要获得30万级,多数情况下没必要加装末端高效过滤器,在空调系统中选用好一些的过滤器(效率级别F8H10)就可以了。提高过滤器的过滤效率可以降低换气次数,这是个十分可怕的念头。洁净室的主要尘源是人和设备,相比之下,经高效过滤器进入室内的粉尘量要少得多,如果通风参数相同,选用99.9999%过滤器与选用99.97%过滤器,洁净室的洁净程度不会有多少差别。单向流洁净室的平均风速至关重要,如果风速压不住粉尘扩散速度,使用再好的过滤器也白搭。非单向流洁净室也称乱流洁净室,另有个形象的称呼叫稀释型(dilutiontype)洁净室。这种洁净室的平均风速远远低于粉尘扩散速度,送风仅起稀释作用,由于这类洁净室内操作人员相对地多、设备和生产过程发尘量也较大,所以过滤器效率的高低不再是洁净度的决定因素,因为最差高效过滤器的其效率也会是99.97%,它足以满足稀释室内粉尘浓度的要求。国内曾有种观点,10万级洁净室可以选用亚高效过滤器(对0.5um粒子
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