螺杆真空泵操作规程全解

1、螺杆真空泵操作规程1. 1概要LG系列螺杆真空泵是一种干式运行，无接触，等螺距的螺杆型真空泵。它的工作原理，是利用两个相平行的等螺距螺杆，在泵腔中作同步高速反向旋转而产生吸气和排气作用。两螺杆经过精细动平衡处理，由轴承支撑，安装在泵壳中，螺杆与螺杆之间有一定间隙，因此泵工作时运行平稳，相互之间无摩榛，工作腔无需工作介质。因此，螺杆真空泵能抽除含有大量可凝性气体及粉尘的气体，是环境友好型、节能型真空泵。它是油封式机械真空泵、液环式真空泵、往复式真空泵的更新换代产品。1.2特点(1)工作腔内无任何介质，可获得清洁真空。(2)工作腔及螺杆表面有防腐蚀镀层，可适应恶劣工况。(3)工作腔干式运行，适合抽除含有粉尘的气体和可凝性的气体。(4)单台泵可连续直排大气，从大气抽至5Pa以下，真空系统可大大简化。(5)旋转部件之间无摩擦，因而寿命长；(6)经过高精度动平衡，可高速运转，工作平稳，整机体积小。(7)与多级爪泵相比，结构简单、紧凑，零部件少，操作简便，维护方便。(8)与油封式机械真空泵相比，可凝性物质不会在泵内滞留，无油汽和油雾排放，环保首选。(9)与水环泵相比，仅需要可循环应用的冷却水，被抽

2、气体不与水接触，物料容易回收，而且省掉污水处理环节，更加环保，而且避免了水温对真空的影响。(10)与液环泵相比，极限压力更低，因而可节约能耗。(11)可与罗茨泵、分子泵组成无油机组。1.3典型应用(1)工业炉/热处理(表面硬化，淬火，烧结，渗碳，熔炼等)(2)化工制药(7)包装技术(3)镀膜(8)干燥工艺(4)研究与开发(9)太阳能(5)冶金(10)电机工程（6）检漏2工作原理2.1抽气原理1.4型号及意义LG100（11）半导体行业LGA螺杆真空泵（为汉语拼音螺“Luo”和杆“Gan”的第一个大写字母）100抽气速率100L/S螺杆真空泵里的泵腔由两个同步反向旋转的转子和泵体、侧盖等组成。使用了一对紧密啮合的左旋和右旋螺杆，通过非常少的零部件，实现很多的级数，并且获得很低的极限压力。图1和图2显示了两个转子和泵体以及侧盖如何构成了若干个室并实现气体压缩。两个转子同步反向高速旋转，这些气室有规律地从泵的进气口侧往排气口侧“移动”（图2）,这样气体就以低速旋流的方式运送出去。泵的持续运动不改变气体流动方向，这样就可以在一定范围内将气体夹带的微粒以及蒸汽抽送出去。与其它干式运行的压缩（缝隙

3、密封式）真空泵一样，螺杆泵的两螺杆之间，螺杆与泵体之间要保持极为紧密的间隙。否则压力降造成的泄漏对抽速和可达到的极限压力都有负面影响。在工作中，LG螺杆真空泵的设计使得间隙保持在泵的运动范围以内。为了限制零部件达到的温度，泵壳体采用水隔套冷却，螺杆内部采用水冷却，即将外部水隔套流出的冷却水引入螺杆内部。因此泵内实现了温度的均衡。本型泵采用了等螺距的螺杆型线，在螺杆的末端有内部压缩设计，即绝大部分的压缩工作是在气体与排气口相通的时候完成的，也就是泵排出的最后阶段。图3显示的是螺杆泵的P-V图表：（a）无内压缩；（b）最后阶段有压缩。PV图表中显示的几个面积与泵吸取的能量成正比的。很明显地，采取适当的内压缩，有利于降低功率的消耗，同时也减少了发热量。图-1螺杆泵的工作原理精选资料，欢迎下载图-2螺杆泵的工作原理图-3螺杆泵的P-V图表2. 2净化原理冷却净化：冷却净化的目的是冷却螺杆和泵体。在泵的运行期间，冷却净化要求给带有压缩热的排放气体降温。工艺气体从进气口吸入，被旋转的螺杆压缩并传送到排气口，过程中所产生的压缩热使工艺气体温度上升，为了防止泵被损坏，这些热量必须及时排除。通常冷却净化

4、气体为空气，除非根据系统所指定的其它气体。我们为了冷却净化在泵体上靠近排气端的地方设置了接清洗净化：清洗净化是在停泵前清洁泵腔所必需的。在停泵前，关闭泵进气管路上的主阀，注入氮气，蒸汽或清洁空气2030分钟，为了把粘性的工艺材料或工艺气体从泵的内表面上清理下来。当抽有腐蚀性的或有毒的气体，或像树脂一样有粘性的材料时，本操作就显得尤其重要。泵蒸汽或溶剂冲洗：当泵每次工艺过程结束后，关闭进气口主阀，无负载运行真空泵10?20分钟（干运行，清洗净化）。本操作是消除或清洗在抽气过程中积聚在泵腔内的工艺气体或可凝性蒸气。这些残留在泵腔内的工艺材料是导致泵重新起动时发生过载。同样，当一段时间处于关闭状态的泵重新开启时，这些残留的工艺材料会导致泵卡死或过载。在这种情况下，按照以下步骤应用冲洗蒸汽注入泵腔后再起动螺杆真空泵。蒸汽冲洗方法（当泵运行后）（1）要求进行蒸汽冲洗的工艺材料：低聚物，单体，聚合体，树脂等等2（2）烝汽压力：大约1kg/cm（3）冲洗程序：a.关闭进气阀门。b.降低真空泵的转速或停止真空泵运转。c.从泵进气管路或进气管上的螺塞，注入蒸汽10到20分钟（注入时间视工艺材料被清除而定

5、）。d.通过联轴器用手试着转动轴，看泵转动是否轻松（在此期间，小心请不要启动电机）e.如果泵转动很轻松，则停止注入蒸汽。f.最后，启动电机，检查泵运行是否正常。如果泵还是不能旋转，则必须重复以上过程2到3次。3 .性能规范3.1 技术参数机型Model单位UnitLG70抽气速度（50Hz）PumpingSpeedl/min42003m/hr370终极压力UltimatePressurePa三5气冷马达频率FrequencyHz50Fan-cooledMotor电压VoltageV380+5%(3Phase)额定功率RatedPowerkW11底压耗功UltimatePressurePowerkW8连接Connection进气口Inlet(ANSI150#)2-1/2(DN65)排气口Outlet(ANSI150#)2(DN50冷却水CoolingWater流星Flowl/min610压力Pressurekg/cm224温度Temp.C1530接头ConnectionG1/2氮气(机械酱封时不需要提供氮气)N2压力PurgePressureMPa0.10.15密圭寸SealingFlo

6、wl/min815吹扫流量PurgeFlowl/min依制程ByProcess接头Connection12mmit水烝汽watervapour压力PurgePressureMPa0.150.2吹扫流量PurgeFlowl/min依制程ByProcess接头Connection12mmit重量Weightkg450噪音NoisedB(A)85室温操作范围OperationTemp.C5c40c操作湿度OperationMoistureRH90砌下润滑油LubricationOil商标Brand真空油用量QuantityL24 .安装与联接4.1 场所(1)将泵放置在一个清洁、平整、有足够刚度的平板上。如果安装在户外，必须检查电机和其他零件是否适应环境要求。(2)泵周围应留有足够的空间以便维修装配(拆卸、重装和定期检查等等)。(3)环境温度540度。4.2 基础(1)考虑到泵的重量和基础的负重能力，安装基础必须有足够的压力支承面积。(2)在确认混凝土已经变硬后，再继续安装泵和管道。4.3 安装见4.7LG系列螺杆真空泵安装尺寸图。(1)将泵水平居中吊起。(2)将泵安置在基础上，用金属薄片将

7、底盘垫平。(3)确保泵的水平度不超过0,5mm/mi(4)用薄泥浆填塞底盘下面和锚固螺栓的空隙。当灰泥变硬后，拧紧锚固螺栓上的螺母，注意要均匀地拧紧。4. 4管道连接(1)清除进排气管路，使其没有铁锈，灰尘和外部材料。并在泵进气口处放置40目过滤网。(2)泵的进气管道和排气管道一样，最好要求安装柔性管道。同样，给管道以支撑，使没有过多的负载加载在泵上。(3)当排气口需要接消音器时，与排气口连接的距离越近越好。(4)确信在接近泵的进气口处安装止回阀，使泵在停止工作时与工艺气体相隔离，因此泵也不会反转。如果安装止回阀对泵的保养带来困难，可用其他阀门代替，并保证在关泵之前关闭阀门。(5)万一冷凝物在泵的排气管内聚集，如果有可能的话在泵的下面设置回收罐；在操作过程中冷凝物就会被收集，然后通过排泄阀排放出来。(6)接收容器必须安装在回收罐排泄阀的下面，收集所排放的冷凝物。4.5冷却水路本型泵的齿轮箱，泵体，高压端板，低压端板内部均有冷却水套设置。提供了直接水冷的冷却系统方案，冷却水从齿轮箱接入，通过高压端板，泵体，低压端板上冷却水出口流出。注意水管的通径不小于接口的通径，管路上装调节阀门，可以调

8、节水量，出水温度不高于40C,避免在泵的冷却水套内产生水垢，影响冷却。对于水资源紧张的地区，冷却水可循环使用，或在水路上装自动温度控制阀，最大限度地节约用水。警告：当环境温度低于0C,停泵后必须将泵水套内的冷却水全部排净，以免冻裂。4.6电路根据电机的额定功率，选择合适的电路及电路保护装置。点动电机，(如有变频器可变频启动)检查旋转方向电机转向是否正确(从电机端看是顺时针)5. 1运行预备(1)去除泵内和管道里的所有灰尘杂物。(2)确保管道十分地清洁，并且没有焊渣和金属碎片留在里面。(3)如果抽除带有较多粉尘或其它金属粉末的气体时，应检查是否已经放置过滤网。(4)确保所有真空泵进排气口连接口(包括冷却水)完全地紧固，所有的管道受到支撑。5.1 检查齿轮箱内真空油是否足够，如果泵在低油位运行，齿轮和轴承将会咬住；如果油位太高，油温会变得很高，并影响泵的正常运行。(6)检查各部位有无松动现象。(7)打开冷却水阀门，检查水路是否畅通无阻。5.2 运行步骤(1)根据技术参数表上的要求接通冷却水。(2)打开进气阀门，无负载下启动。(3)将泵在无负载下运行2030分钟。检查异常的振动、发热、或噪音

9、。如果发现有异常现象，停止运行并调查原因大多数情况下，是由不正确安装造成的。另外可能是有润滑不正确所致。(4)将泵在一般的负载下运行2-3小时并检查泵每个零件的温度和振动。(5)在最初的操作过程中，观察泵电机的电流曲线。如果发现有异常现象，立即停泵。运行中注意事项：(1)检查轴承和润滑油的温度，电流表的数值和冷却水的流量。(2)按照说明书指定的程序操作。5.3 停泵步骤(1)关闭进气主阀。(2)如果工艺气体中含有腐蚀性的或有害的气体，在停泵前向泵内充入清洁的空气20?30分钟。(3)断开电源，停泵(4)断开冷却水。(5)当环境温度低于0,停泵后必须将泵水套内的冷却水全部排净，以免冻裂。5 .4润滑剂应用在螺杆真空泵上的油必须是好的并且高级石油产品，包含抗氧化剂，防锈添加剂等等。(不得使用含有水分，硫酸盐树脂或焦油的油)。推荐使用的润滑剂牌号为：100号真空油。6 .检查与维修6.1 概要(1)在操作过程中，泵的温度会随着压缩率呈函数关系。然而，当出现局部的温升和外表面出现烧焦现象，则是不正常的。局部过热可能是由于冷却水供应不恰当或冷却水被切断，或泵腔与螺杆发生干涉，或泵吸收了外部物质。如果发觉

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