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生产实习报告77617
5页1、共享知识分享快乐生产实习报告专业:微电子科学与工程班级:1314012学号:姓名:刘聪指导教师 :李跃进丁瑞雪李娅妮实习时间 :12.24卑微如蝼蚁、坚强似大象共享知识分享快乐一、 工艺原理1.氧化SiO2(氧化层)作用: 杂质扩散掩蔽膜和离子注入屏蔽膜; 器件表面保护或钝化膜; MOS 电容的介质材料; MOSFET 的绝缘栅材料; 电路隔离介质或绝缘介质。制备氧化层方法:热氧化;热分解淀积;CVD;阳极氧化;蒸发法(溅射法)。热氧化优点:SiO2 (氧化层)质量好,掩蔽能力强。热氧化种类: 干氧氧化:高温下,氧气与硅片反应生成SiO2特点速度慢;氧化层致密,掩蔽能力强;均匀性和重复性好;表面与光刻胶的粘附性好,不易浮胶。 水汽氧化:高温下,硅片与高纯水蒸气反应生成SiO2特点氧化速度快;氧化层疏松,质量差;表面是极性的硅烷醇易吸水、易浮胶。 湿氧氧化:高温下,硅片与携带一定量水汽的氧气反应生成SiO2特点氧化速率介于干氧和水汽之间;氧化层质量介于干氧与水汽之间;影响氧化速率的因素:氧化剂分压;氧化温度;硅表面晶向;杂质;2.扩散扩散目的:将所需的杂质掺入半导体基片规定的区域内,并达
2、到规定的数量和符合要求的分布。扩散定义:将掺杂气体导入放有硅片的高温炉中,从而达到将杂质扩散到硅片内的目的。方法:按掺杂源的形态分类:固体源扩散:BN;开管扩散、箱法扩散、涂源法扩散;液态源扩散:POCl3气态源扩散:PH3, BH3按扩散形式来分类(杂质源硅片)气相固相扩散(三种源都可用)固相固相扩散液相固相扩散按杂质扩散进入硅片后的分布形式分类:恒定表面源扩散分布(余误差分布)和有限表面源扩散分布(高斯分布)按扩散系统分类:开管和闭管两大类。卑微如蝼蚁、坚强似大象共享知识分享快乐恒定表面源扩散:在扩散过程中,Si片表面的杂质浓度始终不变;特点在一定扩散温度下,表面杂质浓度Ns为由扩散温度下的固溶度决定;扩散时间越长,扩散温度越高,扩散进硅片内的杂质数量越多;扩散时间越长,温度越高,扩散深度越大。有限表面源扩散:在扩散过程中,杂质源限定于扩散前淀积在晶片表面极薄层内的杂质总量Q,硅片内的杂质总量保持不变,没有外来杂质补充,也不会减少。特点扩散时间越长,杂质扩散越深,表面浓度越低;扩散温度越高,杂质扩散得也越深,表面浓度下降得越多;在整个扩散过程中,杂质总量Q 保持不变;表面杂质浓度可
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