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少子寿命测量仪操作规程

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卖家[上传人]：hs****ma

文档编号：508599446

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常见问题

1、WT-2000PV少子寿命测量仪操作规程少子寿命测量仪操作规程一、开机1、检测所有电源连接无误后，按Power键依次打开DOS系统（上面）和Window系统（下面）的工控机。2、预热（10分钟以上） 3、检测前准备:WINTAU32 8.07.121 2 registered to SJFile Edit Vbw1 Macro FVocess Arithii 一一iNode 1Infeialce|（1）双击wmtau32图标进入软件；（2）每次开机后点击Measure/Iiiitialize进行初始化二、检测检测时可以釆用手动检测或者自动检测的方式。（一）手动检测1、点击Load Wafei1上料，会弹出confiim对话框，如果点击“ok”则放入样品正常上料，如点击cancel则可自由移动探头、样品台。硅锭要与检测托盘保持平行；2、检查设备翻盖内的互锁装置INTERLOCK OVERRIDE旁边的红色指示灯,闪烁后方可检测;3、上料结束后，设备会自动画出样品的轮廓，点击屏幕上方工具栏中的AUTOSETTING 回，设备会自动设置监测参数；4、点击工具栏中的MAP/Resume图标倉

2、_进行扫描（mapping后结果如下图所示）；5、点击FileSave保存结果;1. 打描图2. 颜色刻度3. 测量数据结果6、在Histogram的对话框MIN里填写最小值（根据厂家所需填写，一般为2）,然后在MIN下方对应的空格里单击左键，设备会自动剔除扫描图中少子寿命少于2 的部分；7、在图像左边线单击右键，待探头移动到相应位置后，对齐探头左起第一道白线在硅锭上画垂线；8、在图像右边线单击右键，待探头移动到制定位置后，对齐探头左起第一道白线在硅锭上画垂线；9、填写检测报表；10、单击unload ware 建下料;（二）自动检测（1）在自动检测之前确定是否有需要改动的参数，如不需要直接按MEASURE进行自动扫描；如需则点击工具栏中的MEASURE OPTIONSZ对话框中的Loating进行修改，修改完毕后点击MEASURE进行自动扫描。（2）待弹出Lode sample对话框后，进行上料。上料完成后，单击“0K”，设备开始自动扫描；（3）其后操作与手动检测第5步至第10步相同。三、关机1、关机前取出所有样品。2、关闭 wmtau32 软件|呦或FileExito3、

3、关闭 Windows 系统工控机 StartShut Down。4、关掉真空泵。5、如果Windows系统工控机在Windows关闭后未自动关闭，按下按钮关闭Windows工控机。6、关闭DOS机的电源。附录1：工具栏工具栏（图1J）显示软件快捷操作方式。 u-PCDB Q O 口口夕E田金QIu-PCD:选择测试的项目2、I；打开之前保存的数据。3、旧；保存测试的数据。4、I：打印测试的数据。5、罔；打开或关闭Measurement Information对话框。6、I匚；打开或关闭Distribution窗口。7、I匕I ；矩形内包含区域8、；圆形内包含区域。9、口；矩形外包含区域。10、I口：圆形外包含区域。11、I夕；点擦除。12、心放人查看所选区域。13田:多个窗I I排列。14、All.：全部关闭。15、A；整体放大或缩小。16、卩眾 V;放人或缩小至指定比例。17、|引I ：关闭wmtau32软件。附录2：测试栏测试栏显示软件测试功能。当前具体操作项目。4 I :打开recorder窗I I。5、8inch 2d：样品的尺寸。6、I命J上料，右侧的下拉列表可以选择样品

4、形状，特征等。7、；从存片器中上料（另选项目）。8、廐：下料。9、h ；开始新测试，删除旧测试。10、I同:进行autosetting自动测试。11 I：选择测试的点数目。12、昼；进行扫描，继续扫描。13、IG ：全自动测试，包扌舌存储和autosettmgo14、S测试菜单。15、I ；停止检测。16、戸；option菜单 oX=12 mmY=8 mmR=14.5mmLifetime us:511.52附录3：状态栏状态栏显示软件状态及当前探头所处点的状态。|WS5.14OK机体维护说明：硬件维护：1）WT-2000均已调好水平，因此不要随意移动机器，如需移动，请在调水平。2）不要用手移动探头，如需更改高度，清与主管工程师联系。3）不要随意调整软件里的任何设置，如需调整，须上报主管工程师。4）测量需盖好盖子，不用时请也盖好盖子。5）每天测屋前，请用吸尘器清理设备中的赃物并用无尘布擦洗将机器擦干净。Wintau32软件更新：对Wintau32软件进行更新时需要分别对Windows机和Dos机进行更新。 Windows机更新：1）首先确认得到wintau32.exe软件。2）关闭wintau32软件。3）备份软件，将c: wintau32文件夹整体复制。4）删除c: wintau32文件夹下禺护和画落“文件。5）将新的wintau32.exe粘贴到c: wintau32卜覆盖原文件。Dos机更新：1）将wsos2.exe文件拷贝到c:wintau32文件夹卜。2）确保windows机和dos机处于开机状态，打开wmtau32软件。3）选择 measurementoptions,打开options 窗 I I打开interface 选项卡

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