微细加工与纳米技术课程项目方案设计
23页1、微细加工与纳米技术课程项目方案设计目录一、微机械陀螺仪研究背景3(一)概念简介3(二)MEMS陀螺仪研究历史及发展现状3 (三)研究目的4(四)研究方法5 (五)研究意义8二、微机械陀螺仪原理与结构10(一)MEMS陀螺仪基本原理10(二)MEMS陀螺仪分类及结构12三、微机械陀螺仪设计及制造13(一) MEMS陀螺仪设计流程13(二)MEMS陀螺仪工艺方法14(三)MEMS陀螺仪技术难点16四、微机械陀螺仪测试及应用16(一)MEMS陀螺仪测试内容及手段16(二)MEMS陀螺仪数据分析及方法17(三)MEMS陀螺仪应用案例171、一些微机械陀螺仪的典型应用202、微机械陀螺仪在新型鼠标或遥控器中的应用20五、关于微机械陀螺仪发展的思考21六、小结与体会21一、微机械陀螺仪研究背景(一)概念简介微陀螺仪是属于微机械的一种。微机械MEMS是英文Micro Electro Mechanical systems的缩写,即微电子机械系统.微电子机械系统(MEMS)技术是建立在微米/纳米技术(micro/nanotechnology)基础上的 21世纪前沿技术,是指对微米/纳米材料进行设计、加工
2、、制造、测量和控制的技术。它可将机械构件、光学系统、驱动部件、电控系统集成为一个整体单元的微型系统.微机械陀螺仪属于一种振动式角速率传感器,用于测量旋转速度或旋转角,作为重要的惯性器件,具有质量轻、体积小、成本低、可靠性好、稳定性高、功耗低、精度高、性能优等诸多优点,在工业控制、航空航天、汽车和消费类电子产品等领域中得到广泛的应用。微机械陀螺仪的主要参数微机械陀螺仪的重要参数包括:分辨率(Resolution)、零角速度输出、灵敏度(Sensitivity)和测量范围,这些参数是评判微机械陀螺仪性能的重要标志,同时也决定了该陀螺仪的应用环境。分辨率是指陀螺仪能够检测的最小的角速度,该参数和零角速度输出其实是由陀螺仪的白噪声决定,白噪声一般用/s/Hz来表征,LY530AL的白噪声只有:0.1/s/Hz。这三个参数着重说明该陀螺的内部性能和其抗干扰能力,而对使用者而言,灵敏度更有实际的意义,其单位是mV/s,由此用户可选用适合的ADC来与之匹配。测量范围是指陀螺仪能够测量的最大的角速度,单位是/s,不同的应用对陀螺仪的测量范围有不同的要求。(二)MEMS陀螺仪研究历史及发展现状微机械陀螺
3、的研究始于20世纪80年代,经过几十年的研究国外相关已经比较成熟,众多科研单位及公司如美国Draper实验室、ADI公司、Berkeley大学,德国Daimler Benz公司、Bosch公司,日本Toyota公司,以及土耳其、芬兰等国家4-9,已有商业化产品。我国的MEMS 技术研究工作起步较晚,但正积极开展研究,国家已经投入巨资用于MEMS陀螺技术的研究.目前主要的科研单位有清华、北大、中科院上海微系统所、复旦大学、哈工大等多家单位1015 ,经过十多年的努力,在基础理论、加工技术和工程应用等方面的研究已取得了明显的进步。但不可否认,与国外差距仍然较大,高性能微机械陀螺少有商业化产品。(三)研究目的微机械MEMS这种微电子机械系统不仅能够采集、处理与发送信息或指令,还能够按照所获取的信息自主地或根据外部的指令采取行动。它用微电子技术和微加工技术(包括硅体微加工、硅表面微加工、LIGA和晶片键合等技术)相结合的制造工艺,制造出各种性能优异、价格低廉、微型化的传感器、执行器、驱动器和微系统。微电子机械系统(MEMS)是近年来发展起来的一种新型多学科交叉的技术,该技术将对未来人类生活产生
4、革命性的影响。它涉及机械、电子、化学、物理、光学、生物、材料等多学科。微机械的尺寸一般都是在厘米级别的,有的甚至已经到了毫米级别。由此可见,微机械的加工以及制造时十分困难的。如今,完全封装过后的微陀螺仪的最小尺寸已经到了1.5mm左右,甚至更小。那么,要加工如此细微的零件,对于机械装备、机械技术以及加工人员的考验是非常大的。而且,不像是传统普通零件加工,可以出现一点点的误差.对于如此之小的微型机械,一旦加工之中出现了一些错误,即使是偏离一微米,对于微陀螺仪来说,都是极大的错误。在这样微细加工过程之中,由于涉及到的尺寸实在是太小了。所以,微机械的加工过程之中,生产人员的技术基本上可以忽略不计.但是,在另一方面,为机械的加工对于生产车间的科技程度、清洁度等等要求就十分之高。微机械的加工最主要的还是要依靠电脑控制的高科技机械来完成,人的作用不过是维护机械,或者是检查进度,发现问题。所以,微陀螺仪的设计与制造过程以及加工工艺的编排,在整个生产过程之中都是重中之重.一旦,微陀螺仪的设计与制造过程以及加工工艺的编排出现问题,不管是哪个环节出现了问题,也不管是这个环节多么细微,整个生产情况都会出现严
《微细加工与纳米技术课程项目方案设计》由会员新**分享,可在线阅读,更多相关《微细加工与纳米技术课程项目方案设计》请在金锄头文库上搜索。
视得安楼宇对讲维修手册
卫生局医防科二OO五年度上半工作小结.docx
园林绿化施工组织设计方案05794.doc
高一班主任个人总结样本(3篇).doc
【新型农村合作医疗官网】关于当前新型农村合作医疗的调研与思索
2023年如何推进粮食生产全程机械化.docx
小学一年级下册《两只小狮子》课文、课后练习题及教案.doc
公司电工技师工作总结(三篇).doc
服装设计师人员个人工作总结格式范文(4篇).doc
高中学生主席就职演讲稿2篇
知识产权自备笔记.doc
电梯轿厢和机房安全规范
法制故事演讲比赛演讲.doc
测绘类实习报告范文汇总八篇.docx
依法规范管理保障承包权益
土力学四校合编课后习题答案
托班艺术活动优秀教案:袜子变干净了.doc
初三9A期末模拟试卷.doc
工程机械租赁合同电子版(5篇).doc
JA92液体的压强.doc
2023-02-17 7页
2023-08-02 4页
2023-06-29 8页
2023-02-03 2页
2023-04-04 2页
2022-08-14 3页
2022-10-02 4页
2022-12-11 3页
2023-05-23 16页
2023-09-28 8页