半导体厂务系统事故

1、半导体厂务系统事故及经验教训征集，有金币奖励！发表时间: 2007-3-31 08:31 作者: hhnec 来源: 半导体技术天地字体: 小 中 大 | 打印 半导体厂务系统相关的事故及经验教训征集，根据精彩与详尽程度有不等的金币奖励！说明：每个FAB、每个做厂务的engineer都会碰到各种各样、大大小小的事故，以及由此产生许多的经验教训供他人借鉴。作为各位专业人士互相之间的业务交流，请大家说出你碰到过的各类事故（也可以是你听说的其他FAB发生的真实事件）。要求说明时间、地点、发生情况以及对策、相关的经验教训等。前车之鉴、他山之石，与人共享，善莫大焉！我也来说两句 查看全部评论 相关评论 kitgain (2007-3-31 11:33:59)版主大人的宝贴怎么不回呢？俺抢沙发先。某fab发生的真实案例，猴年马月子时亥分，厂务特气小组highlight Kr/F2/He消耗太快，整个fab只有一种设备使用这种鸟气体呵呵，卖个关子先。追查发现一周以前新进的这台设备刚做完hookup，即QC验收通过，现场一切正常，但源头既然在这里，还是要查。事故现状：该特气消耗量增大到平时2倍，而整个

2、工厂、设备正常运转；源头分析：就是这台设备了。特气组开始彻查整套管路，从厂务GC到VMB到设备端，一边询问EE了解状况;EE初闻此信息，惊骇莫名 ，F2泄漏，还了得，但设备这边一切看起来正常，也帮不上什么忙。特气组累死累活每端管路（即有接头的2端管路）做he leak,保压测试，最后查到VMB到laser端，这里开始是EE的范围了。这时发现测试不过，laser接口端漏气！ 继续打开接口端，发现小小的mouse tip微微扭曲变形一点点，毒气就是从这么一点点的罅缝，越过swage lock而泄漏！ 追究原因，在于该mouse tip的问题，特气施工商一口咬定是EE的问题，原因是当时恰恰特气施工商在施工这段管路时，mouse tip用完了。而随laser来的mouse tip又有很多，因此监督施工的EE马上把laser自带的mouse tip好意给特气施工商。laser供应商不愿承担责任，声称laser端也做过2天标准测试，即抽真空，看真空度来判断该接口管路是否ok，结果是通过的。继续分析mouse tip为什么变形，特气供应商宣称他们使用自带的国产品，质硬。随机台一起来的mouse ti

3、p圆环宽度更小，质脆。即月亮不是西方的圆。特气施工商根据平时惯例，施加较大的力气拧固swage lock，于是mouse tip开始变形，而最初的几天，该变形可能并不明显，以致于laser供应商未检查到任何异常。EE“咬”厂务，laser端0.5米附近就有2个detector，工厂到处装的也有，为什么全厂毒气报警系统不报警，已泄漏一周了，想毒死俺呀！厂务被追的没法，才透漏惊天内幕，detector买的过于灵敏，经常误报，以致于后来把阈值跳到1。而F2在混合气中的比例恰恰也是1，泄漏到空气中马上就被稀释，detector怎么会报警呢？可怜MFG如花似玉的PPMM，一直被蒙在鼓里。 万幸，该泄露端正好在laser的保护设计中，周围就有真空排放到GEX。再加上F2化学性质太活泼，就是泄漏，也会马上与周围物质发生反应，再剩下的也被GEX抽走了。公司对此次事故的处理结果不得而知，但厂务特气组确实发挥了他们很重要的作用，通过monitor特气消耗量的异常变大，而认真调查，排除了一个重要隐患，值得学习。强烈各位看官大人送些金币，小弟已入不熬出多时， 都没力气发帖啦 本帖最后由 kitgain 于 2

4、007-3-31 11:38 编辑 dingweiyang (2007-3-31 22:15:08)kitgain的话让我想起了一些业主和厂商之间的事我是厂商的,我碰到过无数次业主,主要是厂务负责会勘的工程师说点出错的事,比如把接点位置搞错,接点类型搞错,甚至还有需求颠倒什么的,遇到的太多了,前几天遇上了个把Sol.Exhaust改成Gen.Exhaust的.这是厂务工程与设备沟通出现了问题,追究起来常常拿厂商当炮灰,不要这样了,kitgain说的这特气问题我个人觉得大家都有责任,厂商测试,设备提供商都有问题,幸亏没出现台湾茂德那样的惨事,作为一个厂商,我觉得该卖人情的地方可以站在本方利益安全的立场上使劲买,比如什么bulk gas什么的,特气出了事才查,你们这多少有点玩忽职守 genesun (2007-4-01 13:29:10)HHNEC斑竹还真快啊 先简单写一下:以前我们公司在纯水再生的时候,供应HCL的泵管路爆裂,造成地下一层机房发生严重HCL泄露, 整个机房弥漫的都是HCL气体！我不是做纯水的，具体原因不太清楚！说一下大概的处理过程！发现后打开所有的机房大门，使之通风，稀释

5、气体浓度，避免管路腐蚀（机房里面还有很多空调和其他管线）；穿好防化服和带氧气检查出事管路，控制HCL继续外泄（至少2人以上一起）；最后是用消防水稀释冲洗地表盐酸，联系盐酸厂商将排水沟的废液用水泵回收！只是简单介绍一下 呵呵 本帖最后由 genesun 于 2007-4-3 16:16 编辑 shensub (2007-4-01 13:44:35)很多位于2F的空调机房都没有地漏，而地面存在裂缝、管线穿楼板的地方没有仔细封闭，在发生盘管破裂、机体渗漏、管道破损的情况下水很容易漏至1F，如果1F恰巧是重要的配电间、控制机房等将会造成重大损失有上水的地方都应该设置下水 hhnec (2007-4-01 15:45:42)QUOTE:原帖由 genesun 于 2007-4-1 13:29 发表HHNEC斑竹还真快啊 先简单写一下:以前我们公司在纯水再生的时候,供应HCL的泵管路爆裂,造成地下一层机房发生严重HCL泄露 genesun赶快将内容修改完整，我可以多多加分啊！ handsets (2007-4-02 12:15:56)要回去总结一下，稍后传来 iarybol (2007-4-02

6、23:11:03)经过：某年某fab设备检修的时候，在动力夹层内漏水。后经检查，是一条弃用的冷冻水管管端的截止阀断裂，断裂处有明显的锈蚀痕迹。分析为：由于长时间不用，截止阀处冷冻水长时间滞留，造成阀体锈蚀，再加上当时车间内用水设备都已经关闭，管内水压升高，造成阀门断裂泄漏。好在当时车间内部设备都已经断电，不然后果堪忧啊。教训：弃置的管路从支路彻底断除；对旧管路进行彻查，对同期管路、阀门进行更换。 iarybol (2007-4-03 13:19:17)版主的加分收到了。谢谢鼓励！ 本帖最后由 iarybol 于 2007-4-3 13:21 编辑 yangziku (2007-4-03 16:19:48)Kr/F2/He蛮厉害的,预留swagelock的连接么.机台设备商真不是好东西. hhnec (2007-4-03 20:56:53)QUOTE:原帖由 handsets 于 2007-4-2 12:15 发表要回去总结一下，稍后传来 handsets：还没有总结好吗？不要食言哦！ kitgain (2007-4-05 15:39:12)QUOTE:原帖由 dingweiyang 于

7、 2007-3-31 22:15 发表kitgain的话让我想起了一些业主和厂商之间的事我是厂商的,我碰到过无数次业主,主要是厂务负责会勘的工程师说点出错的事,比如把接点位置搞错,接点类型搞错,甚至还有需求颠倒什么的,遇到的太多了,前几天遇上了个 . 丁工不厚道，一帮子打死一帮EE，俺当初那个小组EE还是蛮勤快负责的，vendor在现场施工，我们都在现场看着，吹牛皮侃大山，跑来跑去互相帮忙；以后新设备来了，还是老相识来施工，又继续寒暄连我们公司天天乱咬人的hook up都喜欢我们，优先帮我们设备排工期做hookup。我刚才讲的那个案例，主人翁也是看vendor没有材料了，受vendor邀请，从随机器来的一大堆零部件中找来需要的，帮忙耳。谁料到原厂来的东西也不是好东西。vendor当时做的测试程序、过程、仪器、数据等以及laser供应商做的2天测漏测试都是准确且无误的，这不是玩忽职守。 本帖最后由 kitgain 于 2007-4-5 15:42 编辑 genesun (2007-4-05 16:33:20)QUOTE:原帖由 dingweiyang 于 2007-3-31 22:15

8、发表kitgain的话让我想起了一些业主和厂商之间的事我是厂商的,我碰到过无数次业主,主要是厂务负责会勘的工程师说点出错的事,比如把接点位置搞错,接点类型搞错,甚至还有需求颠倒什么的,遇到的太多了,前几天遇上了个 . 说一下关于dingweiyang所说需求颠倒的事我之前做过一段时间的EXHAUST工程，需求的问题往往都是由设备提出的，并非厂务需求。毕竟设备资料也只有设备部门才有，他们不是很专业，弄错的时候也很正常。 hhnec (2007-4-05 22:11:42)QUOTE:原帖由 kitgain 于 2007-4-5 15:39 发表丁工不厚道，一帮子打死一帮EE，俺当初那个小组EE还是蛮勤快负责的，vendor在现场施工，我们都在现场看着，吹牛皮侃大山，跑来跑去互相帮忙；以后新设备来了，还是老相识来施工，又继续寒暄连我们公 . 哈哈哈！ kitgain为什么说你们公司的hook up天天乱咬人？还有一个问题，我觉得比较奇怪：为何贵公司的毒气系统使用了SWG的接头？！为何不用VCR接头？VCR接头的可靠性比SWG接头要高得多！我公司只有在CDA和BA（呼吸空气）中才允许使用SW

9、G接口。 本帖最后由 hhnec 于 2007-4-5 22:17 编辑 不解.gif wlf82930 (2007-4-06 13:02:15)20世纪90年代处，无锡某公司国家七五重点微电子工程竣工在即，当时洁净级别是0.12um100级的隧道室循环风机系统，采用的是顶部安装美国DAW公司的循环风机系统，系统在进行冷冻水试压完成后，需要把冷冻水从排污阀中排除，但是由于循环风机共有80多台，工人在放水过程中，把绝大多数的排污阀都打开了，造成了大量的水排向雨水管道，导致了管道内的水来不及排并且通过连接管道进入了循环风机的冷凝器集水水盘中，而后又通过入风机段进入了送风静压箱内，水大量泡湿了下面的ULPA，并使得光刻机等重要设备进水，损失惨重，当事人和领导招到了电子工业部的严厉处理 lingxiattr (2007-4-06 14:35:33)看来大部分都不是大问题 hhnec (2007-4-06 20:01:13)QUOTE:原帖由 wlf82930 于 2007-4-6 13:02 发表20世纪90年代处，无锡某公司国家七五重点微电子工程竣工在即，当时洁净级别是0.12um100级的隧道室循环风机系统，采用的是顶部安装美国DAW公司的循环风机系统，系统在进行冷冻水试压完成后，需要把冷冻水从排污阀 . 谢谢你的精彩描述！ 前事不忘，后事之师。这个实例值得各位厂务人员学习并警醒！ kitgain (2007-4-11 08:37:07)QUOTE:原帖由 hhnec 于 2007-4-5 22:11 发表哈哈哈！ kitgain为什么说你们公司的hoo

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