京运通指导书

1、工序名称真空泵的清理及泵油更换适用范围适用于真空泵的清扫及泵油更换作业作业顺序/31 准备好专用工具及纸巾置于就近位置2 关闭主泵球阀3 将废油桶置于真空泵放油口下方，打开上腔放油开关，取下泵尾气管。4 堵严尾气口，缓慢打开下腔放油阀，使之缓慢进气进行快速放油,废油倒入指定油池。5放完油后关闭上下腔放油阀,关闭真空泵，断开真空泵对应的空气开关。注意事项及原由 1 确认关闭真空泵是否关闭到位，否则会造成炉内返气。 2 放油时应靠下拉放油阀，调解泵腔压力，以免泵腔内压力过大，尾气口关闭不严，使油烟外泄扩散到泵房。 切记关闭上下腔的放油阀, 防止漏油. 4处理废油时注意泵房卫生. 断开真空泵控制开关并在操作柜挂上警示牌，防止他人不慎触动真空泵开启按钮，造成人身伤害。 6 出现异常立刻处理，并报告班长或主任。 用工具打开真空泵侧盖，置于适当位置。 2 用纸巾彻底清理真空泵腔，及侧盖的油污。 3清扫完毕,安装好滤网,然后安装好侧盖。注意事项及原因 1 侧盖在打开、安装时小心操作，防止损坏侧盖及油封造成漏油。 70泵切记安装滤网,10泵喷油管对准观察窗利于查看真空泵的工作状态。 3 泵腔内禁止遗留

2、纸屑或其他异物，否则会造成油路的堵塞，导致真空泵卡死. 清理真空泵的废弃物放入指定垃圾捅。 出现异常立刻处理,并报告班长或主任. 1 打开真空泵注油口. 2 将加油管放入真空泵注油孔。 3开启加油泵开始注油。 4 观察真空泵油位至油位观察窗/2位置。 5 关闭注油泵,取下注油管，移到适当位置以防漏油，打开泵侧的油路管道阀门向下腔放油。 6 装上尾气管,关闭注油口. 开启真空泵工作mn后关闭泵侧的油路管道阀门,察看油位是否处于油位观察窗 131位置，若低于下限重复以上操作。注意事项及原由 1 注油管保持清洁，防止异物进入泵腔. 2 注油时,注意注油管掉落，且不要超过上限油位以防喷油. 3 切记安装好尾气管及注油孔,以防开泵时喷油或油气污染泵房。 4注意清理真空泵及周围卫生。 5 出现异常立刻处理,并报告班长或主任。1放油2清泵3注油工序名称单晶棒的取出适用范围拉晶过程中单晶棒的取出作业顺序/30 1作业准备 单晶取出1准备好手套、耐高温手套、纸巾。2准备好斜口钳、取晶架和小车。3用湿纸巾将炉体从上到下擦拭一遍。注意事项及原由 所需物品必须准备齐全而且洁净,就近摆放,以减少不必要的时间浪费

3、。2取单晶前一定要将炉体彻底擦拭一遍,有利于整体环境,防止交叉污染。3彻底清扫炉体时注意不要将控制接线及开关碰断或碰坏.单晶班冷却完毕后，关闭Ar气,同时升起单晶棒至副室,从副室观察窗确认单晶棒升至所需高度.待炉内压力达到极限后关闭主室球阀,然后关闭真空泵电源，立即进行测漏并，做好相应记录。3若无异常，冲Ar气至常压，盖住翻板或旋板，打开液压泵，升起副室。4缓慢转动副室至侧面,戴好隔热手套，轻轻按住单晶棒尾端,不使晶棒晃动,同时把安全接盘移到炉筒口处。5把放有取晶架的小车放在副室炉筒正下方,准备接单晶棒.6稳定单晶棒,移开安全接盘,按下晶快降，将单晶棒降入小车上的取晶架内。确认单晶棒完全放入取晶架内后，按住籽晶，用钳子将籽晶从细径处夹断，将籽晶从重锤上取下，放在指定场所，再将重锤升至副室内适当位置。8将单晶棒放入中转区,待冷却后将炉号、批号、料号写在单晶棒上，转入石墨件的取出工序。注意事项及原由单晶棒在移动时,必须放入防坠盘。泄露率0.7pa/i为正常,否则有关人员处理并报告班长或主任。3升副室前必须确认炉内压力正常,翻板或旋板必须盖住,防止单晶棒坠落缓慢转动副室，防止单晶棒与副室内壁

4、碰撞，必须将安全接盘移至炉筒口处，防止单晶棒坠落。5取晶架应与单晶棒垂直对齐,防止单晶棒突然脱落。6夹断籽晶后,应稳定重锤，防止重锤快速转动,损坏钢丝绳。（重锤温度高，不可用手直接接触）取籽晶时应慎重作业，防止损坏籽晶。8单晶棒取出后,必须及时、准确的记录炉号、批号、料号。工序名称石墨件的取出适用范围适用于每炉石墨件及残骸的取出，及大清炉时整个热场的取出作业顺序 3/30 1取出导流筒及大盖 2取出残骸1准备好不锈钢小车。戴好手套及耐高温手套。3按顺序取出保温盖及导流筒.4取出的石墨件放在不锈钢台平车上。1准备好耐高温手套、钳子、不锈钢筒.2用钳子夹住石英坩埚的上端部分提起,使其松动。戴好耐高温手套将石英坩埚取出，若埚体能将埚底料全部带出，直接放入不锈钢筒。若不能则将石英坩埚残骸放到车间指定的区域，剩下的埚底料随三瓣埚一并取出。若出现闷炉等意外情况,可将石英坩埚及原料一起取出，或者戴上耐高温手套用钳子逐一取出，直至彻底取净。注意事项及原由所需物品必须准备齐全，就近摆放，减少不必要的时间浪费.取导流筒及保温盖时,要从炉内向上平移轻拿轻放,小心烫伤人身及衣服，切忌碰撞造成损坏以及对成型毡的

5、磕碰，造成成型毡与热电偶孔发生偏移，影响欧陆，影响温度，影响成晶.不锈钢小车上一定要平铺一层石墨板,而且要处于洁净状态，、是为了防止重金属原子在高温时向石墨件的扩散,进而在拉晶时向单晶内的扩散，影响了单晶的寿命，、不洁净的石墨条可能会对石墨件产生再次污染。操作时注意石墨件严禁磕碰，炉内温度高，小心烫伤人身及衣服，切忌将埚底料从热场的缝隙掉下,这一工序要求尽量把埚内的料全部取出.工序名称石墨件的取出适用范围适用于每炉石墨件及残骸的取出及大清炉时整个热场的取出 4/ 3三瓣埚、埚托、埚杆的取出1带好手套、耐高温手套准备好埚杆扳手。2依次取出三辩埚、埚托、埚杆,从埚杆中央孔的位置用埚杆扳手取出不锈钢螺栓3取出的石墨件一并放在不锈钢小车上,移至适当的位置,自然冷却.注意事项及原由1注意有否磕碰坏的石墨件,炉内温度高，小心烫伤人身及衣服。 2耐高温手套切忌不要碰到加热器,否则会将耐高温手套的碎屑粘到加热器上. 3取三辩埚、埚托时,残留的埚底料不要掉入炉底及炉底波纹管内，若出现这样的情况，一定要设法将其取出，否则会造成下炉液面晃动，影响成晶，残留的埚底料一并将其全部倒入不锈钢筒内。 4取埚杆时不要

6、使埚杆碰到加热器、保温筒等其它石墨件以免造成损坏。 取出后要将埚杆扳手从埚杆内取出放到指定的位置，保证埚杆扳手再次使用仍然处于常温，以防烫手。 5不锈钢小车在移动时不要碰到车间其它的物品,以防烫坏或损坏而污染石墨件. 6操作时要轻拿轻放以免造成石墨件的损坏。 7出现异常立刻处理，并报告班长或主任。工序名称石墨件的取出适用范围适用于每炉石墨件及残骸的取出及大清炉时整个热场的取出 5 / 0 1埚底料的分类埚底料或事故引起的闷炉料都要将其存放在不锈钢筒内，移到指定的区域自然冷却。2不锈钢筒内的埚底料或事故引起的闷炉料待其冷却后,将其放入指定料筐、指定区域,并表明原料、型及对应的炉号及成晶情况，以便为原料的进一步处理提供方便。注意事项及原由1埚底料应及时存放到指定的区域，避免多个拆炉对埚底料分类记忆不清。每炉埚底料或事故引起的闷炉料应在包装袋外填写炉号及重量,目的是再利用时减少因分离不清而造成单晶参数的不合格。工序名称过滤筒的清理适用范围单晶炉的清扫作业作业顺序 630 1作业准备2清理过滤筒 1准备好毛刷、专用工具。 2带好手套、防尘口罩.注意事项及原由 所需物品必须准备齐全而且洁净,且就

7、近存放，以减少不必要的时间浪费 1用专用工具打开大罐盖，取出过滤网。 2用毛刷和吸尘器仔细清扫过滤网及过滤筒内的挥发物。 3将清扫后的过滤网缓慢放进大罐。 4用刷子和吸尘器清扫大罐盖。 5盖好过滤筒盖，并用专用工具上紧过滤筒盖.注意事项及原由 1打开过滤筒前确认真空泵球阀在关闭状态，否则在清理过程中会向炉内返气,造成炉内污染. 2工作时要慎重作业，防止造成意外伤害。 3上盖前要将过滤筒盖密封圈及上口法兰圈擦净。 4安装过滤筒盖时应检查密封圈是否完全就位，防止出现脱落或出错，影响抽真空。 过滤筒内挥发物较多,在清扫时应尽量避免与周围作业造成交叉污染。工序名称单晶炉的清扫适用范围适用于单晶炉的清扫作业作业顺序 7/0 作业准备带口罩、手套。2准备好防尘口罩、纸巾、酒精、清扫用的氩气、研磨布、吸尘器管等清扫所需物品。注意事项及原由 1工作服必须洁净，工作服及物品如果不洁净会给清扫作业及后续的工作带来污染. 2所用物品必须洁净、就近摆放整齐，物品的齐全及就近摆放能减少不必要的时间浪费. 3 用毛刷和吸尘器清扫抽气管道内的挥发物，吸尘器管必须伸入管道底部，以便将管道内的挥发物彻底吸净。小副室的清

8、扫 1打开炉盖。 2用沾有酒精的纸巾擦拭小副室内的附着物。 3用沾有酒精的纸巾认真擦拭副室抽气口、其它小孔、翻板、旋转阀板四周及转轴（带旋转阀板的小副室要认真擦拭到后腔的每个角落）。注意事项及原由 先清理小副室,如果先清理炉盖后清理小副室,在清扫翻板或旋转阀时会给清理过的炉盖造成污染。工序名称单晶炉的清扫适用范围适用于单晶炉的清扫作业 830炉盖清扫翻板及旋转阀板沟糟部位及焊缝处先用丝光毛巾或纸巾卷成利于操作的形状认真擦拭.以上做过的部位反复操作,直至确认无污物。6清扫过的小副室将翻板或旋转阀盖住阀口，并关闭副室小门。7用洁净的纸巾将小副室上口盖住。注意事项及原由挥发物附着较多时,先用毛刷及吸尘器处理。2清扫副室抽气孔时要把丝光毛巾或纸巾卷成卷以便伸进抽气孔内部更容易清理。当出现返气情况时,要将副室抽气管拆下用酒精或丙酮清理并吹净。3反复操作有利于彻底清除污物.4盖住阀口,防止在清理炉盖时将污物带入小副室。5注意阀板上的钢丝水管是否拧劲儿，接头是否松动漏水，造成不成晶.注意检查阀口密封圈是不是损坏或出槽,尤其是旋转阀操作时要提升到位以免磕碰密封圈,导致密封圈出槽或损坏.7用纸巾盖住小副上口防止空气中的污物进入小副室.8出现异常立刻处理，并报告班长或主任。工序名称单晶炉的清扫适用范围适用于单晶炉的清扫作业 / 30 3炉盖清扫1先用纸巾或丝光毛巾擦拭内壁。2小孔部位、观察窗部位、伊尔根部位、阀口部位等处的接口、焊接口等不易清扫的部位，要用沾有酒精的纸巾认真擦拭，直至确认无污物.3用氩气将擦拭过的部位仔细吹净,直至确认无污物.4以上做过的部位反复操作，直至确认无污物。注意事项及原由1附着物较多时(停电、真空泵故障等造成返气），可先用毛刷和吸尘器清理.2老粉强力附着时或炉内晶棒局部发黑、发白现象，要用研磨布认真研磨直至炉膛整个内壁出现光亮无污痕 观察窗、伊尔根窗口要认真清理,所有小孔的位置要用纸巾卷成卷，以便伸进

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