PECVD制备薄膜介绍
17页1、PECVD一般说来,采用 PECVD 技术制备薄膜材料时,薄膜的生长主要包含以下三 个基本过程: 首先,在非平衡等离子体中,电子与反应气体发生初级反应,使得反应气 体发生分解,形成离子和活性基团的混合物; 其二,各种活性基团向薄膜生长表面和管壁扩散输运,同时发生各反应物 之间的次级反应; 最后,到达生长表面的各种初级反应和次级反应产物被吸附并与表面发生 反应,同时伴随有气相分子物的再放出。热电偶工作原理 热电阻是中低温区最常用的一种温度检测器。它的主要特点是测量精度高,性能稳定。 其中铂热是阻的测量精确度是最高的,它不仅广泛应用于工业测温,而且被制成标准 的基准仪。与热电偶的测温原理不同的是,热电阻是基于电阻的热效应进行温度测量的,即电 阻体的阻值随温度的变化而变化的特性。因此,只要测量出感温热电阻的阻值变化, 就可以测量出温度。目前主要有金属热电阻和半导体热敏电阻两类。 金属热电阻的电阻值和温度一般可以用以下的近似关系式表示,即Rt二Rto1+a (t-to)式中,Rt为温度t时的阻值;Rto为温度to (通常to=oc )时对应电阻值;a为温度系 数。半导体热敏电阻的阻值和温度关系
2、为Rt=AeB/t式中Rt为温度为t时的阻值;A、B取决于半导体材料的结构的常数。相比较而言,热敏电阻的温度系数更大,常温下的电阻值更高(通常在数千欧以上), 但互换性较差,非线性严重,测温范围只有-50300C左右,大量 用于家电和汽车用温 度检测和控制。金属热电阻一般适用于-200500C范围内的温度测量,其特点是测量准 确、稳定性好、性能可靠,在程控制中的应用极 其广泛。热电阻材料 热电阻测温是基于金属导体的电阻值随温度的增加而增加这一特性来进行温度测量的。热电阻大都由纯金属材料制成,目前应用最多的是铂和铜,此外,现在已开始采用镍、 锰和铑等材料制造热电阻。热电阻种类(1)精密型热电阻:工业常用热电阻感温元件(电阻体)的结构及特点。从热电阻的测温原理可知,被测温度的变化是直接通过热电阻阻值的变化来测量的, 因此,热电阻体的引出线等各种导线电阻的变化会给温度测量带来影响。为消除引线 电阻的影响同般采用三线制或四线制。(2)铠装热电阻:铠装热电阻是由感温元件(电阻体)、引线、绝缘材料、不锈钢套 管组合而成的坚实体,它的外径一般为少2少8mm,最小可达少mm。与普通型热电 阻相比,它有
3、下列优点: 体积小,内部无空气隙,热惯性上,测量滞后小; 机械性能好、耐振,抗冲击; 能弯曲,便于安装; 使用寿命长。(3)端面热电阻:端面热电阻感温元件由特殊处理的电阻丝材绕制,紧贴在温度计端 面。它与一般轴向热电阻相比,能更正确和快速地反映被测端面的实际温度,适用于 测量轴瓦和其他机件的端面温度。(4)隔爆型热电阻:隔爆型热电阻通过特殊结构的接线盒,把其外壳内部爆炸性混合气体因受到火花或电弧等影响而发生的爆炸局限在接线盒内,生产现场不会引超爆炸。隔爆型热电阻可用于BlaB3c级区内具有爆炸危险场所的温度测量。工业上常用金属热电阻从电阻随温度的变化来看,大部分金属导体都有这个性质,但并不是都能用作 测温热电阻,作为热电阻的金属材料一般要求:尽可能大而且稳定的温度系数、电阻 率要大(在同样灵敏度下减小传感器的尺寸)、在使用的温度范围内具有稳定的化学物 理性能、材料的复制性好、电阻值随温度变化要有间值函数关系(最好呈 线性关系)。目前应用最广泛的热电阻材料是铂和铜:铂电阻精度高,适用于中性和氧化性 介质,稳定性好,具有一定的非线性,温度越高电阻变化率越小;铜电阻在测温范围 内电阻值和温度
4、呈线性关系,温度线数大,适用于无腐蚀介质,超过150 易被氧化。 中国最常用的有R0=10Q、R0=100Q和R0=1000Q等几种,它们的分度号分别为Pt10、 PtIOO、PtIOOO;铜电阻有R0=50Q和R0=100Q两种,它们的分度号为Cu50和CulOO。 其中PtIOO和Cu50的应用最为广泛。热电阻的信号连接方式热电阻是把温度变化转换为电阻值变化的一次元件,通常需要 把电阻信号通过引线传递到计算机控制装置或者其它一次仪表上。工业用热电阻安装 在生产现场,与控制室之间存在一定的距离,因此热电阻的引线对测量结果会有较大 的影响。目前热电阻的引线主要有三种方式 O1二线制:在热电阻的两端各连接一根导线来引出电阻信号的方式叫二线制:这种引 线方法很简单,但由于连接导线必然存在引线电阻 r,r 大小与导线的材质和长度的因 素有关,因此这种引线方式只适用于测量精度较低的场合O2 三线制:在热电阻的根部的一端连接一根引线,另一端连接两根引线的方式称为三 线制,这种方式通常与电桥配套使用,可以较好的消除引线电阻的影响,是工业过程 控制中的最常用的引线电阻。O3 四线制:在热电阻的根部两
《PECVD制备薄膜介绍》由会员pu****.1分享,可在线阅读,更多相关《PECVD制备薄膜介绍》请在金锄头文库上搜索。
2023年县工商局“万众评公务”活动整改工作情况汇报.doc
违纪案件公开处理大会上的讲话
(word完整版)屋面防水维修工程施工方案(SBS改性沥青).doc
江苏省建设工程施工安全标准化管理资料(1版).doc
2022年借条存在的陷阱和避免方法
古诗苑漫步---古诗词教学资源.doc
2023年三年级上册语文单元测试第十一单元 A卷北师大版.doc
财经法规简答题及案例分析题1
思品复习之法律篇问答.doc
有限责任公司篇程参考指引
2023 年《安全管理》摩托车交通安全管理现状.doc
2年中考1年模拟2016年中考英语专题18连词成句试题含解析
DB13_T 5688-2023蜜蜂微孢子虫病绿色防治技术规程
生物人教版七年级下册.doc
郫都的农家小景.docx
幼儿园小班健康教案方案(六篇).doc
特许经营实务课程标准格式
注册商务策划师资格认证评审表.doc
安全生产责任制考核表(3)参考模板范本.doc
2022-2023学年浙江省杭州市锦绣育才教育科技集团化学九年级第一学期期中综合测试模拟试题含解析.doc
2023-04-06 6页
2023-02-13 23页
2023-12-08 3页
2024-01-26 6页
2023-12-24 3页
2024-01-11 3页
2023-01-24 6页
2024-01-19 3页
2023-12-26 7页
2023-07-31 11页