洁净室各项指标的检测

1、洁净室各项指标的检测方法、程序法则、判定标准洁净室的检测主要分为：一、风量和风速的检测二、静压差的检测三、洁净度的测定四、微生物粒子的检测五、安装高效空气过滤器后的检漏六、污染泄露测试七、气流流型试验八、自净时间测定九、温度及相对湿度检测 十、照度检测 十一、 噪声检测十二、 防静电地面导电性能测定一、风量和风速的检测 风量和风速的检测必须首先进行，净化空调的各项效果必须是在设计风量和风速的条件下获 得。用热力风速仪测量风速1. 测前准备工作用风量罩直接测量风量风量检测前必须检查风机运行是否正常，系统中各部件安装是否正确，有无障碍如过滤器有无被堵、档，所有阀门应固定在一定的开启位置上，并且必须实际测量被测风 口、风管尺寸。2. 单向流洁净室的风量测量垂直单向流及水平单向流洁净室，目前均采用截面平均风速与截面面积的成绩计算风量，关于截面的取法和测点的布置如下表单向流洁净室风量测定的有关规定JGJ71-90GB50073-2001垂直单向流水平单向流垂直单向流水平单向流测定截面选取距地面m距送风面m取离咼效过滤器m 垂直于气流平面测点布置间距2m均匀布置不大于m均匀布置最少测点数10点算术

2、平均值5点算术平均值仪器热球风速仪未具体规定评定标准应大于设计风速，且不超过20%1-4级Z不均匀的均方根差不大于5级百级0.2 3非单向流乱流洁净室的风量测定： 非单向流乱流洁净室的风量可以用风管法和风口法两种方法测量，关于截面取法和 测点布置见下表测定 方法使用场合测定截面位置及测点数的规定非 单 向 流 洁 净 室 的 风 量 测 定风管 法对于风口 上风侧较 长的支管 段，且已 经可以钻 孔时，可 米用。常 用于总管 及分支管 风量量测测定截面的位置 原则上选择在气 流比较均匀稳定 的地方；与局部 阻力部件的距 离，在局部阻 力部件前不少于 3倍风管管径长 度；在局部阻力 部件后不少于5 倍管径或长边长 度。对于矩形风管，将测定截面分成假设干 个相等的小截面，尽可能接近正方形， 边长最好不大于200mm,其截面积不大 于m2，测点在各个小截面中心处，但整 个截面测点数不宜小于3个，测点布置 见下列图矩形风管测点位置示意图对于圆形风管截面，应按等面积圆环法 划分测定截面确定测点数；即根据管径 大小将圆管分为假设干个面积相等的同 心圆环，每个圆环上有四个测点，四个 测点必须在相互垂

3、直的两个直径上，圆 环中心设一个测点，测点的布置见下列 图圆形风管测点位置示意图风口 法多用于高 效过滤器 末端风口 风量及房 间换气次 数的测定。因此 时往往难 于选择足 够的稳定 管段。对于安有过滤器的风口，根据风口形式可选用辅助用管， 既用硬质板材做成与风口内截面相冋，长度等于2倍风口 边上的直管段，连接于过滤器风口外部，在辅助风管出口 平面上，按最少测点数不少于不少于6点均匀布置测点， 用热球风速仪测定各点风速，以风口截面平均风速乘以风 口静截面积测定风量对于安有冋类扩散板的风口，可以根据扩散板的风量阻力曲 线出厂风量阻力曲线或现场实测风量阻力曲线和实际扩 散板阻力孔板内静压与是被静压之差，查出风量。测定 时用微压计和细毕托管，活用细橡胶管代替毕托管，但都必 须使用测孔平面与气流方向平行。测量注意事项：在测量风速时宜采用支架固定测夹；不得不用手持风速仪时，手臂要尽 量伸直使测头远离身体侧方或下游以减少人身干扰。评定：a.系统的实测风量应大于各自的设计风量，但不应超过20%。b. 总实测新风量和设计新风量之差，不应超过设计新风量的10%。c. 室内各风口的风量与各自设计风量之差均

4、不应超过设计风量的15%。圆形划分数按下表规定：圆形风管分环表风管直径/mm700圆环个数3456圆形风管测点位置示意图矩形风管测点位置示意图二、静压差检测 此项检测的目的是为了测定洁净室的静压差，它可以是正压或者负压，以防止洁净室内 外气流间的相互影响。1 检测要求（1）静压差的检测要求要在洁净室内所有的门窗全部关闭的情况下进行（2）在洁净平面上应从洁净度由高到低的顺序依次进行，一直检测到直通室外的房间（3）测管口设在室内没有气流影响的任何位置均可，测管口面与气流流线平行（4）所测量记录的数据应精确到 Pa2检测步骤：（1）先关闭所有的门窗（2）用微压计测量各洁净室之间、洁净室与走廊之间、走廊与外界之间的压差。（3）记录所有数据3 合格标准 按照洁净室的设计和工艺的要求决定维持被测洁净室的正压或负压值。（1）不同等级的洁净室或洁净区与非洁净区室之间的静压差，应不小于 5Pa。（2）洁净室区与室外的静压差应不小于 10Pa（3）对于空气洁净度等级高于5级100级的单向流洁净室在开门时，门内m处的室内工作面含尘浓度应不大于相应级别的含尘浓度极限值。（ 4）假设达不到上述要求，则需重新调整

5、新风量、排风量，直至合格为止三、洁净度测定洁净室施工及验收标准JGJ71-90中规定如下：1检测规则（1）测定洁净度的最低限度采样点睡按下表规定确定。每点采样次数不低于3次，各点 采样次数可以不同最低限度采样点数面积洁净度100级及高于100级1000 级10000 级100000 级102- 322210432220862240161342100403210320080632064001601264013100040031610032200080063320063注：表中的面积含义是：对于单向流洁净室，是指送风面面积，对于乱流洁净室，是 指房间面积。最低限度采样量L级别1178510100100010000100000粒径卩m1198566852) 测定洁净度的最小采样量按下表规定确定3) 对于单向流洁净室，采样口应对着气流方向；对于乱流洁净室，采样口宜向上。采 样速度均应尽可能接近室内气流速度。也即参考“等速采样”4) 洁净室测点的布置原则是：多于5 点时可分层布置，但每层不少于5 点；5点或 5点以下时，可布置在离地面m高平面的对角线上如下列图，或该平面上的两个过滤 器之间的地点

6、，也可以在人为需要布点的其他地方。2数据整理室内洁净度按公式计算室平均含尘浓度N和各测点平均含尘浓度的标准误差3评定标准如测定的状态空态、静态、动态与事先约定的状态相同，则以其级别上限 作为评定标准。如测定时为空态或静态，则动态时粒子数一定会高。所以，如用静态检测代替动态检测 则粒子数会偏小，有时可以用静态粒子数的3-5 倍来估计动态情况。当然这也仅是经验 参考值4 注意事项 测定时进入洁净室的人员要穿洁净服有风淋室要经过风淋，在室内尽量处于下风处， 最多进入两人。粒子计数器一般均有一个开机后预热稳定的过程时间因机型而异注意按仪表说 明书操作。一般粒子计数器均有“粒子校准”这一旋钮，在使用前必须校准，使用一段时间例 如连续使用-1h后均需进行检查。严禁故意将灵敏度调低的不正当做法 每个测点测完后需要移机或移动采样口时，要有一个稳定过程，一般为1-5 分钟， 也可以将移机后前几次打印结果弃去。有研究结果说明打印机本身的动作有一定的产尘量，故在测量高级别洁净室时，要 考虑到打印机纸张发尘的影响。建议选取可存储数据的仪器，实验结束后再把结果打印 出来；或将连线延长，将打印机置于被测洁净室外。

7、 在粒子计数器中反应得粒径，知识“光散射等效粒径”，因为计数器时用洁净大气尘密度 的聚苯乙烯小球标准粒子来标定的。所以在实例中但凡与某种直径标准粒子的光散 射特性相同的灰尘就被记录为该粒径的粒数，而不能真正代表该灰尘的真实外形和理化 性能，而这个方面，还得在采样后靠显微镜电子显微镜和微量痕量理化分析来 解决。目前的粒子计数器都存在一个“上限浓度”的问题，由于仪器本身构造的原因，如抽 气流速过大，会有可能两个或多个粒子同事进入散射光区域，此时会合并基础一个粒径 偏大的粒子，从而造成测量的重叠误差。如实测环境含尘量超过上限浓度，则应采用稀释器稀释后再测。四、微生物粒子检测 本实验室不涉及微生物粒子检测，此处不做详述五、安装高效过滤器的检漏高效过滤器本体在进入现场前，生产厂家应按规定对其进行性能试验其检测方法 如DOP试验、NaCI试验、油雾试验等，并提供合格证含性能检测结果。对于 5 级100 级以上洁净室用高效过滤器、超高效过滤器在现场应再次进行高效过 滤器本体及其正确安装状态进行泄露试验。对于 6 级及以下的生物洁净室也用此方法 啊检漏。而在大规模集成电路生产的超净技术中um, 1级，

8、由于新风量往往是循环 风量的百分之几，经过稀释上风侧也变成6 级1000级的程度，因此，在这种情况 下,就必须重新考虑采用 DOP 检漏试验。 DOP 检漏仪级配套的 DOP 发生器如下列图DOP检漏仪检漏仪配套DOP发生器1 检测要求一般采用离子计数器法进行检测，被检高效过滤器必须已检测过风量，并在设计 风速的 80%-120%之间运行。实测时很多设计风量不到过滤器额定风量的 80%，由于过 滤器在低风速下泄露比例会加大，数据偏安全，有时不必再加大风量。对于被检高效 过滤器上风侧的微粒浓度符合如下要求。对于受控粒径三um的浓度，必须4pc/L;对 受控粒径的浓度，必须6 107pc/L2 检测方法 采用扫描法对高效过滤器安装接缝和主断面进行检测，检测点应距离被测外表 2030mm，测头以520mm/s的速度移动，对被测过滤器整个断面、封胶头和安 装框架处进行扫描，如下列图。粒子计数器的最小采样量大于1L/min。3评定标准由受检过滤器下风侧测得泄露的浓度换算成穿透率，高效过滤器不应大于出厂合 格穿透率的两倍，对于D级超高效过滤器不应大于出厂合格穿透率的3倍六、污染泄露测试此项测试时为考虑与轨迹接轨而规定的。它要求，有空洞想通不同洁净度等级的 相邻洁净室，其洞口处应有合理的流向，且其风速应该大于m/so七、气流流行试验1测点位置对于单向流洁净室，在每个所测截面上测点间距为Tim，垂直单向流要取四个 截面：洁净室纵剖面，横剖面及距地m、两个水平面。水平单向流要求5个截 面：洁净室纵剖面、工作区水平面、房间中心线距离送、回风墙m的3个横剖 面。对非单向流需要取三个测点截面：具有代表性的送、回风口中心的纵、横剖 面和工作区高度的水平面2 测定方法 用发烟器或悬挂细丝线的方法逐点观察和记录气流流向；用量角器测定气流 流向的偏离角度。在每个截面的测点布置图上标出气流流向。3判定标准 工作区气流流向偏离规定方向的角度最好不大于14度，应给出气流流型 图，并给出分析结果八、自净时间的测定 1以大气尘为基础测量时，洁净室必须停止运行一段时间

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