电容式薄膜绝对压力传感器原理
20页1、压力测量-电容式薄骥压力传感靄现代电容式薄膜绝对压力传感器原理I通过真空泵维 持在高真空参 考压力下MKS Confidential #压为测量-一个完整的传感器-压力传感器+信号控制电路MKS Confidential #压力測量电容式溥原压力传感器现代电容式薄膜差压式压力传感器原理1 e n j ih11 r1 WU -Hl 1J|_114MHA2 ?电了组件-.AHU压力测量电容式IO舅压力传感器温度控制的薄膜压力传感器-范围及输出MKS Confidential #MKS Confidential #举例:IT。满量程压力传感器-S牌朋FMKS Confidential #压力测量-电容式薄膜压力传感器MKS Confidential #压力测量-电容式薄膜压力传感器ControlRangeReadingRangeZeroingPressure10V1.0.011mV1000 Torr温度控制的薄膜压力传感器 系列ControlRangeReadingRange10 Torr1.0.01ZeroingPressure10V1mV0.1 Torr100010010110_110_
2、210-310-410-510-610-7MKS Confidential #压力测量-电容式薄膜压力传感器Confidential #压力测量-电容式薄膜压力传感器零点、满量程及线性显示压力Confidential #电容式薄膜压力传感鬍压力溉压力测量-电容式薄膜压力传感鬍MKS Confidential #MKS Confidential #零点调整输出信号用螺丝刀进行零点调整1或在显示/控制仪O 上实施零点修正MKS Confidential #MKS电容式薄籐压力传感11系列600系列Baratron电容式薄膜压力传感器A满量程范围:20mT25kTA精度:读数值的0.12%A分辨率:满量程的0.001%A温度控制:环境温度,45eCor 100 CA温度系数零点:0.002%满量程./ C增益:0.02%读数值/ CA两个继电器控制点可选A电源电压:15VDCA输出信号:010VMKS Confidential #MKS电容式薄膜压力传感器系列700 系列 Baratron 电容式薄膜压力传感器890/892压力传感器满量程范围:203000PSI精度:读数值的1%电源电压:
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