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第第13章章 化学传感器化学传感器能将各种化学物质的特性（如气体、离子、电解质浓度、能将各种化学物质的特性（如气体、离子、电解质浓度、空气湿度等）的变化定性或定量地转换成电信号的传感空气湿度等）的变化定性或定量地转换成电信号的传感器称作器称作化学传感器化学传感器化学传感器化学传感器由于化学物质种类繁多，因此化学传感器的种类和数量由于化学物质种类繁多，因此化学传感器的种类和数量也很多，各种转换器件的转换原理也各不相同，并且由也很多，各种转换器件的转换原理也各不相同，并且由于转换机理相对比较复杂，因而化学传感器远不如物理于转换机理相对比较复杂，因而化学传感器远不如物理传感器那样成熟和普及但是，随着科学技术的发展，传感器那样成熟和普及但是，随着科学技术的发展，尤其是人类对环保的需要，人们对化学传感器的需求日尤其是人类对环保的需要，人们对化学传感器的需求日益增多，化学传感器也就显得日益重要因此，了解化益增多，化学传感器也就显得日益重要因此，了解化学传感器是很有必要的学传感器是很有必要的本章主要介绍本章主要介绍离子敏、气敏、湿敏离子敏、气敏、湿敏离子敏、气敏、湿敏离子敏、气敏、湿敏和和电化学传感器。

电化学传感器电化学传感器电化学传感器化学传感器化学传感器一、一、 离子敏传感器离子敏传感器 l（一）（一）（一）（一） MOSFET MOSFET场效应管的结构与特性场效应管的结构与特性场效应管的结构与特性场效应管的结构与特性l用半导体工艺制作的金属用半导体工艺制作的金属用半导体工艺制作的金属用半导体工艺制作的金属——氧化物氧化物氧化物氧化物——半导体场效应晶体半导体场效应晶体半导体场效应晶体半导体场效应晶体管的典型结构如图管的典型结构如图管的典型结构如图管的典型结构如图13—113—1所示 化学传感器化学传感器（二）（二） 离子敏传感器的结构与工作原理离子敏传感器的结构与工作原理l离子敏传感器由离子敏感膜和转换器两部分构成，敏感离子敏传感器由离子敏感膜和转换器两部分构成，敏感膜用以识别离子的种类和浓度，转换器则将敏感膜感知膜用以识别离子的种类和浓度，转换器则将敏感膜感知的信息转换为电信号如图的信息转换为电信号如图13—313—3所示 l如图如图13—413—4（（a a）所示为离子场效应管的结构示意图所示为离子场效应管的结构示意图MOSFETMOSFET场效应管是利用金属栅上所加电压大小来控制场效应管是利用金属栅上所加电压大小来控制漏源电流的；漏源电流的；ISFETISFET则是利用其对溶液中离子有选择作则是利用其对溶液中离子有选择作用而改变栅极电位，以此来控制漏源电流变化的。

用而改变栅极电位，以此来控制漏源电流变化的化学传感器化学传感器（三）（三） ISFET的特点和参数的特点和参数 l lISFETISFET具有以下特点：具有以下特点：l l1 1、、ISFETISFET具有具有MOSFETMOSFET一样的输入阻抗高、输出阻抗低的特点一样的输入阻抗高、输出阻抗低的特点l l2 2、、ISFETISFET是全固态化结构，因此具有体积小、重量轻、机械强度高等特点是全固态化结构，因此具有体积小、重量轻、机械强度高等特点l l3 3、敏感膜可做得很薄，一般可小于、敏感膜可做得很薄，一般可小于100nm100nm这可使ISFETISFET的水化时间很短，的水化时间很短，从而使离子活度的响应速度很快，响应时间可小于从而使离子活度的响应速度很快，响应时间可小于1S1Sl l4 4、由于、由于ISFETISFET是利用半导体集成电路工艺制造的，易将信息转换部分和信号是利用半导体集成电路工艺制造的，易将信息转换部分和信号放大检出部分与敏感器件集成在一块芯片上，实现整个系统智能化、小型化放大检出部分与敏感器件集成在一块芯片上，实现整个系统智能化、小型化和全固态化和全固态化。

l l5 5、由、由ISFETISFET的结构特点可见，离子敏感材料与场效应晶体管的漏源之间是互的结构特点可见，离子敏感材料与场效应晶体管的漏源之间是互相绝缘的，是依靠敏感膜与绝缘体界面电位变化来控制沟道中漏源电流变化的相绝缘的，是依靠敏感膜与绝缘体界面电位变化来控制沟道中漏源电流变化的l l离子敏场效应管具有以下参数：离子敏场效应管具有以下参数：l l1 1、线性度 2 2、动态响应动态响应动态响应动态响应 3 3、迟滞 4 4、选择系数选择系数选择系数选择系数 化学传感器化学传感器（四）（四） ISFET的应用的应用ISFET可以用来测量离子敏电极所不能测量的生物体中的微小区域和微量离子因此，它在生物医学领域中具有很强的生命力此外，在环境保护、化工自控、矿山、地质、土壤、水文以及家庭生活等各个方面都有其作用1）对生物体液中无机离子的检测 （2）在环境保护中的应用 （3）在其它方面的应用 化学传感器化学传感器二、半导体气敏传感器二、半导体气敏传感器（一）（一）（一）（一） 半导体气敏传感器的分类半导体气敏传感器的分类半导体气敏传感器的分类半导体气敏传感器的分类按气按气——电转换分类，有电转换分类，有金属氧化物半导体式、接触燃烧式、热传金属氧化物半导体式、接触燃烧式、热传金属氧化物半导体式、接触燃烧式、热传金属氧化物半导体式、接触燃烧式、热传导式、固体电解式、恒电位电解式、伽伐尼电池式、光电干涉式导式、固体电解式、恒电位电解式、伽伐尼电池式、光电干涉式导式、固体电解式、恒电位电解式、伽伐尼电池式、光电干涉式导式、固体电解式、恒电位电解式、伽伐尼电池式、光电干涉式以及红外线吸收式等。

以及红外线吸收式等以及红外线吸收式等以及红外线吸收式等按构成气敏传感器材料可分为按构成气敏传感器材料可分为半导体和非半导体两大类半导体和非半导体两大类半导体和非半导体两大类半导体和非半导体两大类 半导体气敏传感器按照半导体与气体的相互作用是在其表面还是半导体气敏传感器按照半导体与气体的相互作用是在其表面还是在其内部，可分为在其内部，可分为表面控制型和体控制型两大类表面控制型和体控制型两大类表面控制型和体控制型两大类表面控制型和体控制型两大类 半导体气敏传感器按照半导体与气体的相互作用是在其表面还是半导体气敏传感器按照半导体与气体的相互作用是在其表面还是在其内部，可分为在其内部，可分为表面控制型和体控制型两大类表面控制型和体控制型两大类表面控制型和体控制型两大类表面控制型和体控制型两大类 电阻型半导体气敏传感器利用半导体接触气体时，气体在半导体电阻型半导体气敏传感器利用半导体接触气体时，气体在半导体表面的氧化和还原反应导致敏感元件阻值的改变来检测气体的成表面的氧化和还原反应导致敏感元件阻值的改变来检测气体的成份和浓度；份和浓度； 非电阻型半导体气敏传感器根据其对气体的吸附和反应，使其某非电阻型半导体气敏传感器根据其对气体的吸附和反应，使其某些特性变化对气体进行直接或间接检测。

些特性变化对气体进行直接或间接检测 化学传感器化学传感器（二）（二） 半导体气敏传感器的工作原理半导体气敏传感器的工作原理l l半导体气敏传感器的敏感元件采半导体气敏传感器的敏感元件采用金属氧化物半导体材料，它分用金属氧化物半导体材料，它分为为N N型、型、P P型和混合型三种型和混合型三种 l l半导体气敏元件的敏感部分是金半导体气敏元件的敏感部分是金属氧化物半导体微结晶粒子烧结属氧化物半导体微结晶粒子烧结体，当它的表面吸附被检测气体体，当它的表面吸附被检测气体时，半导体微结晶粒子接触介面时，半导体微结晶粒子接触介面的导电电子比例就会发生变化，的导电电子比例就会发生变化，从而使气敏元件的电阻值随被测从而使气敏元件的电阻值随被测气体的浓度改变而改变气体的浓度改变而改变 l l当氧化型气体吸附到当氧化型气体吸附到N N型半导体上，型半导体上，或还原型气体吸附到或还原型气体吸附到P P型半导体上型半导体上时，将使载流子减少，而使电阻时，将使载流子减少，而使电阻值增大相反，当还原型气体吸值增大相反，当还原型气体吸附到附到N N型半导体上，或氧化型气体型半导体上，或氧化型气体吸附吸附P P型半导体上时，将使载流子型半导体上时，将使载流子增多，使电阻值下降。

增多，使电阻值下降l l图图13—613—6描述了半导体气敏元件吸描述了半导体气敏元件吸附被测气体时电阻的变化情况附被测气体时电阻的变化情况 化学传感器化学传感器（三）（三） 半导体气敏传半导体气敏传感器的结构及特性感器的结构及特性 l l1 1、、、、SnO2SnO2气敏传感器气敏传感器气敏传感器气敏传感器l l其结构如图其结构如图其结构如图其结构如图13—713—7所示，它主要由所示，它主要由所示，它主要由所示，它主要由l lSnO2SnO2烧结体、加热器、电极引线、塑烧结体、加热器、电极引线、塑烧结体、加热器、电极引线、塑烧结体、加热器、电极引线、塑料底座及不锈钢丝网罩等部分组成料底座及不锈钢丝网罩等部分组成料底座及不锈钢丝网罩等部分组成料底座及不锈钢丝网罩等部分组成 l lSnO2SnO2气敏元件的主要特性参数如下：气敏元件的主要特性参数如下： l l（（（（1 1）固有有电阻）固有有电阻）固有有电阻）固有有电阻R0R0和工作电阻和工作电阻和工作电阻和工作电阻RS RS l l（（（（2 2）灵敏度）灵敏度）灵敏度）灵敏度S S l l（（（（3 3）响应时间）响应时间）响应时间）响应时间tγes tγes 。

l l（（（（4 4）恢复时间）恢复时间）恢复时间）恢复时间tγetγec c l l（（（（5 5）加热电阻）加热电阻）加热电阻）加热电阻RHRH和和和和 加热功率加热功率加热功率加热功率PH PH l l（（（（6 6）洁净空气中的）洁净空气中的）洁净空气中的）洁净空气中的 电压电压电压电压U0 U0 l l（（（（7 7）标定气体中的）标定气体中的）标定气体中的）标定气体中的 电压电压电压电压UCS UCS l l（（（（8 8）电压比）电压比）电压比）电压比KV KV l l （（（（9 9）回路电压）回路电压）回路电压）回路电压UC UC 化学传感器化学传感器2、、Fe2O3系气敏传感器系气敏传感器l l（（（（1 1））））γ—Fe2O3γ—Fe2O3气敏传感器气敏传感器气敏传感器气敏传感器：：外形如图外形如图13—913—9所示l l这种传感器对丙烷很敏感，但这种传感器对丙烷很敏感，但对甲烷不很敏感。

对甲烷不很敏感 l l（（（（2 2））））α—Fe2O3α—Fe2O3气敏传感器气敏传感器气敏传感器气敏传感器 其结构如图其结构如图13—1013—10所示l l它对甲烷和异丁烷很敏感，但它对甲烷和异丁烷很敏感，但对水蒸气和乙醇不灵敏对水蒸气和乙醇不灵敏 化学传感器化学传感器（四）（四） 接触燃烧式气敏传感器接触燃烧式气敏传感器l结构如图结构如图13—1113—11所示在铂丝线圈上涂有氧化铝等材料所示在铂丝线圈上涂有氧化铝等材料制成球状物进行烧结，再在外表面敷设铂（制成球状物进行烧结，再在外表面敷设铂（PtPt）、钯）、钯（（PdPd）和铑（）和铑（RhRh）等稀有金属催化剂等稀有金属催化剂 l测量电路为电桥，如图测量电路为电桥，如图13—1113—11（（B B）所示，）所示， l接触燃烧式气敏传感器主要用在可燃性气体测量及泄漏接触燃烧式气敏传感器主要用在可燃性气体测量及泄漏报警等装置上特点是精度高、线性好、寿命长、速度报警等装置上特点是精度高、线性好、寿命长、速度快，且又不受环境温度影响快，且又不受环境温度影响化学传感器化学传感器（五）（五） 电化学式气敏传感器电化学式气敏传感器 l l1 1、恒电位电解式传感器。

图、恒电位电解式传感器图、恒电位电解式传感器图、恒电位电解式传感器图13-13-1212为传感器的结构示意图为传感器的结构示意图为传感器的结构示意图为传感器的结构示意图 l l其工作原理是通过隔膜，将扩散其工作原理是通过隔膜，将扩散其工作原理是通过隔膜，将扩散其工作原理是通过隔膜，将扩散吸收到电解液中的被测气体，使吸收到电解液中的被测气体，使吸收到电解液中的被测气体，使吸收到电解液中的被测气体，使其电解来检测气体浓度，该电解其电解来检测气体浓度，该电解其电解来检测气体浓度，该电解其电解来检测气体浓度，该电解作用是在从外部加了特定电位的作用是在从外部加了特定电位的作用是在从外部加了特定电位的作用是在从外部加了特定电位的电极表面上进行的，只要测定加电极表面上进行的，只要测定加电极表面上进行的，只要测定加电极表面上进行的，只要测定加在电极上的电位，即可确定被测在电极上的电位，即可确定被测在电极上的电位，即可确定被测在电极上的电位，即可确定被测气体特有的电解电位，气体特有的电解电位，气体特有的电解电位，气体特有的电解电位， l l如图如图如图如图13-1313-13所示，这种传感器的所示，这种传感器的所示，这种传感器的所示，这种传感器的工作原理是将透过隔膜而扩散工作原理是将透过隔膜而扩散工作原理是将透过隔膜而扩散工作原理是将透过隔膜而扩散吸收到电解液中的被测气体进吸收到电解液中的被测气体进吸收到电解液中的被测气体进吸收到电解液中的被测气体进行电解，测量电解时所形成的行电解，测量电解时所形成的行电解，测量电解时所形成的行电解，测量电解时所形成的电解电流，就可知道被测气体电解电流，就可知道被测气体电解电流，就可知道被测气体电解电流，就可知道被测气体的浓度，由于各种被测气体的的浓度，由于各种被测气体的的浓度，由于各种被测气体的的浓度，由于各种被测气体的固有电解电位是确定的，不能固有电解电位是确定的，不能固有电解电位是确定的，不能固有电解电位是确定的，不能任意选择，所以，选择被测气任意选择，所以，选择被测气任意选择，所以，选择被测气任意选择，所以，选择被测气体受到限制。

体受到限制体受到限制体受到限制 化学传感器化学传感器（六）（六）（六）（六） 红外线气敏传感器红外线气敏传感器红外线气敏传感器红外线气敏传感器l l结构如图结构如图13-1413-14所示，其工作原理是，由两个以所示，其工作原理是，由两个以上不同原子构成的气体分子，具有偶极矩，当红上不同原子构成的气体分子，具有偶极矩，当红外波段的光线照射它时，产生核间隔振动性的变外波段的光线照射它时，产生核间隔振动性的变化运动和整个分子绕一个轴作回转运动的能级迁化运动和整个分子绕一个轴作回转运动的能级迁移，吸收取决于该分子结构的特定波长的光测移，吸收取决于该分子结构的特定波长的光测量这种吸收光谱，则可判别气体分子的种类；测量这种吸收光谱，则可判别气体分子的种类；测吸收强度就可知道被测气体的浓度吸收强度就可知道被测气体的浓度l l结构如图结构如图13-13-1515所示l l它的测量原它的测量原理是利用固理是利用固体电解质的体电解质的氧离子导电氧离子导电特性l l曲线如图曲线如图13-13-1616所示 （七）（七） 固体电解质氧所传感器固体电解质氧所传感器 化学传感器化学传感器（八）（八） 电阻式气敏传感器电阻式气敏传感器l电阻式气敏传感器结构如图电阻式气敏传感器结构如图13-1713-17所示所示, ,它是根据具有还原性的气体它是根据具有还原性的气体的浓度增加时的浓度增加时, ,其电阻值变小的原其电阻值变小的原理而工作的。

理而工作的 l如图如图13-1813-18所示为专门为提高使用所示为专门为提高使用气体的安全性而研制的电路气体的安全性而研制的电路. .这个这个电路主要由气敏传感器、蜂呜器、电路主要由气敏传感器、蜂呜器、变压器、指示灯等元件组成变压器、指示灯等元件组成 化学传感器化学传感器（九）（九）（九）（九） 氢敏氢敏氢敏氢敏MOS MOS 场效应管场效应管场效应管场效应管 l 1 1、原理与结构、原理与结构、原理与结构、原理与结构l如图如图如图如图13—1913—19所示氢敏氢敏氢敏氢敏MOSMOS场效应场效应场效应场效应管的栅极用钯管的栅极用钯管的栅极用钯管的栅极用钯（（（（PdPd），故又称），故又称），故又称），故又称氢敏场效应管为氢敏场效应管为氢敏场效应管为氢敏场效应管为Pd—MOSFET Pd—MOSFET l阀值电压变化的测阀值电压变化的测阀值电压变化的测阀值电压变化的测量电路如图量电路如图量电路如图量电路如图13—13—2020所示 化学传感器化学传感器2、、MOSFET气敏气敏传感器的特性传感器的特性l l（（（（1 1）灵敏度）灵敏度）灵敏度）灵敏度 气敏气敏MOSFETMOSFET的灵敏度指器的灵敏度指器件阀值电压与气体浓度的关件阀值电压与气体浓度的关系，如图系，如图13—21 13—21 所示。

所示l l（（（（2 2）温度特性）温度特性）温度特性）温度特性 图13—2213—22为不同温度下，为不同温度下，PdPd栅气敏栅气敏MOSFETMOSFET对氢气对氢气的灵敏度的灵敏度 l l（（（（3 3）响应特性）响应特性）响应特性）响应特性 如图13—2313—23所示，氢扩散系数随所示，氢扩散系数随器件温度的增大而增大器件温度的增大而增大 l l（（（（4 4）稳定性）稳定性）稳定性）稳定性 图13—2413—24为气敏传感器在不同含量的为气敏传感器在不同含量的氢气中，经过氢气中，经过18h18h循环处理循环处理后的特性曲线后的特性曲线 化学传感器化学传感器（十）（十） 气气敏二极管敏二极管 1 1、、、、Pd—TiO2Pd—TiO2气敏二极管气敏二极管气敏二极管气敏二极管 这是一种金这是一种金属属——半导体接触元件，用金属钯半导体接触元件，用金属钯PdPd））和半导体材料二氢化钛（和半导体材料二氢化钛（TiO2TiO2）制成，使其）制成，使其金属金属——半导体界面能够吸收气体，从半导体界面能够吸收气体，从而影响半导体禁带宽度，则二极管的单向导而影响半导体禁带宽度，则二极管的单向导电性会因气体浓度不同而发生变化电性会因气体浓度不同而发生变化 ，，由此便可检测气体。

由此便可检测气体2 2、、、、Pd—MOSPd—MOS气敏气敏气敏气敏二极管二极管二极管二极管 Pd—MOSPd—MOS气气敏二极管如图敏二极管如图13—13—2525（（a a）所示，在）所示，在P P型型SiSi上利用热氧化工艺上利用热氧化工艺生成一层厚度为生成一层厚度为5050～～100nm100nm的二氧化硅的二氧化硅（（SiO2SiO2），然后用蒸），然后用蒸发溅射工艺在发溅射工艺在SiO2SiO2层层上形成一层薄薄的钯上形成一层薄薄的钯（（PdPd）膜，便制成了）膜，便制成了Pd—MOSPd—MOS气敏二极气敏二极管管 化学传感器化学传感器（十一）（十一） 气敏传感器的应用气敏传感器的应用 l1 1、家用煤气、液化石油气泄漏报、家用煤气、液化石油气泄漏报、家用煤气、液化石油气泄漏报、家用煤气、液化石油气泄漏报警器警器警器警器l图图图图13—2613—26所示为一种简单、廉价的所示为一种简单、廉价的所示为一种简单、廉价的所示为一种简单、廉价的家用煤气、液化石碑气报警电路家用煤气、液化石碑气报警电路家用煤气、液化石碑气报警电路家用煤气、液化石碑气报警电路该电路能承受较高的的交流电压，该电路能承受较高的的交流电压，该电路能承受较高的的交流电压，该电路能承受较高的的交流电压，因此，可直接由因此，可直接由因此，可直接由因此，可直接由220V220V市电供电，且市电供电，且市电供电，且市电供电，且不需要再加复杂的放大电路，就能不需要再加复杂的放大电路，就能不需要再加复杂的放大电路，就能不需要再加复杂的放大电路，就能驱动峰鸣器等来报警。

驱动峰鸣器等来报警驱动峰鸣器等来报警驱动峰鸣器等来报警 l l2 2、实用瓦斯报警器、实用瓦斯报警器、实用瓦斯报警器、实用瓦斯报警器l l实用瓦斯报警器的电实用瓦斯报警器的电实用瓦斯报警器的电实用瓦斯报警器的电路如图路如图路如图路如图13—2713—27所示，所示，所示，所示，适用于小型煤矿和家适用于小型煤矿和家适用于小型煤矿和家适用于小型煤矿和家庭它由气敏元件和庭它由气敏元件和庭它由气敏元件和庭它由气敏元件和电位器电位器电位器电位器RWRW组成气敏组成气敏组成气敏组成气敏检测电路，检测电路，检测电路，检测电路，555555和其和其和其和其外围元件组成多谐振外围元件组成多谐振外围元件组成多谐振外围元件组成多谐振荡器 化学传感器化学传感器l l3 3、实用酒精测试仪、实用酒精测试仪、实用酒精测试仪、实用酒精测试仪l l实用酒精测试仪的电路如图实用酒精测试仪的电路如图实用酒精测试仪的电路如图实用酒精测试仪的电路如图13—2813—28所示其中气敏传感器采用其中气敏传感器采用其中气敏传感器采用其中气敏传感器采用TGS—812TGS—812，它对一，它对一，它对一，它对一氧化碳和酒精比较敏感，常被用来探测汽氧化碳和酒精比较敏感，常被用来探测汽氧化碳和酒精比较敏感，常被用来探测汽氧化碳和酒精比较敏感，常被用来探测汽车尾气的浓度，也常用来制作酒精测试仪。

车尾气的浓度，也常用来制作酒精测试仪车尾气的浓度，也常用来制作酒精测试仪车尾气的浓度，也常用来制作酒精测试仪只要被测者向传感器探头吹口气，便可显只要被测者向传感器探头吹口气，便可显只要被测者向传感器探头吹口气，便可显只要被测者向传感器探头吹口气，便可显示出醉酒的深度，确定被试者是否还适宜示出醉酒的深度，确定被试者是否还适宜示出醉酒的深度，确定被试者是否还适宜示出醉酒的深度，确定被试者是否还适宜驾驶车辆驾驶车辆驾驶车辆驾驶车辆l l4 4、城市煤气报警器、城市煤气报警器、城市煤气报警器、城市煤气报警器l l如图如图如图如图13—2913—29所示经过单片机处理机经过单片机处理机经过单片机处理机经过单片机处理机对信号进行处理，对信号进行处理，对信号进行处理，对信号进行处理，可分别对甲烷、一可分别对甲烷、一可分别对甲烷、一可分别对甲烷、一氧化碳、酒精等发氧化碳、酒精等发氧化碳、酒精等发氧化碳、酒精等发出报警信号出报警信号出报警信号出报警信号 化学传感器化学传感器l l5 5、自动换气扇、自动换气扇、自动换气扇、自动换气扇l l如图如图如图如图13—3013—30所示，所示，所示，所示，自动换气扇是采自动换气扇是采用气体传感器对厨房内的的可燃性用气体传感器对厨房内的的可燃性气体进行检测，根据检测结果对换气体进行检测，根据检测结果对换气扇进行控制的一种自动装置。

它气扇进行控制的一种自动装置它由气敏传感器、由气敏传感器、TWH8751TWH8751开关集开关集成电路、电源及换气扇等组成成电路、电源及换气扇等组成 l l6 6、自动抽油烟机、自动抽油烟机、自动抽油烟机、自动抽油烟机l l电路如图电路如图电路如图电路如图13—3113—31所示 l l自动抽油烟机能感知厨房自动抽油烟机能感知厨房的油烟等所造成的室内空的油烟等所造成的室内空气污染，并自动开启排风气污染，并自动开启排风扇，排除油烟等有害气体，扇，排除油烟等有害气体，净化室内空气净化室内空气 化学传感器化学传感器三、三、 湿敏传感器湿敏传感器（一）（一） 湿度与湿敏传感器的分类湿度与湿敏传感器的分类 l l 1 1、湿度、湿度、湿度、湿度l l湿度湿度湿度湿度是指大气中的水蒸汽的是指大气中的水蒸汽的含量，即空气的干湿程度含量，即空气的干湿程度l l以每以每1m31m3大气所含水气的克大气所含水气的克数来表示，称之为大气的数来表示，称之为大气的绝绝绝绝对湿度（对湿度（对湿度（对湿度（AHAH）l l相对湿度相对湿度相对湿度相对湿度指绝对湿度与饱和指绝对湿度与饱和湿度之比。

湿度之比 l l饱和湿度饱和湿度饱和湿度饱和湿度指被测媒质的单位指被测媒质的单位体积容器可能储水的最大量体积容器可能储水的最大量 l l保持压力一定而降温，使混保持压力一定而降温，使混合气体中的水蒸气达到饱和合气体中的水蒸气达到饱和而开始结露或结霜时的温度而开始结露或结霜时的温度称为露点温度（单位为称为露点温度（单位为0C0C），通常称为露点通常称为露点 l l l l 2 2、湿敏传感器的分类、湿敏传感器的分类、湿敏传感器的分类、湿敏传感器的分类l l水分子易于吸附在固体表面并渗透到固体水分子易于吸附在固体表面并渗透到固体内部的这种特性称之为内部的这种特性称之为水分子亲和力水分子亲和力水分子亲和力水分子亲和力l l水分子易于吸附在固体表面并渗透到固体水分子易于吸附在固体表面并渗透到固体内部的这种特性称之为内部的这种特性称之为水分子亲和力水分子亲和力水分子亲和力水分子亲和力 l l利用这一特性制成的湿敏传感器称为利用这一特性制成的湿敏传感器称为水分水分水分水分子亲和力型传感器子亲和力型传感器子亲和力型传感器子亲和力型传感器 l l而把与水分子亲和力无关的湿敏传感器称而把与水分子亲和力无关的湿敏传感器称为为非水分子亲和力型传感器非水分子亲和力型传感器非水分子亲和力型传感器非水分子亲和力型传感器。

3、对湿敏传感器的基本要求、对湿敏传感器的基本要求（（1）能满足所要求的湿度测量范围，且响应迅速）能满足所要求的湿度测量范围，且响应迅速（（2）在各气体环境中特性稳定在各气体环境中特性稳定3）受温度的影响小，能在）受温度的影响小，能在-30～～1000C的环境的环境温度中使用温度中使用4）不受尘埃附着的影响不受尘埃附着的影响5）工作可靠互换性好，使用寿命长工作可靠互换性好，使用寿命长6）制造简单，价格便宜制造简单，价格便宜化学传感器化学传感器（二）（二） 水分子亲和力型湿敏传感器水分子亲和力型湿敏传感器 l l 1 1、碳膜湿敏传感器、碳膜湿敏传感器、碳膜湿敏传感器、碳膜湿敏传感器l l在绝缘的聚苯乙烯基片上制在绝缘的聚苯乙烯基片上制在绝缘的聚苯乙烯基片上制在绝缘的聚苯乙烯基片上制备两个电极，然后在电极之备两个电极，然后在电极之备两个电极，然后在电极之备两个电极，然后在电极之间喷涂一层含有碳粉粒的有间喷涂一层含有碳粉粒的有间喷涂一层含有碳粉粒的有间喷涂一层含有碳粉粒的有机胶状纤维素湿膜，便构成机胶状纤维素湿膜，便构成机胶状纤维素湿膜，便构成机胶状纤维素湿膜，便构成了碳膜湿敏传感器，如图了碳膜湿敏传感器，如图了碳膜湿敏传感器，如图了碳膜湿敏传感器，如图13—3313—33（（（（a a）所示。

所示 l l 2 2、电解质湿敏传感器、电解质湿敏传感器、电解质湿敏传感器、电解质湿敏传感器l l湿敏电阻元件，其结构如图湿敏电阻元件，其结构如图湿敏电阻元件，其结构如图湿敏电阻元件，其结构如图13—3413—34（（（（a a）所示 l l氯化锂湿敏电阻的阻值氯化锂湿敏电阻的阻值——湿度湿度特性如图特性如图11—3411—34（（b b）所示 化学传感器化学传感器3、高分子湿敏传感器、高分子湿敏传感器 （（（（1 1）电容式湿敏传感器）电容式湿敏传感器）电容式湿敏传感器）电容式湿敏传感器l l高分子电容式湿敏传感器基本高分子电容式湿敏传感器基本上是一个电容器，利用其电容上是一个电容器，利用其电容值随湿度变化的原理进行湿度值随湿度变化的原理进行湿度测量醋酸纤维有机膜湿敏传测量醋酸纤维有机膜湿敏传感器的结构如图感器的结构如图13—3513—35（（a a））所示 l l电容值与相对湿度之间的关系电容值与相对湿度之间的关系如图如图13—3513—35（（b b）所示 （（（（2 2）树脂湿度传感器）树脂湿度传感器）树脂湿度传感器）树脂湿度传感器l l其特性如图其特性如图13—3613—36（（a a）所示。

所示 l l图图13—3613—36（（b b）为其测量电路图，）为其测量电路图，l l使用结露传感器时应注意：使用结露传感器时应注意：l l①①不能施加不能施加0.8 V0.8 V以上的电压，须将电压控制在发以上的电压，须将电压控制在发生水电解电压以下；为延长传感器寿命，电路设计生水电解电压以下；为延长传感器寿命，电路设计也应保守一点，耗电应控制在也应保守一点，耗电应控制在0.2mW0.2mW以内；以内；l l②②结露传感器的热容量最好与被测物的热容量一致结露传感器的热容量最好与被测物的热容量一致 l l③③不能让元件的使用环境处于特殊状态；不能让元件的使用环境处于特殊状态； 化学传感器化学传感器（（（（3 3）电阻式湿敏传感器）电阻式湿敏传感器）电阻式湿敏传感器）电阻式湿敏传感器l l如图如图13—3713—37（（a a）它主要使用高分子固体电主要使用高分子固体电解质材料作感湿膜，利解质材料作感湿膜，利用导电性高分子对水蒸用导电性高分子对水蒸汽的物理吸附作用引起汽的物理吸附作用引起电导率变化的原理工作电导率变化的原理工作的 l l传感器的电阻值与相对传感器的电阻值与相对湿度的关系曲线如图湿度的关系曲线如图13—3713—37（（b b）所示。

所示 l l （（（（4 4）压电晶体湿敏传感器）压电晶体湿敏传感器）压电晶体湿敏传感器）压电晶体湿敏传感器l l如图如图如图如图13—3813—38所示涂敷在压电晶体上的覆盖薄膜涂敷在压电晶体上的覆盖薄膜目前有四种：目前有四种：聚合物硫酸聚合物硫酸聚合物硫酸聚合物硫酸；；SiOXSiOX；按一定比例配；按一定比例配制的制的环氧树脂环氧树脂环氧树脂环氧树脂；；醋酸纤维醋酸纤维醋酸纤维醋酸纤维 l l它们都满足以下要求：它们都满足以下要求： l l在很广的测量范围内，在很广的测量范围内，灵敏度高，线性很好，响应灵敏度高，线性很好，响应灵敏度高，线性很好，响应灵敏度高，线性很好，响应时间短时间短时间短时间短；；选择性好选择性好选择性好选择性好，即对水分子吸收性好，对其它，即对水分子吸收性好，对其它物质分子不吸收；物质分子不吸收；稳定性高；薄膜的覆盖方法简单稳定性高；薄膜的覆盖方法简单稳定性高；薄膜的覆盖方法简单稳定性高；薄膜的覆盖方法简单l l应用这种传感器应注意如下几个问题：应用这种传感器应注意如下几个问题：l l①①①①要选择合适的薄膜要选择合适的薄膜要选择合适的薄膜。

要选择合适的薄膜l l②②②②压电晶体尺寸不宜选得太大，压电晶体尺寸不宜选得太大，压电晶体尺寸不宜选得太大，压电晶体尺寸不宜选得太大，l l③③③③压电晶体湿度传感器的输出量是数字量，压电晶体湿度传感器的输出量是数字量，压电晶体湿度传感器的输出量是数字量，压电晶体湿度传感器的输出量是数字量， 4、金属氧化物膜湿敏传感器、金属氧化物膜湿敏传感器 利用三氧化二铁（利用三氧化二铁（Fe2O3）、四氧化三铁）、四氧化三铁 （（Fe3O4）、三氧化二铝（）、三氧化二铝（Al2o3）、三氧化二镁）、三氧化二镁 （（Mg2O3）、氧化锌（）、氧化锌（ZnO）及）及 二氧化钛（二氧化钛（TiO2）等金属氧化物）等金属氧化物 可以研制出多种金属氧化物膜湿可以研制出多种金属氧化物膜湿 敏传感器其结构如图敏传感器。

其结构如图13—37 （（a）所示 化学传感器化学传感器 5 5金属氧化物陶瓷湿敏传感器金属氧化物陶瓷湿敏传感器金属氧化物陶瓷湿敏传感器金属氧化物陶瓷湿敏传感器l l（（（（1 1））））MgCr2O4-TiO2MgCr2O4-TiO2陶瓷湿敏传感器陶瓷湿敏传感器陶瓷湿敏传感器陶瓷湿敏传感器l l①①①①MgCr2O4-TiO2MgCr2O4-TiO2陶瓷湿敏传感器的基本陶瓷湿敏传感器的基本陶瓷湿敏传感器的基本陶瓷湿敏传感器的基本物理特性：多孔物理特性：多孔物理特性：多孔物理特性：多孔MgCr2O4-TiO2MgCr2O4-TiO2陶瓷材料陶瓷材料陶瓷材料陶瓷材料表面吸收水分的情形，可分三个阶段表面吸收水分的情形，可分三个阶段表面吸收水分的情形，可分三个阶段表面吸收水分的情形，可分三个阶段 ：如：如图图13—4013—40所示 l l ②②②②MgCr2O4-TiO2MgCr2O4-TiO2系陶瓷湿度传感器系陶瓷湿度传感器系陶瓷湿度传感器系陶瓷湿度传感器l lMgCr2O4-TiO2MgCr2O4-TiO2系陶瓷湿度传感器结构如系陶瓷湿度传感器结构如系陶瓷湿度传感器结构如系陶瓷湿度传感器结构如图图图图13—4113—41（（（（a a）所示。

所示 l l③③③③陶瓷湿敏传感器的特点陶瓷湿敏传感器的特点陶瓷湿敏传感器的特点陶瓷湿敏传感器的特点l l（（（（2 2））））NiONiO陶瓷湿敏传感器陶瓷湿敏传感器陶瓷湿敏传感器陶瓷湿敏传感器l l其结构及外形如图其结构及外形如图其结构及外形如图其结构及外形如图13—4213—42所示所示所示所示 （（3））ZnO-Cr2O3陶瓷湿陶瓷湿 敏传感器敏传感器其结构如图其结构如图13—43所示 化学传感器化学传感器（三）（三） 非水分子亲和力型湿敏传感器非水分子亲和力型湿敏传感器1 1、热敏电阻式湿敏传感器、热敏电阻式湿敏传感器、热敏电阻式湿敏传感器、热敏电阻式湿敏传感器l（（（（1 1）原理及绝对湿度测量）原理及绝对湿度测量）原理及绝对湿度测量）原理及绝对湿度测量l l图图图图13—4413—44（（（（a a）所示为热敏电阻）所示为热敏电阻）所示为热敏电阻）所示为热敏电阻式湿敏传感器的桥路，热敏电阻式湿敏传感器的桥路，热敏电阻式湿敏传感器的桥路，热敏电阻式湿敏传感器的桥路，热敏电阻R1R1、、、、R2R2是电桥的两个臂电源是电桥的两个臂电源是电桥的两个臂电源是电桥的两个臂。

电源E E所供电流的焦尔热使处于工作状所供电流的焦尔热使处于工作状所供电流的焦尔热使处于工作状所供电流的焦尔热使处于工作状态的态的态的态的R1R1、、、、R2R2保持在保持在保持在保持在200200度左右的度左右的度左右的度左右的温度R1R1、、、、R2R2的组装结构如图示的组装结构如图示的组装结构如图示的组装结构如图示13—4413—44（（（（b b） l（（（（2 2）性能与特点）性能与特点）性能与特点）性能与特点l l①①①①热敏电阻式湿敏感器的输出热敏电阻式湿敏感器的输出热敏电阻式湿敏感器的输出热敏电阻式湿敏感器的输出电压与绝对湿度成正比电压与绝对湿度成正比电压与绝对湿度成正比电压与绝对湿度成正比l l②②②②传感器不用湿敏功能材料，传感器不用湿敏功能材料，传感器不用湿敏功能材料，传感器不用湿敏功能材料，因而不存在滞后误差因而不存在滞后误差因而不存在滞后误差因而不存在滞后误差l l③③③③从理论上看，传感器的测湿从理论上看，传感器的测湿从理论上看，传感器的测湿从理论上看，传感器的测湿响应速度应该是极其迅速的响应速度应该是极其迅速的响应速度应该是极其迅速的响应速度应该是极其迅速的。

l l④④④④很难在较宽的范围内将电桥很难在较宽的范围内将电桥很难在较宽的范围内将电桥很难在较宽的范围内将电桥调平衡，从而导致湿敏传感器调平衡，从而导致湿敏传感器调平衡，从而导致湿敏传感器调平衡，从而导致湿敏传感器成本较高成本较高成本较高成本较高 化学传感器化学传感器l l2 2、红外线吸收式湿敏传感器、红外线吸收式湿敏传感器、红外线吸收式湿敏传感器、红外线吸收式湿敏传感器l l水蒸汽可以吸收某波长的红外线，利水蒸汽可以吸收某波长的红外线，利水蒸汽可以吸收某波长的红外线，利水蒸汽可以吸收某波长的红外线，利用这个现象能够制成红外吸收式湿敏用这个现象能够制成红外吸收式湿敏用这个现象能够制成红外吸收式湿敏用这个现象能够制成红外吸收式湿敏传感器 l l图图图图13—4713—47为红外线吸收式湿敏传感器为红外线吸收式湿敏传感器为红外线吸收式湿敏传感器为红外线吸收式湿敏传感器的原理图，从光源发出的红外光经调的原理图，从光源发出的红外光经调的原理图，从光源发出的红外光经调的原理图，从光源发出的红外光经调制器调制后入射至待测空气，光束穿制器调制后入射至待测空气，光束穿制器调制后入射至待测空气，光束穿制器调制后入射至待测空气，光束穿过待测空气后被光敏元件接收。

过待测空气后被光敏元件接收过待测空气后被光敏元件接收过待测空气后被光敏元件接收l l l3 3、超声波式湿敏传感器、超声波式湿敏传感器、超声波式湿敏传感器、超声波式湿敏传感器l l用图用图用图用图13—4813—48所示方法可以测得空气所示方法可以测得空气所示方法可以测得空气所示方法可以测得空气绝对湿度，经变换可测出相对湿度绝对湿度，经变换可测出相对湿度绝对湿度，经变换可测出相对湿度绝对湿度，经变换可测出相对湿度l l传感器的基本结构是在对置的超声传感器的基本结构是在对置的超声传感器的基本结构是在对置的超声传感器的基本结构是在对置的超声波换能器之间加设一个温度传感器波换能器之间加设一个温度传感器波换能器之间加设一个温度传感器波换能器之间加设一个温度传感器超声波换能器之一发送超声波（图超声波换能器之一发送超声波（图超声波换能器之一发送超声波（图超声波换能器之一发送超声波（图中未画），另一只则接收超声波中未画），另一只则接收超声波中未画），另一只则接收超声波中未画），另一只则接收超声波（即图中的超声波换能器）即图中的超声波换能器）即图中的超声波换能器）即图中的超声波换能器） 4、微波水分传感器、微波水分传感器微波水分传感器是利用微波在水蒸汽的空气中传播，微波水分传感器是利用微波在水蒸汽的空气中传播，水汽吸收微波使其产生损耗而制成的。

水汽吸收微波使其产生损耗而制成的 其工作原理示意图于图13—49 化学传感器化学传感器（四）（四） 湿敏传感器的应用湿敏传感器的应用 1 1、电容式谷物水分测试仪、电容式谷物水分测试仪、电容式谷物水分测试仪、电容式谷物水分测试仪l l谷物水分测试谷物水分测试仪采用筒式电仪采用筒式电容水分传感器，容水分传感器，将谷物装入传将谷物装入传感器筒内，其感器筒内，其介电常数随谷介电常数随谷物水分含量不物水分含量不同而不同测同而不同测试仪的框图如试仪的框图如图图13—13—5050（（a a），其），其原理电路图如原理电路图如图图13—13—5050（（b b）所示 化学传感器化学传感器l 2 2、湿度检测器、湿度检测器、湿度检测器、湿度检测器l l图图图图13—5113—51是湿度检测器电路是湿度检测器电路是湿度检测器电路是湿度检测器电路图，其中图，其中图，其中图，其中CHCH为电容式湿度传为电容式湿度传为电容式湿度传为电容式湿度传感器由555555时基电路、湿敏时基电路、湿敏时基电路、湿敏时基电路、湿敏传感器传感器传感器传感器CHCH等组成的多谐振荡等组成的多谐振荡等组成的多谐振荡等组成的多谐振荡器的输出端接有电容器器的输出端接有电容器器的输出端接有电容器器的输出端接有电容器C2C2，，，，它将它将它将它将3 3端输出的方波信号变为端输出的方波信号变为端输出的方波信号变为端输出的方波信号变为三角波。

三角波 l l 3 3、花盆缺水指示器、花盆缺水指示器、花盆缺水指示器、花盆缺水指示器l l图图图图13—5213—52是花盆缺水指示器电是花盆缺水指示器电是花盆缺水指示器电是花盆缺水指示器电路，埋在盆中的两个电极组成路，埋在盆中的两个电极组成路，埋在盆中的两个电极组成路，埋在盆中的两个电极组成湿敏传感器，当盆中土壤缺水湿敏传感器，当盆中土壤缺水湿敏传感器，当盆中土壤缺水湿敏传感器，当盆中土壤缺水时，土壤的电阻率增大很多，时，土壤的电阻率增大很多，时，土壤的电阻率增大很多，时，土壤的电阻率增大很多，这时两电极之间的电阻值很大，这时两电极之间的电阻值很大，这时两电极之间的电阻值很大，这时两电极之间的电阻值很大，致使场效应管致使场效应管致使场效应管致使场效应管T1T1截止，三极管截止，三极管截止，三极管截止，三极管T2T2导通，电阻导通，电阻导通，电阻导通，电阻R4R4上产生较大上产生较大上产生较大上产生较大的电压降，使的电压降，使的电压降，使的电压降，使555555时基电路组时基电路组时基电路组时基电路组成的振荡器开始工作成的振荡器开始工作成的振荡器开始工作成的振荡器开始工作。

化学传感器化学传感器l4 4、汽车后窗玻璃、汽车后窗玻璃、汽车后窗玻璃、汽车后窗玻璃l 自动去湿装置自动去湿装置自动去湿装置自动去湿装置l玻璃自动去湿装置结构及原玻璃自动去湿装置结构及原玻璃自动去湿装置结构及原玻璃自动去湿装置结构及原理如图理如图理如图理如图13—5313—53所示RLRL为嵌为嵌为嵌为嵌入玻璃的加热电阻丝；入玻璃的加热电阻丝；入玻璃的加热电阻丝；入玻璃的加热电阻丝；RHRH为为为为设置在后窗玻璃上的湿敏传设置在后窗玻璃上的湿敏传设置在后窗玻璃上的湿敏传设置在后窗玻璃上的湿敏传感器；感器；感器；感器； l 5 5、高湿显示器、高湿显示器、高湿显示器、高湿显示器l l图图图图13—5413—54是由是由是由是由MSO1—AMSO1—A型湿型湿型湿型湿敏电阻构成的高湿度显示电敏电阻构成的高湿度显示电敏电阻构成的高湿度显示电敏电阻构成的高湿度显示电路它能在环境相对湿度过路它能在环境相对湿度过路它能在环境相对湿度过路它能在环境相对湿度过高时做出显示，告知人们采高时做出显示，告知人们采高时做出显示，告知人们采高时做出显示，告知人们采取相应排湿措施。

当环境湿取相应排湿措施当环境湿取相应排湿措施当环境湿取相应排湿措施当环境湿度在度在度在度在20%20%∽∽∽∽90%RH90%RH变化时，变化时，变化时，变化时，湿敏电阻值在几十欧至几百湿敏电阻值在几十欧至几百湿敏电阻值在几十欧至几百湿敏电阻值在几十欧至几百欧范围内改变欧范围内改变欧范围内改变欧范围内改变 化学传感器化学传感器6、仓储湿度控制电路、仓储湿度控制电路l图图13—5513—55是仓诸湿度控制电路原理图其中是仓诸湿度控制电路原理图其中CHCH为湿度为湿度传感器，其电容随着环境相对湿度的增高而成比例地增传感器，其电容随着环境相对湿度的增高而成比例地增大由IC1aIC1a构成振荡频率为构成振荡频率为1KHz1KHz的多谐振荡器，其输的多谐振荡器，其输出下沿脉冲触发出下沿脉冲触发IC1bIC1b构成单稳态电路，单稳输出脉冲的构成单稳态电路，单稳输出脉冲的宽度正比于相对湿度宽度正比于相对湿度 化学传感器化学传感器l l7 7、简易秧棚湿度指示器、简易秧棚湿度指示器、简易秧棚湿度指示器、简易秧棚湿度指示器l l原理电路如图原理电路如图原理电路如图原理电路如图13—5613—56所所所所示，指示器的感湿部分示，指示器的感湿部分示，指示器的感湿部分示，指示器的感湿部分由湿敏电阻由湿敏电阻由湿敏电阻由湿敏电阻RHRH、电位器、电位器、电位器、电位器RWRW和固定电阻和固定电阻和固定电阻和固定电阻R1R1、、、、R2R2组成测湿电桥。

组成测湿电桥组成测湿电桥组成测湿电桥 l l8 8、雏房湿度控制器、雏房湿度控制器、雏房湿度控制器、雏房湿度控制器l l图示图示图示图示13—5713—57是雏房控是雏房控是雏房控是雏房控制器的电路原理图其制器的电路原理图其制器的电路原理图其制器的电路原理图其中湿敏传感器采用中湿敏传感器采用中湿敏传感器采用中湿敏传感器采用MSO1—BMSO1—B型湿敏电阻型湿敏电阻型湿敏电阻型湿敏电阻RHRH，它的电阻值随相，它的电阻值随相，它的电阻值随相，它的电阻值随相对湿度的变化而改变对湿度的变化而改变对湿度的变化而改变对湿度的变化而改变 化学传感器化学传感器四、四、四、四、 电化学传感器电化学传感器电化学传感器电化学传感器 l l 1 1、结构原理、结构原理、结构原理、结构原理l l传感器的结构如图传感器的结构如图13—5813—58所示它是所示它是由电解池、垫圈、由电解池、垫圈、吹管、参比电极及吹管、参比电极及波纹管吹气装置组波纹管吹气装置组成的l l 2 2、主要部件、主要部件、主要部件、主要部件l l（（（（1 1）实现电位测量的关键部件）实现电位测量的关键部件）实现电位测量的关键部件）实现电位测量的关键部件——参比电极是用一根清参比电极是用一根清参比电极是用一根清参比电极是用一根清洁的纯银丝制成。

当银丝和含有酸性氯化物的电解溶液洁的纯银丝制成当银丝和含有酸性氯化物的电解溶液洁的纯银丝制成当银丝和含有酸性氯化物的电解溶液洁的纯银丝制成当银丝和含有酸性氯化物的电解溶液接触时，在银丝上就会形成氯化银膜，即在测量过程中，接触时，在银丝上就会形成氯化银膜，即在测量过程中，接触时，在银丝上就会形成氯化银膜，即在测量过程中，接触时，在银丝上就会形成氯化银膜，即在测量过程中，氯化银膜会自动形成氯化银膜会自动形成氯化银膜会自动形成氯化银膜会自动形成l l对使用条件提出以下要求：对使用条件提出以下要求：对使用条件提出以下要求：对使用条件提出以下要求： l l①①应保证形成令人满意的氯化银膜应保证形成令人满意的氯化银膜 l l②②镍镀层的电化学电位易受镍镀层的电化学电位易受SOSO2 2和和S S离子的影响，因此，离子的影响，因此，必须注意避免使用含活泼硫化物的电解液（如必须注意避免使用含活泼硫化物的电解液（如NaSCNNaSCN），），以防电极表面被以防电极表面被“ “毒化毒化” ” l l③③为避免电流流过参比电极，应对电压表及检测电路的为避免电流流过参比电极，应对电压表及检测电路的输入阻抗提出一定要求。

输入阻抗提出一定要求l l ④④为了避免阳极表面极化产生误反应，应对电解液进行为了避免阳极表面极化产生误反应，应对电解液进行搅拌搅拌 l l（（2 2）吹管和空气搅拌器是电位测量的辅助部件吹管和空气搅拌器是电位测量的辅助部件 l l（（3 3）对电解池（阴极）和垫圈的要求是，电解池必须）对电解池（阴极）和垫圈的要求是，电解池必须保持清洁，而且没有过多镀层金属堆积，保持清洁，而且没有过多镀层金属堆积， 化学传感器化学传感器。