【2017年整理】MSDS_NF3.doc

Page: 1 /6MSDS-Gas-14Material Safety Data Sheet / 物质安全资料表第一部分 化学品及企业标识化学品中文名称：三氟化氮（NF 3 ） 化学品俗名或商品名：三氟化氮化学品英文名称：Nitrogen Trifluoride企业名称：Air Products and Chemicals (Shanghai) Co., Ltd.地址：GSM15-2 Plot, Wai Gao Qiao Free Trade Zone, Shanghai邮编：200131电子邮件地址：-号码： 021-63609090企业应急： 0532-3889090 021-63608080技术说明书编码：X2100090生效日期：2003 年 5 月 12 日国家应急：事故应急救援（021）62533429(F) , FAX(021)62563255 , 火警 119第二部分 成分/组成信息 纯品 □ 混合物 化学品名称：三氟化氮 化学式：NF3有害物成分: NF 3 浓度：>99% CAS No.：7783-54-2第三部分 危险性概述 危险性类别：2.3 有毒气体侵入途径：吸入、眼睛或皮肤接触健康危害：急性潜在影响健康因素眼睛接触：可能引起轻微的刺激。

吸入：急性暴露会降低血液的携氧能力短期急性暴露在 NF3中会使血红素转变为高铁血红蛋白，从而使血红细胞不能运输氧气并导致青紫当短期暴露结束后，这个反应会向相反方向进行，生成血红素暴露在高浓度的 NF3中会破坏血红细胞(溶血症)由于血液中的氧气减少会引起虚弱、眩晕和混乱皮肤接触：不清楚危害多次暴露潜在健康影响：侵入路径：吸入损害器官：血液、肝脏、肾脏症状：由于血液中的氧气减少会引起虚弱、眩晕和混乱过份暴露造成的病情恶化：不清楚致癌性：未被 NTP、OSHA 及 IARC列为致癌物及潜在致癌物环境危害：温室效应气体燃爆危险： 无资料第四部分 急救措施 Page: 2 /6MSDS-Gas-14皮肤接触：不需要处理眼睛接触：通常不需要医疗处理如果有刺激发生，用水洗眼并进行辅助医务处理吸 入：将患者移到空气清新处，若已停止呼吸，采用人工呼吸，若呼吸困难，则吸氧，并迅速寻求进一步的医疗处理食 入：无意义医生须知：吸收这种化学物质会形成高铁血红蛋白如果吸收的不多，人会发青紫随着暴露的结束，血红素会自动地复原因此，中度暴露只需要休息和吸氧就可以了如果出现严重的青紫，注射亚甲基蓝(按人体体重 1mg/kg)会有帮助，维生素 B－12(1mg 肌下注射)可以加速复原。

严重暴露可能需要输液和输血第五部分 消防措施 危险特性：该气体会加强其它物质的燃烧在火焰或热量的作用下，钢瓶会剧烈排空或爆炸有害燃烧产物：氟 化 氢 和 其 它 有 毒 氟 化 物灭火方法及灭火剂： 水或二氧化碳可以帮助冷却现场，限制活性热分解产物(如：氟)的形成灭火注意事项：特殊灭火指导：从泄漏区疏散所有人如果可能且没有危险，从火场移走三 氟 化 氮 钢瓶如有可能，切断通往火场的气源用水冷却钢瓶直到火被扑灭异常火灾及爆炸危害：在火焰或热量的作用下，钢瓶会剧烈的排空和/或猛烈的爆炸大部分气瓶设计了温度升高时的泄压装置由于热量的作用气瓶内压力会升高，如果泄压装置失灵会引起钢瓶爆炸第六部分 泄漏应急处理 应急处理：撤离立即受影响的区域加强泄漏区的通风如果泄漏较大，将所有下风口的人员撤离使用合适的防护设备(SCBA)如有可能，切断气源并将泄漏的钢瓶隔离若从容器内及泄压阀或其他阀门泄漏，请与供应商联系若泄漏来自用户系统，应关掉钢瓶阀门，在修复前一定要泄压并用惰性气体吹扫消除方法：1. 指挥官应要求所属利用远端控制系统进行泄漏阻断及排气通风动作2. 若是制程设备发生泄漏，关钢瓶阀，完全地排放压力，于维修前确定使用无水惰性气体进行管线吹洗。

3. 设法关闭阀门或封住泄露处4. 如果钢瓶本体泄漏，应将钢瓶移至 Exhaust Hood处，并通知供应商由于本物质属于有毒气体，当钢瓶微泄时可以使用 ERCV，但是当钢瓶大漏时（可以听到气体喷出的噪音时）则不建议使用 ERCV处理第七部分 操作处置与储存操作注意事项：使用：在低压(>70psig)和低于 300ºF(150ºC)时，不锈钢、碳钢、镍和铜是合适的材料镍和某些镍铜合金是高压下的首选金属尽量少用非金属和高弹体如果使用高弹体，首选Teflon(PTFE)或 Kel-F由于温度升高，三氟化氮的氧化性会大大提高因此，在任何工艺中温度都不允许超过 575ºF(300ºC)系统中的任何部件都不应有油脂、油和其它污染物任何设备在使用三氟化氮之前都要用溶剂彻底清洗，之后用惰性气体吹扫干钢瓶内的压力为 Page: 3 /6MSDS-Gas-141500psig 保证气瓶在使用的全过程中为固定状态且应缓慢的打开阀门在高压下使用的阀门应与人员隔离或远程操作用一个减压调节阀或独立的控制阀安全地从气瓶内释放气体不要在管路系统中使用球阀之类的快速开关阀因为，它们会导致绝热压缩并可能引起燃烧。

在钢瓶阀的后面的管路上安装单向阀来防止气体倒流回钢瓶如果使用者在操作钢瓶阀门时有困难，不要继续使用，与供应商联系用干的介质进行纯化，如：活性碳或分子筛这样可以防止在突然遇到大量的三氟化氮时大量放热设计或使用这类系统之前请与气体公司联系，以获得帮助一定不要拉、滚动或滑动容器用合适的手推车来移动钢瓶，不要试图抓住气瓶的盖子来拎起它 使用可调节的带扳手来打开过紧或生锈的阀盖容器温度不能超过 50℃（122℉） 特殊要求：应根据美国压缩气体协会的要求储存或使用压缩气体当地的法规可能要求存储和操作时，要有特殊的设备储存注意事项：储存：在通风良好、安全且不受天气影响的地方存储钢瓶应直立摆放且应保持阀帽和输出阀的密封完好存储区域温度不可高于 125ºF(52ºC)且不应有可燃物质存储区域应远离频繁出入处和紧急出口区域内不应有盐或其他腐蚀性物质将空瓶与满瓶分开存放使用先进先出系统避免满瓶存储时间过长保留良好的记录警告：三氟化氮是氧化剂 在一定条件下会与金属和非金属物质反应并燃烧第八部分 接触控制/个体防护 第九部分 理化特性 外观与性状：无色，无嗅气体，有时浓度很低的不纯气体会有刺鼻的霉味pH值：无意义熔点（ºC）：(1atm)－340.2F(-206.8ºC) 相对密度（水=1）：1.5沸点（ºC）：（1 个大气压）＝－200.3F (-129.1ºC) 相对蒸气密度（空气=1）：2.46饱和蒸气压（kPa）：- 燃烧热（kJ/mol）：-临界温度（ºC）：-38F (-39ºC) 临界压力（MPa）：-辛醇/水分配系数的对数值：-闪点（ºC）：无意义 爆炸上限％（V/V）：无意义引燃温度（ºC）：无意义 爆炸下限％（V/V）：无意义溶解性：0.061 g/l其他理化性质：密度：0.187 lb/ft 3 (0.0030g/cm3), 70F (21ºC)最高容许浓度（CEILING）：无资料8小时时量平均容许浓度 TWA：10ppm 短时间时量平均容许浓度 STEL：15ppm监测方法：无资料工程控制：通风：应有通风和/或专用的排风，防止三氟化氮浓度高于 10ppm。

呼吸系统防护：紧急情况:当浓度大于 10ppm时需要自给式呼吸器或接有正压管路式呼吸器的面罩眼睛防护：安全眼镜或面罩身体防护：无 手防护： 当连接、松开、打开钢瓶或任何有可能接触三氟化氮的情况都要有皮手套其他防护：当搬运钢瓶时穿安全鞋，带皮手套 Page: 4 /6MSDS-Gas-14比容：5.43 ft 3/lb (0.3390m3/kg), 70F (21ºC)第十部分 稳定性和反应活性 稳定性：稳定禁配物：油、油脂、碳氢化合物、易燃物质、有机物避免接触的条件：高温，包括由绝热压缩产生的高温聚合危害：不会发生分解产物：高温下分解出非常活泼的氟它与周围的其它物质反应生成有毒的氟化物第十一部分 毒理学资料急性毒性：LC50 (吸入)：6700ppm(1 小时，大鼠)LD50 (口服)：无资料LD50 (皮肤)：无资料亚急性和慢性毒性：老鼠暴露在 1000ppm/4小时会出现高铁血红蛋白症（苍白病） 当老鼠暴露在 3000ppm/10分钟后没有观察到上述影响老鼠暴露在 100ppm/18周后其肝脏和肾脏出现了轻微至中度的病理学的变化对脾脏没有影响，血液图片没有发生变化。

通过多次检测三氟化氮是否有潜在的致诱变性，目前对它的了解如下：无论是否有代谢活性，三氟化氮都有时在细菌试验系统中(如沙门氏杆菌)表现出非常弱的致诱变反应当浓度从 0.5％(5000ppm)升高到 5%(50000ppm)的过程中，有时浓度会起相反的作用由于其致诱变性很弱，测试结果经常模棱两可(同样的样品会在不同的试验中表现出阳性或阴性)无论是否有代谢活性，将哺乳动物细胞(老鼠淋巴)暴露在 10％(100000ppm )以上的三氟化氮中进行测试，发现三氟化氮对其没有致诱变作用将老鼠通过吸入暴露在 2500ppm的三氟化氮中没有发现有诱变性刺激性：轻度致敏性：-致突变性：-致畸性：-致癌性：未被 NTP、OSHA 及 IARC列为致癌物及潜在致癌物其 他：三氟化氮不腐蚀皮肤第十二部分 生态学资料 生态毒性：无资料生物降解性：无资料生物富集或生物积累性：-非生物降解性：无资料其他有害作用：注：三氟化氮中不含有任何 1类或 2类的分解臭氧的化学物质第十三部分 废弃处置 废弃物性质：  危险废物 □ 工业固体废物 废弃处置方法： Page: 5 /6MSDS-Gas-14未用的产品/空容器：将钢瓶及未用的产品返回给供应商。

不要将未用的或剩余产品擅自处理掉运输前应确保瓶阀已关好，输出阀已装好密封并将阀盖固定好废弃注意事项： 无资料第十四部分 运输信息危险货物编号：无资料UN编号： UN2451包装标志： 、 （5.1） 包装类别：无资料包装方法：无资料运输注意事项：特殊的运输方法:钢瓶应直立在通风设施良好的卡车上进行运输,不要在人员乘坐的车厢内运输运输前应确认瓶阀已关好，输出阀盖已装好并将保护性阀盖固定好注意：压力气瓶只能由合格的压缩气体生产厂家进行重新充装擅自运输未经压力气瓶所有厂家充装或经其书面同意充装的气瓶为违法行为第十五部分 法规信息 法规信息：填写内容1、国内化学品安全管理法规 危险化学品安全管理条例（中华人民共和国国务院令　第 344 号）化学危险物品安全管理条例实施细则（化劳发[1992]677 号）工作场所安全使用化学品规定（[1996]劳部发 423 号）常用危险化学品的分类及标志（GB13690-92）为第 2.3有毒气体2、国际法规 美国联邦政府的法规：EPA－环境保护署CERCLA：Comprehensive Environmental Response, Compensation and Liability Act of 1980(40 CFR Parts 117 and 302)需报告的数量(RQ):无SARA T。