硅单晶硅生长炉技术指标1.docx

合 同 附 件（一）DRF85 硅单晶硅生长炉技术指标合同编号：第一章 设备概要1－1【 目的 】 本设备是用于生产太阳能电池级单晶硅的 CZ 型拉晶装置1－2【 概要 】 在石英坩埚内填充多晶硅原料，在炉体内抽真空并加热至熔解多晶硅原料 从旋转着的受到温度控制的熔液上方降下籽晶与旋转坩埚内的熔硅接触后， 在温度的精确控制下，通过一边旋转一边向上提拉籽晶来制造单晶硅1 — 3【硅单晶生长炉制造装置的构造】1） 主体•籽晶提升装置 •上炉体• 挡板阀（手动式）• 主炉体• 坩埚驱动机构• 炉体升降机构• 炉筒升降机构• 真空配管系统• Ar 气配管系统• 冷却水用分流排• 电器控制系统• 单相 UPS2） 可据客户要求另配的项目• 适用于 20 英寸坩埚的热场图纸• 适用于 18 英寸坩埚的热场图纸1—4【 手动 自动的定义 】• 手 动：由人手使某程序或物体运转• 自 动：由系统对条件进行判定，使某程序或物体运转 1—5【 适用规格 】设备的技术标准除满足以上要求外还须满足企业和行业的公认标准并且不 低于制造厂商现有的制造标准，同时须满足正常的单晶生产需要 第二章 使用条件（本章的内容须客户解决或做到的事项） 2— 1 【使用环境】1） 环境温度：20±5°C；2） 相对湿度：W65%（须保证没有结露情况的发生），杜绝腐蚀性气体；3） 洁 净 度：一般环境；4） 外界振源大于 10 Hz 时，振幅值应小于 0.003 mm；5）设备安装场所：主机基础承载能力要求大于10000 KG/m2,推荐屋顶高 度 8500mm （能确保上部维修空间500mm以上）8500mm =设备基础高度 1100mm +设备最大高度 6900mm +上部维修空间 500mm2- 2【支持系统】1) 电 源：交流输入：三相AC 380V 50Hz电压变动范围：342V—418V输入容量：200KVA2) 冷却水(工业纯水)水 质： 酸碱度PH=6.0_8.0硬度(CaCO )v 150 PPM3导电率v500“S/CM氯离子(Cl-)vl00PPM 硫酸根离子(SO2-)v200PPM4碳酸碱(CaCO ) 15_60PPM3流量：250L/min 300L/min水压： 1.2 kg/c ni—1.5 kg/c ni进水温度：15_25C3) Ar气流量流量： MAX 200L/min压力：4.0 kg/c i以上，并带可调减压阀4) 压缩空气压力： 7.0 kg/ci气管直径：10mm5) 主真空泵能力到达真空度： 6.7X10-2 Pa排气能力： 4200L/min口 径： 80mm6) 辅助真空泵能力到达真空度：6.7X10-2 Pa排气能力： 900 L/min口 径： KF25第三章 设备主要技术参数3- 1【产品规格】1) 硅单晶直径： 8”或6”2) 硅单晶全长：2,000mm 以下(Neck-Crown-Body-Tail)3-2【设备真空度】硅单晶的拉制环境：2.7 KPa以下空的冷炉极限真空度：3 Pa以下允许漏泄量：1Pa/10min以下3-3【设备的重量与外形尺寸】重量：炉主体：约2500kg机架：约1500kg控制柜：约200kg电源柜：约1500kg泵组：约900kg外形尺寸：2130 x 1280 x6900mm（详见外形图，另行提供） 3－4【具体单元情况】1） 籽晶驱动机构（吊线式）•部件概要 由籽晶绳、拉晶用吊线的线辊和驱动其整体转动的轴构成 通过滑线环向籽晶转动部位供电和传递信号。

• 部件规格 籽晶软轴最大行程：约 3400mm 提升速度：低速…0.2〜8mm/min:高速…$400mm/min旋转速度（CW）： 2〜30 rpm 可拉制单晶硅晶体重量： 100kg 以下 卷线辊筒： 周长 200mm密 封： 晶体旋转轴：磁性流体 籽晶提升装置卷线轴：磁性流体 观察窗：一处吊 线：材质：钨钼合金直径：约 1.8mm籽晶夹头（SEEDHOLDER）主 体：钼制 重锤： SUS316L 制籽晶炉内有效行程：阀门打开 大约 3300 mm阀门关闭 大约 2300 mm2）上炉体• 部件概要 用于收纳拉制好的晶体，由炉顶部分和上炉筒构成• 部件规格 总长度： 2500 mm 内 径： 280 mm材质：内：SUS304 （采用标准304无缝钢管） 外： SUS304观察窗： 一处3） 挡板阀（圆形）• 部件概要 作为上炉体与炉盖之间的隔离部件规格构 造： 翻板式 （ 水冷式 ） 驱动方式：手动 位置开关： 两处（开、关）内 径： 260mm4） 主炉体•部件概要由炉盖、炉体、炉底盘构成可以装入 18 英吋和 20 英吋石英坩埚使 用的热场）上部（炉盖）可以随同隔离阀和上炉筒向上提升和向左旋转 下部（炉体）可独立升降和向右旋转• 部件规格高度：炉 盖 高：385 mm炉 筒：活动炉筒高度： 850mm固定炉筒高度：400mm测温口高度： 660mm两电极中心距： 436mm炉筒内径： 850mm材 质： 内： SUS316L外： SUS304L观察窗：直径监视相机：一处目测用：一处 冷却水流路分隔：螺旋形构造 冷却水排水口：炉体各部件最下部5）坩埚驱动机构• 部件概要 由坩埚旋转轴、升降轴及其他构成• 部件规格旋转速度： 2〜20rpm升降轴行程： 400mm 升降速度： 低速： 0.04〜4mm/min高速： 不小于 100mm/min手动升降功能： 有坩埚轴荷重： 200kg 以下密 封： 磁性流体伸缩式焊接波纹管（材料： SUS316L） 升降旋转传动轴：水冷双层式构造 调整机构：水平：有 对中调整机构：有限位开关： 两处（上限、下限）6） 炉体升降机构• 部件概要 使上炉筒或炉盖以上的部件进行升降及旋转动作。

• 部件规格升降驱动方式：半自动升降轴行程：三150mm旋转驱动方式：半自动旋转范围： 120°以内（向面朝设备正面时的左侧旋转）※ 在 0°（原点）及 120°（旋转后位置）位置上可以升降驱动 防止脱落机构：液压锁7） 炉筒升降机构• 部件概要使活动炉筒进行升降及旋转动作•部件规格 升降驱动方式：半自动 升降行程：三850mm 旋转驱动方式：手动旋转范围： 180° （向面朝设备正面时的右侧旋转）8） 真空配管系统• 部件概要 供设备抽真空用可设置炉内压力进行炉压自动控制• 部件规格 主真空泵的抽速： 70 L/s主真空管道的接口尺寸：（p80 mm 辅真空泵的抽速： 15L/s 辅真空管道的接口尺寸： KF25 控制 阀：气动 接口位置：下炉筒的左右两侧面（主真空泵） 上炉筒顶端（辅助真空泵）9） Ar 气配管系统 （装 MFC）• 部件概要 将气体从支持系统向设备的各部件处分配• 部件规格最大流量：200 L/min （用MFC控制Ar） 输入压力：4.0 kg/cm2以上，并带可调减压阀 端口位置：以下 3 个地方① 上炉体上部② 隔离阀后部③ 炉盖上部10） 冷却水系统• 部件概要 把支持系统的冷却水源向设备的各部件分配水流的装置。

装置中有温度报警检测点和流量开关• 部件规格冷却水源输入输出口尺寸： 2 英寸（详见外形图，另行提供） 流量：250L/min 〜300L/min水压：1.2 kg/c itf 〜1.5 kg/c m2 进出水压力差：lkg/c m?以上 进水温度：15〜25°C11）电器控制系统a） 加热器电源• 部件概要 供给电阻式发热器电源的部件• 部件规格 输入电压：三相 380V AC （50Hz） 加热器功率： 144 KW（DC60V 2400A） 输出控制方式： 功率控制功率控制精度： 额定直流输出±2%以内冷却水流量：不小于 35L/min水压：1.2-1.5kg/cb） 晶体直径测定系统•部件概要由直径测定监视器部件与目视测定部件（另配）构成• 部件规格IRCON 控径c） 温度测定系统• 部件概要通过辐射温度计对加热器载体的温度进行测定，并对加热部件实施控制• 部件规格重复精度： 0.1%（全量程）测定范围：700〜1700°C测定波长：0.85〜l.l“md） 操作面板• 部件概要LCD 屏、手触面板操作3－5 【 控制方式 】1）控制器构成工业触摸屏通用 PC高性能 PLC2） 工艺控制方式2.1 等径程序为全自动，等径参数控制依照晶体长度或重量，等径长度或晶 体重量有逻辑记忆功能，满足生长第二支晶体时等径参数自动连接第一支程序参 数，进入收尾程序按照晶体实际重量。

2.2 收尾程序为开环半自动程序2.3 生长记录分为文字记录和曲线记录，文字记录应将手动所做的每一项记 录在案，且将报警发出的信息记录在案，曲线记录应有实时记录功能2.4 PID控制能力：转肩后进入自动等径后晶棒直径不会出现超过2mm波动2.5 软件辅助功能：2.5.1 自动计算剩余原料坩埚位置功能2.5.2 根据晶体直径、长度自动计算晶体重量（或根据直径、重量自动计算 晶体长度）功能2.5.3 配有单相 UPS 切换控制功能（指电脑控制部分）2.5.4 取出晶体的办法通过炉体开启/升降机构将炉筒升起来后甲方：包头山晟新能源股份有限公司 乙方：江苏华盛天龙股份有限公司。