
内部漏电分析—EMMI.doc
2页分析氧化层缺陷、结漏电、闩锁和其他漏电现象等引起的失效;FA中的电学损伤定位,研究超薄氧化物的软击穿、应力引起的泄露电流、陷阱辅助隧穿等失效机理:背面分析与失效定位,解决多层布线、介质的阻挡等导致的失效定位难题;利用激光注入激发缺陷实现失效定位分析。
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