经济型气体质量流量控制器.pdf

D-27规格 精度：满量程的±1.5%，包括在15 ~ 25°C (59 ~ 77°F)以及0.7 ~ 4.2 kg/cm2 (10 ~ 60 psia)范围内的线性度；对于流量 ≥100 SLM的控制器，在0 ~ 20%量程范围 内精度为满量程的±3% 重复性：满量程的±0.5% 温度系数：满量程的0.15%/°C 压力系数：每psi (0.07 bar)为满量程的 0.01% 最大压降：50 psid 响应时间：在满量程的25 ~ 100%范围大 约5秒达到设定流速的±2%内FMA5400／5500系列电子气体质量 流量控制器可控制流速在10 SCCM 到1000 SLM范围内的多种气体的流 量FMA5400／5500利用通过加热管 进行的热传递直接测量气体质量流量， 并且无需对（规定限值以内）的气体 温度或压力变动进行补偿该产品提 供用于测量普通气体流量的经济型铝 质／铜质结构，以及用于有更高耐腐 蚀要求应用场合的316不锈钢结构不 带一体式显示屏的FMA5400系列控制 器具有0 ~ 5 Vdc和4 ~ 20 mA模拟输 出，以便进行远程监测；FMA5500系 列控制器兼具一体式3¹⁄₂位数字显示屏 和模拟输出。

显示屏可倾斜90度，查 看读数时很方便，显示屏还经过校准， 可直接显示以SCCM或SLM为单位的 氮气流速，可以通过专门订购来获得 其它气体校准FMA5400／5500质量流量控制器带有 内置式电磁阀，无论入口或出口压力 如何变化，都能保持稳定的流速设 定值可通过电位器（通过壳体上的窗 口可调整该电位器）本地控制，或者 可以通过0 ~ 5 Vdc或4 ~ 20 mA（现场 可选）模拟信号远程控制FMA5400／5500系列控制器需要使 用12 ~ 15 Vdc电源（最大电流800 mA），FMA545PW壁装插接式插座 电源可满足其要求，24 Vdc电源输入 （最大电流650 mA）可作为选件提供 电子装置具备反向极性保护，并配有 自恢复保险丝型号FMA545C （单独提供）提供了一个带2.4 m (8’) 屏蔽电缆的插接式15针“D”连接器， 可用于模拟输出信号和电源输入连 接FMA5500系列控制器的LCD通 过模块化插头与里面的电子设备相 连通过购买FMA18RC远程电缆组 件可以远程安装LCD，但是，您必须 自行制作面板安装组件以便进行LCD 的面板安装经济型气体质量 流量控制器 可选配一体式显示屏， 用于测量洁净气体最大气体压力：35 kg/cm2表压(500 psig); 1.76 kg/cm2 (25 psig)最适宜 气体和环境温度： 5 ~ 50°C (41 ~ 122°F) 泄漏完整性：对于外界环境，最大泄漏 为1 x 10-7 cc/sec氦气 接液材质：铝质型号： 阳极氧化铝、316不锈钢、铜和氟橡胶 O形圈不锈钢型号： 316不锈钢和氟橡胶O形圈 输出信号： 线性0 ~ 5 Vdc：最小负载1000 V 4 ~ 20 mA：环路电阻为50 ~ 500 V， 最大噪声±20 mV 传感器电源：12 Vdc @ 800 mA （标配）; 24 Vdc @ 650 mA（可选） 量程比：50:1 运输重量：1.8 kg (4 lb) 顺从标准：EN55011 1类，B类； EN50082-1最小压降：偏位灵敏度：具有水平流动路线，在最 大倾斜+20度时，校准不会出现变化 气体相对湿度：0 ~ 70% RH不带显示屏的FMA5402ST质量 流量控制器，316不锈钢壳体， 图片小于实际尺寸。

FMA5512，图片小 于实际尺寸SLM psid SLM psid最大为9 1.1 200 1010 ~ 30 3.9 500 1250 8 1000 1560 ~ 100 18.9 U NIST可溯源校准 U 无需温度或压力补偿， 即可读取和控制气体质量 流量 U 可选经济实惠的铝质结构 和耐腐蚀的316不锈钢结构 U LCD显示屏角度可调， 方便读数FMA5400系列标配D-28D* 配备3⁄4 FNPT连接口代替压合接头 配备压合接头、NIST证书和操作手册电源单独销售 指定流量范围针对入口压力20 psig、出口压力0 psig时的氮气或空气（最大流量50 SLM）， 或者针对入口压力25 psig、出口压力0 psig时的氮气或空气（流量为60 ~ 100 SLM）用来 测量其它气体时，要使用倍增系数计算流量，同时必须在现场对数字显示屏重新标定 要请求进行定制校准，请将该气体的缩略语和入口压力／出口压力作为后缀添加到型号中 校准仅在环境温度20ºC (70ºF)下进行 欲购24 Vdc电源的控制器，请将后缀“-24VDC”加到型号中（无额外费用） 欲购用氧气清洗的控制器，请将后缀“02CLEAN”添加到型号中（需付额外费用）。

订购示例：FMA5410–ARGON，满足50/0 psig、70°F要求的铝质／铜质壳体流量控制器 （不带一体式显示屏）、在50 psig入口压力、0 psig出口压力、70°F气体温度条件下针对 氩气校准，电源12 Vdc FMA5516，带显示屏的N2控制器和FMA545PW，电源如欲订购型号 型号 型号 型号 铝质／铜质壳体 不锈钢壳体 铝质／铜质壳体 不锈钢壳体 （带显示屏） （带显示屏） （不带显示屏） （不带显示屏） 最大流速FMA5502 FMA5502ST FMA5402 FMA5402ST 10 SCCMFMA5504 FMA5504ST FMA5404 FMA5404ST 20 SCCMFMA5506 FMA5506ST FMA5406 FMA5406ST 50 SCCMFMA5508 FMA5508ST FMA5408 FMA5408ST 100 SCCMFMA5510 FMA5510ST FMA5410 FMA5410ST 200 SCCMFMA5512 FMA5512ST FMA5412 FMA5412ST 500 SCCMFMA5514 FMA5514ST FMA5414 FMA5414ST 1 SLMFMA5516 FMA5516ST FMA5416 FMA5416ST 2 SLMFMA5518 FMA5518ST FMA5418 FMA5418ST 5 SLMFMA5520 FMA5520ST FMA5420 FMA5420ST 10 SLMFMA5523 FMA5523ST FMA5423 FMA5423ST 15 SLMFMA5524 FMA5524ST FMA5424 FMA5424ST 20 SLMFMA5526 FMA5526ST FMA5426 FMA5426ST 30 SLMFMA5527 FMA5527ST FMA5427 FMA5427ST 40 SLMFMA5528 FMA5528ST FMA5428 FMA5428ST 50 SLMFMA5540 FMA5540ST FMA5440 FMA5440ST 60 SLMFMA5541 FMA5541ST FMA5441 FMA5441ST 80 SLMFMA5542 FMA5542ST FMA5442 FMA5442ST 100 SLMFMA5543 FMA5543ST FMA5443 FMA5443ST 200 SLMFMA5544 FMA5544ST FMA5444 FMA5444ST 500 SLMFMA5545* FMA5545ST* FMA5445* 1827FMA5445ST* 1000 SLM型号 说明FMA545C 15针D型母连接器，2.4 m (8’)屏蔽电缆FMA545PW 提供100 ~ 240 Vac的插座式插接电源FMA545PW-220VAC 提供220 Vac的插座式插接电源，欧式插头型FMA18RC10 用于远程安装LCD的3.0 m (10’)电缆FMA18RC25 用于远程安装LCD的7.6 m (25’)电缆配件控制器 带接头的安装 连接口—— 最大流速 铺设长度 最大高度 最大宽度 压合接头10 SCCM ~ 10 SLM 16.0 (6.29) 14.2 (5.60) 2.5 (1.00) ¹⁄₄”15 ~ 50 SLM 18.3 (7.21) 15.2 (5.98) 3.2 (1.25) ¹⁄₄”60 ~ 100 SLM 18.6 (7.33) 15.2 (5.98) 3.2 (1.25) ³⁄₈”200 SLM 31.2 (12.30) 16.8 (6.60) 4.4 (1.75) ³⁄₈”500 SLM 31.5 (12.40) 19.2 (7.55) 7.6 (3.00) ¹⁄₂”1000 SLM 26.7 (10.53) 21.7 (8.56) 10.2 (4.00) ³⁄₄ FNPT外形尺寸：cm (inch)FMA5512，图片小于实际尺寸。