《短波光学》教学大纲.docx

短波光学16学时/I学分英文译名：shortwave optics任课教师：齐立红教学目的：通过本课程的学习使学生对软X射线光学的进展情况有一定的了解和 认识，并且对软X射线光学包含领域中某一方向的研究有深入的了解和认识，课程的重点是让 学生在课程进行过程中学习掌握某一研究领域最新进展的方法预备知识或先修课程要求：波动光学或者相关知识、几何光学教学方式及学时分配：课堂授课12学时、课堂讨论4学时学时教学内容教学方式2软X射线光学和极紫外辐射引论、现状与开展趋势授课2软X射线光学和极紫外辐射理论基础授课2掠入射光学的应用授课2软X射线多层膜授课2同步辐射授课2衍射光学与软X射线显微术课堂讨论2极紫外光刻授课2软X射线激光课堂讨论教学主要内容及对学生的要求:学习内容：本门课程是从软X射线与极紫外(EUV)辐射的基本特性着手, 讨论软X射线与极紫外辐射相关的许多现象和应用，并追踪这些研究 领域的最新进展要求学生理解极紫外和软X射线波段的辐射和散射 的基本理论，了解这一波段的光学主要包含的应用领域以及技术难点 内容摘要：短波光学主要包括极紫外辐射与软X射线区域极紫外区是指光子能 量从约30eV到约250eV的区域,软X射线区是指光子能量从约250eV 到约十几个千电子伏的区域。

本课程研究的即是这一范围内的光学进 展本课程从介绍软X射线与极紫外(EUV)辐射的基本特性着手，由 辐射、散射、波的传播、衍射、相干等相关的基本原理的阐述作为开 始，然后讨论与软X射线与极紫外辐射相关的许多现象和应用主要 内容包括：软X射线光学和极紫外辐射引论、现状与开展趋势；软X 射线光学和极紫外辐射理论基础；掠入射光学的应用；软X射线多层 膜的原理和应用；同步辐射；衍射光学与软X射线显微术；极紫外光 亥U；极紫外与软x射线激光考核方式：课堂讨论等平时成绩占30%, 70%为一篇调研报告或者学术论文的成 绩主要参考书目：[1]《软X射线与极紫外辐射的原理和应用》.(美)D.阿特伍德著，张杰等译.科 学出版社,2003[2]《X射线与超紫外辐射源及其计量技术》.孙景文.国防工业出版社,2001。