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全球半导体晶体生长仿真著名商业软件FEMAG介绍文档(中文).docx

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  • 卖家[上传人]:飞***
  • 文档编号:39831101
  • 上传时间:2018-05-20
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      通过模拟软件提供的功能,生产商可以提高工艺改进、优化时的目标与优先次序模拟软件所提供的虚拟实验使晶体生长商在物理实现之前设计、检验他们的生产工艺虚拟实验不但操作方便、经济实惠、而且基本上不存在任何技术限制5设计工程保温罩和反射体的形状、材质和位置 设计加热器的位置辅助加热器 / 多加热器设计保温层的选择及其设计质量控制工程热应力位错氧含量分布与控制 掺杂物发布与控制缺陷控制 ( 点缺陷和微观缺陷等 )成本控制工程能耗 气耗 原料辅料 (成本、使用寿命等等) 提高晶体生长速度的同时防止固-液界面变形过大和裂纹应用范围FEMAGSoft 公司的模拟软件应用于开发、优化以下类型的晶体生长工艺: IC 级单晶硅和光伏级晶体硅 III-V 族化合物半导体晶体材料,如 GaAs/GaP 等 锗单晶 蓝宝石、氧化物和卤化物 碳化硅FEMAG-FZ IC 级区熔法单晶硅锭内部温度预测结果FEMAG-CZ 光伏级单晶生长炉内温度场计算结果可视 化呈现FEMAG-DSS 精确的固液界面计算是对晶粒大小控制的 基础与前提FEMAG-VB VB 法砷化镓单晶生长过程的精确计算结 果。

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