中科科仪分子泵说明书.pdf
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企业通过 ISO 9001 质量管理体系认证企业通过 ISO 9001 质量管理体系认证 分子泵全系列 使用说明书 北京中科科仪技术发展有限责任公司（KYKY） ? 分子泵安全使用说明分子泵安全使用说明 在安装与使用分子泵前，泵的安装与操作人员都应仔细阅读本使用说明书，并按照说明书中规定的 条款安装与操作，以免造成人员伤害与设备损坏 ? 安全警示说明安全警示说明 危险：危险：表示为了防止危及人身安全，需要引起高度注意且必须遵守的事项； 警告：警告：表示为了防止损伤或损坏泵，需要引起中度注意且必须遵守的事项； 小心：小心：表示为了使泵的使用效果最佳，需要引起轻度注意且需要遵守的事项 ? 保修说明保修说明 凡购买我公司生产的分子泵，从发货之日起，用户凭保修单可保修一年 凡属下列情况之一的，不予保修： 1) 用户未经授权对产品私自拆卸； 2) 用户保管或使用不当（如撞击、强放射性环境、强磁场环境等） ； 3) 属于用户其他原因造成的损坏 ? 免责声明免责声明 当用户严格遵照本说明书中的规定安装和使用时，KYKY 分子泵是安全、方便和有效的 泵的操作人员必须仔细阅读并严格遵守本说明书中的条款。
由于用户没有仔细阅读说明书、或未按 照使用说明书的要求操作而造成的任何伤害和损失，KYKY 将不负担任何责任 本说明书仅作为信息使用，如遇改版，恕不另行通知如本说明书与实际产品有所出入，本公司拥有 最终解释权由本说明书引起、产生和包含的知识产权均属 本说明书仅作为信息使用，如遇改版，恕不另行通知如本说明书与实际产品有所出入，本公司拥有 最终解释权由本说明书引起、产生和包含的知识产权均属 KYKY 所有 1 概述概述 1.1 分类与特点分类与特点 本说明书所列分子泵，按口径不同，从 100mm 到 400mm（对应抽速从 110l/s 到 3500l/s）共 5 个系 列，12 种泵 分子泵一般有两种结构形式，一种是由动静叶列组成的涡轮分子泵，一种是由涡轮级加牵引级构成 的复合型分子泵复合型分子泵的特点是使得分子泵高压强区的抽速有所提高，另一特点是使得出口耐 压得到提高，因此可以适当减小前级泵的规格，可使用户节省投资根据分子泵轴承润滑方式不同，分 子泵有油润滑、脂润滑两种一般情况下，油润滑分子泵需竖直安装（F-100/110 可以水平安装） ，脂润 滑分子泵可以任意角度安装 1.2 主要用途及应用领域主要用途及应用领域 分子泵是用于对一个封闭的真空腔在分子流及接近分子流区域内抽真空，不使用冷阱或挡板，也可 以得到一个较高的真空。
它广泛的应用于表面分析、加速器技术、等离子体技术、电真空器件的制造以 及真空技术的各个领域 北京中科科仪技术发展有限责任公司（KYKY） 1.3 型号组成及含意型号组成及含意 -□/□□ 特征代号 2 额定抽速（l/s） 高真空接口口径 特征代号 1 说明： 特征代号 1： “F”，表示涡轮分子泵； “FF”，表示复合分子泵 特征代号 2： “F”，表示可以采用风冷的泵，区别于水冷； “N”，表示耐腐蚀泵； “C”等其他字母，表示产品或性能的改进 相关性能参见各系列的技术说明 1.4 工作条件工作条件 分子泵只在分子流区域（涡轮泵、复合泵）或接近于分子流区域（复合泵）有抽速（涡轮分子泵连 续工作入口压强要求小于等于 1Pa，复合分子泵连续工作入口压强要求小于等于 5Pa） ，且要求前级排气 口压强保持在 10Pa 以下，因此必须配置合理的前级泵，并使用与之相匹配的 KYKY 分子泵控制器 图 1-1 分子泵的应用（真空系统原理图） 北京中科科仪技术发展有限责任公司（KYKY） 1.5 装箱单装箱单 在打开包装箱后，请仔细核对箱内分子泵及其附件 表 1-1 装箱单 序 号 名 称 单位 数 量备 注 1 分子泵 台 1 2 防护网 个 1 3 使用说明书 份 1 4 检验合格证 份 1 5 保修卡 份 1 6 CF 铜垫圈 个 2 CF 接口专用 7 保护气体接口 KF16 盲板、卡箍 套 1 耐腐蚀泵专用 8 分子泵润滑油 瓶 1 油润滑泵专用 9 O 圈支架（包括 O 圈） 套 1 LF 接口专用 3 100 系列、160 系列、200 系列 中 LF 接口分子泵 6 250 系列 10 卡钳（LF 专用） 个 9 400 系列 1.6 配件配件 选购配件是指安装分子泵时，在需要的情况下需由用户另外购买的配件： 表 1-2 选购配件表 序号 名称 单位 规格 数量备注 100 系列 160 系列 1* 分子泵泵 体加热器 套 1 200 系列 100 系列中 CF100 高真空接口 M85516 160 系列中 CF150 高真空接口 2 螺栓、螺 母、垫圈 套 M86024 200 系列中 CF200 高真空接口 ﹡在需要的情况下是指：要获得超高及以上真空，泵壳必须烘烤的情况等。
北京中科科仪技术发展有限责任公司（KYKY） 2 技术说明技术说明 2.1 100 系列涡轮分子泵技术说明系列涡轮分子泵技术说明 100 系列涡轮分子泵包括 F-100/110、F-100/150 两种 表 2-1 100 系列涡轮分子泵技术参数表 型号 F-100/110 F-100/150 抽气速率（l/s） 110 150 压缩比 N2：10 8； H 2：510 2 ≤610 -6 (DN100 LF) 极限压强（Pa） ≤610 -8①；≤610-7②(DN100 CF) 排气口法兰 KF25(DN25 ISO-KF) 进气口法兰 LF100(DN100 ISO-K)、CF100 轴承 普通轴承 额定转速（rpm） 42300 启动时间（min） ＜2 振动值（(μm)） ≤0.1 建议前级泵（l/s） 2 充油量(ml) 26 安装方式 垂直或水平 冷却方式 环境温度 5—32℃时，风冷；5—40℃时，水冷； 冷却水温度（℃） ≤25 泵体烘烤温度（℃）≤100 环境温度（℃） 5—40 重量（kg） 8 ① 此极限为前级泵采用二级旋片泵加扩散泵或涡轮分子泵得出；②此极限为水冷条件下的测试结果。
图 2-1 F-100/110安装简图 图 2-2 F-100/150安装简图 北京中科科仪技术发展有限责任公司（KYKY） 2.2 160 系列复合分子泵技术说明系列复合分子泵技术说明 160 系列复合分子泵包括 FF-160/500F、FF-160/620C、FF-160/620CN、FF-160/700 四种泵 表 2-2 160 系列复合分子泵技术参数表 型号 FF-160/500F FF-160/620CN ③ FF-160/620C FF-160/700 抽气速率（l/s） 500 600 700 压缩比 N2：10 9；H 2：610 3 N2：10 9；H 2：610 4 N2：10 9；H 2：610 6 ≤610 -6 (DN160 LF) ≤610 -7 (DN160 LF) 极限压强（Pa） ≤610 -8①；≤610-7② (DN160 CF) ≤610 -8① (DN160 CF) 额定转速（rpm） 24000 27000 36000 启动时间（min） ＜5 ＜6 ＜4 轴承 普通轴承 陶瓷轴承（耐腐蚀泵需通保护气体） 排气口法兰 KF40(DN40 ISO-KF) 进气口法兰 LF160(DN160 ISO-K)、CF160 振动值（(μm)） ≤0.1 建议前级泵（l/s）4-8 冷却水温度（℃）≤25 泵体烘烤温度（℃）≤100 环境温度（℃） 5-40℃( FF-160/500F 可在 5-32℃时风冷) 充油量(ml) 150 脂润滑 安装方式 竖直5 任意角度 重量（kg） 29 19 ① 此极限为前级泵采用二级旋片泵加扩散泵或涡轮分子泵得出；此极限为水冷条件下的测试结果； ② 此极限为水冷条件下的测试结果； ③ 动静叶片做耐腐蚀处理、润滑油采用耐腐蚀润滑油。
北京中科科仪技术发展有限责任公司（KYKY） 图 2-3 FF-160/500F 安装简图 图 2-4 FF-160/620C 安装简图 图 2-5 FF-160/620CN 安装简图 3- 图 2-6 FF-160/700 安装简图 北京中科科仪技术发展有限责任公司（KYKY） 2.3 200 系列复合分子泵技术说明系列复合分子泵技术说明 200 系列复合分子泵包括：FF-200/1200C、FF-200/1300 两种泵 表 2-3 200 系列复合分子泵技术参数表 型号 FF-200/1200C FF-200/1300 抽气速率（l/s） 1200 1300 压缩比 N2：10 9；H 2：610 3 ≤110 -6 （DN200 LF） ≤610 -6 （DN200 LF） 极限压强（Pa） ≤110 -7（DN200 CF） ≤610 -8①； ≤610-7② （DN200 CF） 额定转速（rpm） 27000 24000 启动时间（min） ＜6 轴承 陶瓷轴承 排气口法兰 KF40(DN40 ISO-KF) 进气口法兰 LF200(DN200 ISO-K)、CF200 振动值（(μm)） ≤0.1 建议前级泵（l/s） 15 冷却水温度（℃） ≤25 泵体烘烤温度（℃）≤100 环境温度（℃） 5-40 充油量(ml) 150 脂润滑 安装方式 竖直5 任意角度 重量（kg） 39 29 ① 此极限为前级泵采用二级旋片泵加扩散泵或涡轮分子泵得出；②此极限为水冷条件下的测试结果； 北京中科科仪技术发展有限责任公司（KYKY） 图 2-7 FF-200/1200C安装简图 3-3-孔孔M820 M820 图 2-8 FF-200/1300安 装 简 图 2.4 250 系列分子泵技术说明系列分子泵技术说明 250 系列分子泵包括 F-250/1500、FF-250/1600、FF-250/1800 三种。
表 2-4 250 系列分子泵技术参数表 型号 F-250/1500 FF-250/1600 FF-250/1800 ① 抽气速率（l/s） 1500 1600 1800 压缩比 N2：10 8；H 2：510 3 极限压强(Pa) ≤610 -6 ≤110-6 额定转速（rpm） 21000 27000 启动时间（min） ＜8 轴承 普通轴承 陶瓷轴承 排气口法兰 KF50(DN50 ISO-KF) KF40(DN40 ISO-KF) 进气口法兰 LF250(DN250 ISO-K) 振动值（(μm)） ≤0.1 建议前级泵 15 冷却水温度 （℃） ≤25 泵体烘烤温度 ≤100 环境温度（℃） 5-40 充油量(ml) 150 脂润滑 安装方式 竖直5 任意角度 重量（kg） 60 47 42 ①充气口：KF10(DN10 ISO-KF) 放气口Ф1 北京中科科仪技术发展有限责任公司（KYKY） 图 2-9 F-250/1500安 装 简 图 图 2-10 FF-250/1600安 装 简 图 图 2-11 FF-250/1800安 装 简 图 2.5 400 系列涡轮分子泵技术说明系列涡轮分子泵技术说明 400 系列涡轮分子泵包括 F-400/3500 涡轮分子泵。
北京中科科仪技术发展有限责任公司（KYKY） 表 2-5 400 系列涡轮分子泵技术参数表 型号 F-400/3500 抽气速率（l/s） 3500 振动值（(μm)） ≤0.5 压缩比 N2：10 8；H 2：510 2 建议前级泵（l/s）30 极限压强（Pa） ≤610 -6 冷却水温度（℃）≤25 排气口法兰 LF100(DN100 ISO-K)泵体烘烤温度（℃）≤80 进气口法兰 LF400(DN400 ISO-K)环境温度（℃。
