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扩散泵抽气系统常见的故障及其排除措时间:2010-01-08 來源:东北大学 编辑:张以忱扩散泵抽气系统常见的故障及其排除措施如下(同时参见表15):(1) 如果扩散泵抽气系统不漏气，而系统的极限压力却一直达不到预想的结 果，则可能是系统设计不合理，有效抽速低；或真空规电极放气和真空规本身受 光屯流的限制，测不出低压力2) 如果在长时间使用后，扩散泵或机组的抽气性能逐渐变坏,即极限真空 度和抽速降低，而其它情况正常，则主要是扩散泵油逐渐氧化，质量变坏这时, 应更换新扩散泵油换油步骤为：先把扩散泵卸下，取岀泵芯，按要求将泵芯清 洗烘干后正确装配并加新油3) 由于特殊原因，如真空规管炸裂，误开真空容器放气阀或未关闭高真空 阀等，使扩散泵内突然漏进大气时，应立即关闭高真空阀门，停止扩散泵加热并 强迫油锅冷却消除故障后，应作抽气试验，并根据其结果判断是否需要更换扩 散泵油4) 扩散泵经拆装接入系统后，如果系统一切均严格按前述操作程序进行抽 气的话，则应该能达到泵原极限压力；如果仔细反复调整各喷口间隙，真空度还 应有所提高如果真空度抽不上去，则首先检查该泵所在系统的漏气率是否超过 允许值；同时检查扩散泵的加热器是否烧断、供电电压是否正常、泵的冷却是否 正常。

如果上述方面一切均止常，则可认为是泵芯装配方面的问题，如装歪、喷 嘴间隙不对、泵芯在装配前未清洗干净、有机溶剂未烘干、泵油不够或装入了质 量不好的泵油及加热功率调整不正确等5) 如果扩散泵的工作一直正常，而且也不是动了系统而使某处漏气，而使 机组的抽气性能突然变坏，则可能是扩散泵电炉丝断了或保险丝断了，应及时检 查更换6) 如果前级泵工作不正常或抽气容量不够，也会使扩散泵工作不正常7) 环境温度、湿度、冷却水温度等使用条件对扩散泵的抽气性能影响也较 大例如，当环境温度过高(超过35C)时，扩散泵性能即开始降低8) 扩散泵加热功率调整得不正确，也可使扩散泵的工作状态不正常调加 热功率时，最好能找到返油率最低点的合适温度9) 油蒸气返流污染系统，也可使系统得极限压力达不到预期结果，可参照 真空技术网前文釆取措施加以改进故障表15油扩散泵抽气系统常见故障及排除方法排除方法1. 系统或扩散泵泵体漏气2. 加热器不工作3. 油温不足，没有形成有x 效射流扩散泵不4.泵出口压力过高起作用5.泵本身漏气6 •泵底烧穿7•扩散泵油呈不够关闭泵入口髙真空阀 门、进行检漏并修复检查电炉电源是否接触 良好和电炉丝是否烧断 检查加热电压和功率是 否符合规定检查前级管道有无漏气, 前级泵抽速是否符合要 求,工作是否正常查前级管道与泵体焊接处, 泵底与泵体焊接处是否漏 气,应对此二处细加检漏 更换加油到规定呈系统极限 真空度降 低1. 系统漏气，扩散泵本身 微漏2. 泵芯安装不正确3. 系统和泵内不清洁或除 气不彻底4. 泵油被污染变质5. 泵冷却不好，泵内温度 过高•引起泵油蒸汽压 增髙，致使返流呈增加6•泵油不足7.泵过热&主泵或机组抽速低9.排气工艺不合理10・测旱规管中毒查出并消除漏处 检查各级喷口位置和间 隙是否正确检查.清洗、烘干泵和系 统，系统彻底烘烤除气 泵清洗后更换泵油检查冷却水流呈和进出 水温度，保持水路晒迪、 环境通风加油至规定数呈降低加热功率并检查冷 却水流量加大主泵抽速或改善系 统通导能力抽速过低1. 泵油加热功率不足2. 扩散泵泵芯安装不正确3. 前级压力过髙，前级泵 抽速太小4. 扩散泵油变质或牌号 不对5. 扩散泵入口压力太高6. 泵入口冷阱通导能力不够7. 泵入口高真空阀没有完 全打开，气动阀气压不够&气体负荷或工艺放气计算 不准，所选的主泵抽速小1. 扩散泵顶喷嘴螺帽松 动，泵芯内结构不合理返油率过大2. 扩散泵电源电压低，加 热功率不对3. 系统操作工艺不对，扩散 泵较长时间工作在过渡 压力范围内（1〜O.lPd4. 前级泵发生故障,扩散泵 出口压力超过允许最大值5. 扩散泵水冷系统故障， 泵油被前级泵大呈抽 走，破坏泵的正常工作6. 冷阱或水冷挡板冷却失 效或冷剂呈不够检查电源电压及加热器 功率是否符合规定检查各级喷嘴有无倾斜及 间隙是否正确■调整正确 检查前级压力及抽速■如 前级泵过小，进行更换 清洗扩散泵并更换符合 规定的泵油检查扩散泵入口压力，过 髙时关髙真空阀，改用粗 抽泵抽至扩散泵允许入口 压力值.再开髙阀用扩散 泵进行抽气更换大通导冷阱检查高真空阀，调整阀 门及气压重新计算并更换符合抽 速要求的新泵 消除通孔螺帽，加挡油帽 改进结构,加挡油装置并 重调加热功率，加防爆沸 挡板,泵口加冷阱等 按正确的操作规程操 作，调整电压改进操作工艺，调整扩 散泵的工作压力系统停止工作，检修前 级泵修复水冷系统故障.加 强泵的冷却。