电子行业水处理消毒篇ppt课件.ppt

电电子行子行业业水水处处置置现行规范•美国半导体工业用纯水目的美国半导体工业用纯水目的 项 目Ⅰ级 Ⅱ级 Ⅲ级 Ⅳ级 TOC，mg/L0.020.050.100.40颗粒，粒/L500100025005000电阻率MΩ·cm 18.3 17.917.517.0细菌数，个100mL061050•我国我国电子工子工业部高部高纯水水水水质试行行规范范• 阐明：明：①①一一级高高纯水适用于大水适用于大规模集成模集成电路，路，微波器微波器• 件以及有一件以及有一样要求到半要求到半导体器件体器件产品　　　　　　②②二二级高高纯水适用于普通水适用于普通电路，分立器路，分立器件以及件以及• 有一有一样要求的半要求的半导体器件体器件产品　　　　　　③③本表按本表按19801980年年电子工子工业部部规范摘范摘录 水质项目一级高纯水指标 二级高纯水指标 细菌总数，个/mL＜3＜9微粒（直径＞0.5μm，粒/mL）＜150＜300电阻率（25℃）MΩ·cm ≥15 ≥10电导率，μs/cm 0.050.1有机物（以COD计） ＜0.3 ＜0.5 高纯水设备 高纯水水处置技术的开展史：第一阶段：预处置——>阳床——>阴床——>混合床第二阶段：预处置——>反浸透——>混合床第三阶段：预处置——>反浸透——>EDI安装•反浸透〔RO〕技术是一种利用膜分别去除水中离子的方法，虽然反浸透系统将水中95%-98%的离子去除，但还不能满足工业消费的要求，其后续工艺必需运用离子交换设备。

•近几十年以来，混合床离子交换技术不断作为纯水制备的规范工艺由于其需求周期性的再生且再生过程中运用大量的化学药品〔酸碱〕和纯水，因此已很难满足于无酸碱纯水系统•正由于传统的离子交换曾经越来越无法满足现代工业和环保的需求，于是将膜和树脂结合EDI技术成为水处置技术的一场革命其离子交换树脂的的再生运用的是电，而不再需求酸碱，因此更满足于当今世界的环保要求•自从1986年EDI 技术工业化以来，全世界已安装了近2000套EDI 系统，尤其在制药、半导体、电力和外表冲洗等工业中得到了大力的开展，同时在废水处置、饮料及微生物等领域也得到广泛运用•EDI 安装是运用在反浸透系统之后，取代离子交换树脂，具有水质稳定、运转费用低、操作管理方便、占地面积小等优点 典型工艺流程(水质符合美国ASTM规范，电子部超纯水水质规范〔18MΩ*cm，15MΩ*cm，2MΩ*cm和0.5MΩ*cm四级〕预处置－反浸透－ 水箱－阳床－阴床－混合床－纯化水箱－纯水泵－紫外线杀菌器－精制混床－精细过滤器－用水对象 预处置－一级反浸透－加药机〔PH调理〕－中间水箱－第二级反浸透〔正电荷反渗膜〕－纯化水箱－纯水泵－紫外线杀菌器－0.2或0.5µm精细过滤器－用水对象 预处置－反浸透－中间水箱－水泵－EDI安装－纯化水箱－纯水泵－紫外线杀菌器－0.2或0.5µm精细过滤器－用水对象 预处置－反浸透－中间水箱－水泵－EDI安装－纯化水箱－纯水泵－紫外线杀菌器－精制混床－0.2或0.5µm精细过滤器－用水对象 运用场所•半导体资料、器件、印刷电路板和集成电路； •超纯资料和超纯化学试剂； •实验室和中试车间 •汽车、家电外表抛光处置； •其他高科技精微产品。

•实验室用高纯水机 适用范围• 分析试剂及药品配置稀释用水• 微生物、生物发酵培育用水• 生物工程培育基用水• 总有机碳〔TOC〕分析用水• 微电子行业各种部件的清洗用水• 医用注射用水• 生理、病理、毒理学实验用• 原子发射、吸收光谱用水• 各种高效液相色谱、离子色• PCR运用及分析用水• 精细电镀用水• 大专院校、工矿企业实验室实验用水 • 生物学、电化学及介面研讨用水• 动、植物细胞培育用水• 有机物分析用水• 高精细光学镜片冲洗用水• 各种医疗用生化仪、 分析仪用水• 医学制剂用水• 试管婴儿用水• 环境、环保实验分析用水• 谱、气候色谱用水• 高分子实验用水• 胶片冲洗用水工业用高纯水设备 •反浸透+离子交换器组成的高纯水系统• 典型的工艺流程 •原水加压泵－多介质过滤器－活性炭过滤器－软水器－保安过滤器－〔一级或二级〕反浸透机－阳离子交换器－阴离子交换器－混床离子交换器－不锈钢储水罐－纯水加压泵－紫外线杀菌器－精细过滤器－用水点 •反浸透+EDI安装组成的高纯水系统• 工艺流程 •自来水加压泵－多介质过滤器－活性炭过滤器－软水器－保安过滤器－二级反浸透机－1m3不锈钢储水罐－纯水加压泵－EDI安装－不锈钢储水罐－纯水保送泵－紫外线杀菌器－精细过滤器－用水点 YRRO-ET系列电子超纯水设备  功能 脱盐率高，运转压力低的进口超低卷式复合反浸透膜，产水水质优良，运转本钱低廉，运用寿命长。

高效率，低噪音，质量优越的进口高压泵，减少能耗，降低运转噪声进口原水及产品水电导仪，PH表可随时监测水质情况进口产品水，浓水流量计可随时监测产品水量及系统回收率配置自动循环冲洗系统，以备膜污染后清洗之用快冲阀定时冲洗膜外表，降低膜污染速度，延伸运用寿命降TOC紫外线安装可有效降低TOC90%膜脱气安装可使脱气后水中溶解的氧DO小于5ppb 谢谢！。