PVD加工工艺流程（2020年12月整理）.pdf

1 PVD 加工工艺流程 一、前处理工艺: 1.来料抽检 2.电镀件过碱去油 ,清水清洗.4.过酸表 面洁化 ,清水清洗 5.丙酮+滑石粉清洗 6.擦洗. 二、上挂 三、PVD 处理工艺: 1.烘烤:80 摄食度 2.镀膜: 真空抽到 4.5- 2 帕 保持真空度 2.8- 1帕 成膜 四、出炉 五、下挂 六、全检 PVD 简介简介 1. PVD 的含义 PVD 是英文 Physical Vapor Deposition 的缩写，中文意思是“物理气相沉积”，是指在真空条件下，用物理 的方法使材料沉积在被镀工件上的薄膜制备技术 2. PVD 镀膜和 PVD 镀膜机 PVD(物理气相沉积)镀膜技术主要分为三类，真空蒸发镀膜、真空溅射镀和真空离子镀膜对应于 PVD 技 术的三个分类，相应的真空镀膜设备也就有真空蒸发镀膜机、真空溅射镀膜机和真空离子镀膜机这三种 近十多年来，真空离子镀膜技术的发展是最快的，它已经成为当今最先进的表面处理方式之一我们通常 所说的 PVD 镀膜 ，指的就是真空离子镀膜；通常所说的 PVD 镀膜机，指的也就是真空离子镀膜机。

3. PVD 镀膜技术的原理 PVD 镀膜（离子镀膜）技术，其具体原理是在真空条件下，采用低电压、大电流的电弧放电技术，利用气 体放电使靶材蒸发并使被蒸发物质与气体都发生电离，利用电场的加速作用，使被蒸发物质及其反应产物 沉积在工件上 4. PVD 镀膜膜层的特点 采用 PVD 镀膜技术镀出的膜层，具有高硬度、高耐磨性（低摩擦系数）、很好的耐腐蚀性和化学稳定性等 特点，膜层的寿命更长；同时膜层能够大幅度提高工件的外观装饰性能 5. PVD 镀膜能够镀出的膜层种类 2 PVD 镀膜技术是一种能够真正获得微米级镀层且无污染的环保型表面处理方法，它能够制备各种单一金属 膜（如铝、钛、锆、铬等),氮化物膜（TiN、ZrN、CrN、TiAlN）和碳化物膜（TiC、TiCN),以及氧化物膜（如 TiO 等) 6. PVD 镀膜膜层的厚度 PVD 镀膜膜层的厚度为微米级，厚度较薄，一般为 0.3m 5m，其中装饰镀膜膜层的厚度一般为 0.3m 1m ，因此可以在几乎不影响工件原来尺寸的情况下提高工件表面的各种物理性能和化学性能， 镀后不须再加工 7. PVD 镀膜能够镀出的膜层的颜色种类 PVD 镀膜目前能够做出的膜层的颜色有深金黄色，浅金黄色，咖啡色，古铜色，灰色，黑色，灰黑色，七 彩色等。

通过控制镀膜过程中的相关参数，可以控制镀出的颜色；镀膜结束后可以用相关的仪器对颜色进 行测量，使颜色得以量化，以确定镀出的颜色是否满足要求 8. PVD 镀膜与传统化学电镀（水电镀）的异同 PVD 镀膜与传统的化学电镀的相同点是，两者都属于表面处理的范畴，都是通过一定的方式使一种材料覆 盖在另一种材料的表面两者的不同点是：PVD 镀膜膜层与工件表面的结合力更大，膜层的硬度更高，耐 磨性和耐腐蚀性更好，膜层的性能也更稳定；PVD 镀膜不会产生有毒或有污染的物质 9. PVD 镀膜技术目前主要应用的行业 PVD 镀膜技术的应用主要分为两大类：装饰镀膜和工具镀膜装饰镀的目的主要是为了改善工件的外观装 饰性能和色泽同时使工件更耐磨耐腐蚀延长其使用寿命；这方面主要应用五金行业的各个领域，如门窗五 金、锁具、卫浴五金等行业工具镀的目的主要是为了提高工件的表面硬度和耐磨性，降低表面的摩擦系 数，提高工件的使用寿命；这方面主要应用在各种刀剪、车削刀具（如车刀、刨刀、铣刀、钻头等等）、 各种五金工具（如螺丝刀、钳子等）、各种模具等产品中 10. PVD 镀膜（离子镀膜）技术的主要特点和优势 和真空蒸发镀膜真空溅射镀膜相比较，PVD 离子镀膜具有如下优点： 1 膜层与工件表面的结合力强，更加持久和耐磨 2 离子的绕射性能好，能够镀形状复杂的工件 3 3 膜层沉积速率快，生产效率高 4 可镀膜层种类广泛 5 膜层性能稳定、安全性高（获得 FDA 认证，可植入人体） PVDPVD 清洗剂清洗剂 PVD 是指在真空条件下，采用低电 压、大电流的电弧放电技术，利用 气体放电使靶材蒸发并使被蒸发物 质与气体都发生电离，利用电场的 加速作用，使被蒸发物质及其反应 产物沉积在工件上。

PVD技术出现于二十世纪七十 年代末，制备的薄膜具有高硬度、低摩擦系数、很好的耐磨性和化学稳定性等优点PVD 工艺对 环境无不利影响， 符合现代绿色制造的发展方向 目前 PVD 涂层技术已普遍应用于硬质合金立铣 刀、钻头、阶梯钻、油孔钻、铰刀、丝锥、可转位铣刀片、异形刀具、焊接刀具等的涂层处理 PVD 在广度上的普及应用及深度上的持续发展要求其设备、工艺及清洗剂等专用物料具 有高稳定性、适应性和可靠性 作为环保型工业清洗剂的专家和引领者，山之风致力于为 PVD 提供全方位多品种的系列 清洗剂，产品涵盖 PVD 全过程 推荐推荐 PVDPVD 清洗剂清洗剂：WIN-91 WIN-92、WIN-136； WIN-91：本品是一种多功能高效水基清洗剂，含有多种表面活性剂、助剂，缓蚀剂清洗能 力强，配合超声波使用只需稀释 57使用即可，本品主要用于清洗不锈钢工件上冲压油、切 削油及抛光蜡的清洗，特别用于 PVD 前工件的精密清洗 WIN-92：本品是一种多功能高效水基清洗剂，含有多种表面活性剂、碱性助剂，渗透剂， 除油能力强可清洗各类机器及配零件上的油污、抛光蜡、指印，特别适用于 PVD 前工件的精 洗。

WIN-93：本品是采用金属表面处理技术中最新配方，根据用户需要而推出的，具有良好的 中和金属表面的碱性残留物、溶解油脂的能力，且使用方便安全，对大部份金属材料和饰面都没 有影响，是 PVD 前优良清洗中和剂，主要用于 PVD 前工件精洗中的碱性中和，使漂洗更容易， 工件表面更洁净 。