故障排除说明.pdf

No. 错误现象 解决方法 需要在 Hennecke工程师培训下完成1，检查显示测量值为 0的是哪一个模块 ，然后在路由器 KVM显示转换界面上打开这个模块的显示器 ，先进行软件重启 （关闭该模块的软件窗口 ，软件会再次自动启动 ）,如果无效就重启该故障模块电脑系统 （进入该电脑 XP关闭计算机界面重启系统 )2，如果还是无效 ，需要重启 Measuring server软件 ，关闭 Measuring server后自动重启 3，如果无效 ，先在 PLC主操作界面点击 stop停机 ，然后关闭主电源红色圆形开关 ->逆时针旋主电源开关到 Off,5秒后再顺时针旋转到 On->PLC需要重启 ->点击 Acknowledge->点击 ControllerOn->系统恢复正常 4，如果还是无效 ，需要检查该模块的 CCD（E+H模块需要检查白色控制柜 ）的状态 ，此时需要关闭所有电脑然后关闭 UPS给这些设备断电重启 如果是专业人员 ，可以直接检查该模块 CCD的电源接插口 ，并且进行热插拔重启 E+H模块的电源重启如下图所示 ，开关电源开关可以重启E+H系统 5，如果 E+H的厚度测量值在重启控制系统电源后还是异常 ，检查E+H的白色传感器里面有没有碎片 ，用压缩空气吹扫一下 ，然后再用厚度校准片校准一下 。

6, 如果故障依旧 ,需要先停掉皮带 ,然后再 E+H模块中放一张硅片 ，然后在 Measuring server中点击 ->第一行 Thickness->点击 Measuring， 察看有没有测量数据 ， 如果有数据 ， 说明设定延时1 主服务器的 Measuring server中有模块的测量值显示为 O，或者测量值异常点击 第一行 点击 ， 察看有没有测量数据 ， 如果有数据 ， 说明设定延时发生错误 ，需要在 Extra->options->station->station中间进行 Thickness的延时修改 ，Lifetime的类似故障依此类推 ，其他模块可以根据察看照片中硅片的有无和位置来判断 7, 检查 Measuring server中的 I/O signal没有信号 ，可能是白色控制柜上的数据线接触不好，断电后重新插拔一下可以解决问题 8，如果断电没有效果 ，需要在断电情况下 ，插拔检查 CAN总线等数据线的连接是否正常 如下图所示 ：E+H控制柜电源开关数据线电源线234Indexer的两个片盒在 Indexer控制面板上按 start健没有动作反应硅片全部跑入设置油污的片盒中硅片全部跑入设置崩边缺角的片盒中1，确认 Indexer上的皮带没有硅片 ，然后同时按动 Indexer控制面板上的 2个黄色 Stop健进行Indexer复位 ，注意按动之后要等待几秒钟直到 Indexer开始运动后放手 。

等复位后再按 start,恢复正常 如果一次复位没有反应 ，需要再进行 2次复位 ，等复位之后旋转 Indexer控制面板左侧的选择 1-2-3片盒 size的旋钮 ，从1旋转到 3然后再从 3旋转到 1如果无效 ，在主服务器中 ，选择 PLC->点击最上层 service->再点击下一层 service->再选择下一层 service->选择Massband->点击 Off->再点击 On,Indexer复位1，点击路由器选择 stain模块电脑 ，观察 Top和bottom两个 CCD的照片 ，察看照片是否被黑色阴影遮挡 ，大部分情况都是发生 bottom CCD出现大块阴影 ，这是由于碎硅片掉入 Bottom CCD的环形照明灯箱中 ，遮挡了镜头所致 ，只要打开 bottom CCD的环形灯箱 ，取走碎硅片或其他附着物就可以了 ，如果故障依旧 ，需要注意观察 top 和bottom的镜头有没有被物体遮挡 2，如果仍然不正常 ，先进行软件重启 （关闭该模块的软件窗口 ，软件会再次自动启动 ）,如果无效就重启该故障模块电脑系统 （进入该电脑 XP关闭计算机界面重启系统 )1，注意打开主服务器的 Measuring server软件 ->点击 AVS->点击 result，察看尺寸测量数据是否超过 recipe设置的参数 ，大多数情况下是硅锭方棒的前加工 （开方 ，磨面 ）出现了尺寸问题，导致后面测量值超出 recipe的设置公差范围 ，判定为不合格品 ，客户可以根据需要自由更改 recipe的相关参数 。

如果更改 recipe设置之后 ， 还是发现跑片异常 ， 可以重启 PLC和5671,打开 Edge模块电脑 ，显示 Visio Box->点击 A->显示 Options line camera->点击 surfacedefects->把最上方的一个复选框的勾去掉 （这个功能就是检测 Holes的，但是一般只对单晶硅片检测有效 ，多晶片有晶花 ，会容易误判 ）1,在同一台设备上跑两种片子可能会因为一种对比度设置而产生测量偏差 ，建议同一台设备只能跑一种晶体的片子 （单晶或多晶 ） 也可以使用以下方法 ：打开 Stain模块电脑 ，点击 A->显示Options line camera->点击 stain->单晶片设置 multiplication parameter为50000-80000，min. RGB-difference为6-8（这些参数的范围需要使用 100片左右不易被检测的油污片反复测试选取最佳设定值 ） 多晶片设置 multiplication parameter为10000-50000,min.RGB-difference为10-13(最佳设置方法参考单晶片设置的说明 ）多晶片被误判穿孔 holes单晶油污片无法检测 ,多晶片被误判油污1，首先 ，选择一片线痕值已知的样片 ，按照线痕方向和皮带方向垂直的方式测量 ，打开 Sawmark模块的电脑 ，察看测量值如果和已知值基本一致 ，可以排除设备的故障 。

就可以判定是前道工序的插片发生错误 ，把硅片粘胶面放到了花篮的侧面而没有放在顶部 ，导致线痕和皮带方向相同 ，而无法被测量出线痕 硅片全部跑入设置崩边缺角的片盒中线痕片无法检测出来改recipe的相关参数 如果更改 设置之后 ，还是发现跑片异常 ，可以重启 和Measuring server程序 891，可以轻轻地抓住盒子底部的黑色平板旋转到一定角度 ，使硅片落入盒子时定位稳定 1，按一下 On/Off开关 ，再按一下 On/Off后盒子复位 ，如果无效 ，在主服务器中 ，选择 PLC->点击最上层 service->再点击下一层 service->再选择下一层 service->选择 6Zylinder1或者6Zylinder2（根据盒子的位置来选择 ）->点击 Off->再点击 On,系统恢复正常 2，如果无效 ，需要打开 Sorter的底部金属护板 ,看到了一根很长的螺杆 ，松开螺杆的顶部内侧的固定螺丝 ，然后手动将螺杆旋转向上或者向下复位到正常高度 ，然后锁紧螺杆的顶部内侧的固定螺丝 3，检查盒子导轨的底部的限位开关 ，有时候偶尔会发生金属片变形 ，关闭开关导致电机无法降下 ，需要手动把金属片弯直 。

sorter的盒子中的片子歪斜sorter的盒子无法复位 （和其它盒子有明显高度差 ）101,检查跑片速度 ，在PLC主界面中 ->点击最上层 Service->点击第二层 Service->点击第三层Service->然后察看界面右上角的 Wafer distance,如果小于 0.9s，表示速度过快 ，可能会产生检测不到的问题 2，如果跑片速度正常 ，故障依旧 ，需要重新选择 Recipe菜单的菜单 （有时候 recipe会出现调用错误 ）3，如果故障依旧 ，需要重启 PLC和Measuring server软件 ，依然无效就需要重启 Server PC硅片没有被检测 ，直接流入未检测尾盒中11121，在PLC主界面点击 Stop停机 ，检查相关电机的整个传动系统有没有干涉 （比如碎片卡住 ）2，在PLC主界面点击 Stop停机 ，关闭主电源圆形开关 ，等待一段时间 ，让电机冷却后 ，然后再启动 ，可以消除步进电机失步引起的震动和停转 3，如果故障依旧 ，考虑电机力矩不足的可能 ，需要在 PLC中重新设定电机工作电流 ，PLC主界面->点击第一层 Service->点击左下角蓝色的 Indexer图标 ->左侧出现 PLC程序 ->点击 Messband->点击 Gate->点击 Item->点击 Indexe->选择驱动皮带的电机位置 ->0X6007PIC_CURRENT->选择PIC_CUR_MOVE 增加电流值 (一般在原来基础上增加 1，如果效果不好再逐步递增 ）1，重新选择 Recipe,然后再点击 Start跑片 。

2，检查 Measuring server->点击左上角的 Overview->检查所有的 Module是否都正常 ，如果都正常 ，就重启 Measuring server,然后再跑片 3，重启 PLC软件 ，点击关闭然后 PLC会自动启动 ，然后跑片 步进电机停转 ，震动重启 PLC后片子没有测量14131，检查驱动步进电机是否工作 ，方法是用手触摸电机尾部的传动轴 ，是否有旋转 ，检查齿轮皮带是否断裂 （皮带更换方法参考英文版本的 maitenance He-Wis-04 ，如果不工作 ，故障排除方法参考 （ 步进电机停转步进电机停转步进电机停转步进电机停转 ，，， ，震动 震动震动震动 ）2，如果工作 ，需要检查电机轴承头部黑色轴承箱内的固定轴承的螺丝有没有移位 ，注意电机转动轴的平面端要和固定轴承的螺丝在同一固定面上 1，检查驱动电机是否工作 ，检查皮带是否断裂 ，检查电机传动轴上的齿轮是否和周围的部件有干涉摩擦 2，参考故障排除方法参考 （ 步进电机停转步进电机停转步进电机停转步进电机停转 ，，， ，震动 震动震动震动 ）Saw mark 或E+H模块无法复位Sorter 皮带停转151617Indexer皮带停转PLC无法启动 点击 Acknowledge无反应Messband皮带停转1，检查 NVCD和Edge的2个驱动步进电机是否工作方法是用手触摸电机尾部的传动轴 ，是否有旋转，检查齿轮皮带是否断裂 （皮带更换方法参考英文版本的 maitenance He-Wis-04 ，偏心轮位置是否合适 。

NVCD和Edge的皮带更换 ，早期的设备需要检查皮带驱动齿轮的截面上是否有锁定螺丝 ，卸下来之后就可以安装皮带了 新机器的齿轮是没有螺丝的 ，通过施加压力压入安装的，取出有一定难度 ，可以用拉马小心地取出 ，注意不要导致齿轮变形2，如果不工作 ，故障排除方法参考 （ 步进电机停转步进电机停转步进电机停转步进电机停转 ，，， ，震动 震动震动震动 ）3, 可以拆解步进电机 ,重新安装弹性连接轴承和固定螺丝 ,擦干净轴承 ,可能可以防止电机的堵转 1，检查驱动电机是否工作 ，检查皮带是否断裂 ，检查电机传动轴上的齿轮是否和周围的部件有干涉摩擦 2，参考故障排除方法参考 （ 步进电机停转步进电机停转步进电机停转步进电机停转 ，，， ，震动 震动震动震动 ）1，检查电气线路2，检查红色急停开关是否都关闭 ，可能会出现开关接线故障 ，需要把接线短接 1，试跑一些片子 ，从Indexer开始全程跟踪察看片子在皮带上的运动状况 ，查找哪个部位片子发生歪斜 针对这个部位 ,检查皮带有没有被其他传动部件干涉 ， 周围传动部件有没有碎片干18 片子在皮带上跑歪发生歪斜 针对这个部位 检查皮带有没有被其他传动部件干涉 ， 周围传动部件有没有碎片干涉，机器轴向的两根皮带的弹性是否一致 （不一致的话可能造成左右带动不一致 ，发生片子歪斜，更换皮带或者左右交换皮带可能可以改善 ）， NVCD和Edge模。