第五讲激光外差干涉测长与测振2011讲义教材.ppt

1-6 激光外差干涉测长与测振韦 宏 艳光探测方法n光（强）的探测方法分为直接探测法（非相干探测）和外差探测法（相干探测）直接探测简单实用，外差探测灵敏度高，探测目标时的作用距离远n直接探测的基本原理：所谓直接探测是将待测光信号直接射入到光探测器光敏面，光探测器响应于光辐射强度而输出相应的电流或电压，探测系统可经光学天线或直接由探测器接收光信号，在其前端可经过频率滤波（如滤光片）和空间滤波（如光阑）处理接收到得光信号入射到光探测器的光敏面上n光外差探测的基本原理：外差探测技术是利用光的相干性对光所携带的信息进行探测它只有采用相干性好激光器作光源才能实现从理论上说，它能准确探测到光波振幅和频率所携带的信息，比直接探测有更大的信息容量和更低的探测极限n引言：单频激光干涉仪的光强信号及光电转换器件输出的电信号都是直流量，直流漂移是影响测量准确度的重要原因，信号处理及细分都比较困难n为了提高光学干涉测量的准确度，七十年代起有人将电通讯的外差技术移植到光干涉测量领域，发展了一种新型的光外差干涉技术n概念：光外差干涉是指两只相干光束的光波频率产生一个小的频率差，引起干涉场中干涉条纹的不断扫描，经光电探测器将干涉场中的光信号转换为电信号，由电路和计算机检出干涉场的相位差。

n特点：克服单频干涉仪的漂移问题；n 细分变得容易；n 提高了抗干扰性能激光外差干涉测试技术5-5 激光外差干涉测试技术(一) 激光外差干涉测试技术原理n外差干涉技术原理n在干涉场中，放入两个探测器，一个放在基准点(x0, y0)处，称之为基准探测器，其输出基准信号i(x0, y0, t)，另一个放在干涉场某探测点(xi, yi)处，称之为扫描探测器，输出信号为i(xi, yi, t) 将两信号相比，测出信号的过零时间差t，便可知道二者的光学位相差 由控制系统控制扫描探测器对整个干涉场扫描，就可以由控制系统控制扫描探测器对整个干涉场扫描，就可以测出干涉场各点的位相差测出干涉场各点的位相差扫描探测器（扫描探测器（x xi i, , y yi i）基准探测器（基准探测器（x x0 0, , y y0 0）（a a） t t1/1/ t ti i( (x, y, tx, y, t) )（b b）外差干涉图样和电信号外差干涉图样和电信号激光外差干涉测试技术（一）激光外差干涉测试技术原理n激光外差干涉仪的光源n外差干涉需要双频光源其频差根据需要选定n1）塞曼效应He-Ne激光器可得到12MHz的频差 2 2）双纵模）双纵模He-NeHe-Ne激光器激光器频差约频差约600MHz600MHz（较大）（较大） 3 3）光学机械移频）光学机械移频当干涉仪中的当干涉仪中的参考镜参考镜以匀速以匀速v v 沿光轴方向移动时，则沿光轴方向移动时，则垂直入射的反射光将产生的频移为垂直入射的反射光将产生的频移为 。

如果圆偏振光通过一个如果圆偏振光通过一个旋转中的半波片旋转中的半波片，则透射光将，则透射光将产生两倍于半波片旋转频率产生两倍于半波片旋转频率f f 的频移，即的频移，即 一） 激光外差干涉测试技术原理n激光外差干涉仪的光源 3 3）光学机械移频）光学机械移频在参考光路中放入一个固定的在参考光路中放入一个固定的1/41/4波片和一旋转的波片和一旋转的1/41/4波片波片，如果，如果固定固定1/41/4波片的主方向定位合适，它可以把入射的线偏振光转变为波片的主方向定位合适，它可以把入射的线偏振光转变为圆偏振光该圆偏振光两次穿过旋转的圆偏振光该圆偏振光两次穿过旋转的1/41/4波片，使其产生波片，使其产生2 2f f的频的频移圆偏振光再次穿过固定移圆偏振光再次穿过固定1/41/4波片后又恢复为线偏振光，但频率波片后又恢复为线偏振光，但频率已发生偏移已发生偏移 垂直于入射光束方向垂直于入射光束方向移动（匀速）光栅移动（匀速）光栅的方法也可以使通过光栅的方法也可以使通过光栅的第的第n n级衍射光产生的级衍射光产生的 频移，此处频移，此处f f 是光栅的空间频率，是光栅的空间频率，V V是光栅移动速度。

是光栅移动速度激光外差干涉测试技术（一） 激光外差干涉测试技术原理n激光外差干涉仪的光源 4 4）声光调制器）声光调制器 利用布拉格盒（利用布拉格盒（BraggCellBraggCell）声光调制器可以起到与移动）声光调制器可以起到与移动光栅同样的移频效果这时超声波的传播就相当于移动光光栅同样的移频效果这时超声波的传播就相当于移动光栅，其一级衍射光的频移量就等于布拉格盒的驱动频率栅，其一级衍射光的频移量就等于布拉格盒的驱动频率f f，而与光的波长无关而与光的波长无关激光外差干涉测试技术主要内容 一、双频激光外差干涉二、双频激光外差干涉的应用三、条纹小数重合法原理四、红外双线氦氖激光绝对干涉测长系统数据处理数据处理双频激光器双频激光器1/41/4波片波片准直系统准直系统可动角可动角隅棱镜隅棱镜检偏器检偏器v v探测器探测器 前置前置放大器放大器f f2 2 f f1 1f f1 1f ff f2 2f f1 1f f2 2f f1 1f f双频激光器外差干涉测长原理图双频激光器外差干涉测长原理图偏振分光镜偏振分光镜f f2 2f f1 1f f2 2（f f1 1f f）一、双频激光外差干涉仪光源: 双频He-Ne激光器在全内腔单频HeNe激光器上加上约30010-4T的轴向磁场 由于塞曼效应和频率牵引效应，使该激光器输出一束有两个不同频率的左旋和右旋圆偏振光 ，它们的频率差V约为15MHz 双频激光器1发出双频激光束 通过14波片2变成两束振动方向互相垂直的线偏振光(v1垂直于纸面，v2平行于纸面) ，一小部分被反射到检偏器5上，检偏器的透光轴与纸面成450 一部分光束透过分束镜4沿原方向射向偏振分束棱镜8。

偏振方向互相正交的线偏振光被偏振分束镜按偏振方向分光， v1被反射至参考角锥棱镜9， v2则透过8到测量角锥棱镜10 工作原理经光束扩束器3适当扩束准直后，光束被分束镜4分为两部分根据马吕斯定律，两个互相垂直的线偏振光在450方向上的投影，形成新的同向线偏振光并产生“拍”，其拍频就等于两个光频之差，即vv1v21.5MHz 由光电接收器6接收后进入交流放大器7，放大后的信号作为参考信号送给计算机 光束返回后重新通过偏振分束镜10与v1的返回光会合，经反射镜11及透光轴与纸面成450的检偏器12后也形成“拍” ，其拍频信号可表示为若测量镜以速度V运动(移动或振动)，则由于多普勒效应，从测量镜返回光束的光频发生变化，其频移 正负号由动镜移动方向决定，当动镜向偏振分束器方向移动时，v为负 拍频信号被光电13接收后，进入交流前置放大器14，最后也被送入计算机 计算机工作（1）计算机先将拍频信号v0 v 与参考信号v0进行相减处理后，就得到所需的测量信息v 设在动镜10移动的时间t内由v引起的条纹亮暗变化次数为N，则有于是（2）由v换算成L的工作由计算机通过软件自动进行，最后由显示器显示被测长度值。

优点：前置放大器可采用交流放大器，避免了用直流放大器时所遇到的棘手的直流漂移问题 交流干涉仪抗干扰性能好 测量范围大(可测大于60m的距离) 应用 ：测长外，还可用于测角、测直线度及测振等 稳频措施 ：塞曼稳频法 二、双频激光外差干涉的应用应用：车间现场进行精密计量、精密测角 为便于测量，往往将干涉仪的干涉系统作为一个部件装在被测的机床上，而把激光器、照明系统与接收系统组合成一体，装在一个箱体内，且与干涉系统远远地分开，这种结构称为遥置式结构 优点： 减少热气流的影响 有利于消除闲区误差 便于更换干涉仪的组件，以扩大应用范围，使双频干涉仪成为多功能干涉仪 双频激光器1发出的双频激光束 被双膜块组下部的偏振分束镜按偏振方向分开 其中v1光透过偏振分束镜射向角锥棱镜I v2光被反射向上，经以膜双块上部的普通反射镜反射到角锥棱镜II 工作原理分别由这两个角锥棱镜返回的光束在偏振分光镜处重新会合，然后经反射镜反射到检偏振器及光电接收器 (一)双频激光干涉仪用于精密测角 干涉系统中用一双膜块组取代测长时所用的偏振分束器，另外用一双角锥棱镜组分别作为干涉仪的测量镜和参考镜 双角锥棱镜组安故在被测物体上，当它在导轨上平移且没有摆动时，两支光路的多普勒频移v1=v2，会合后经检偏振器产生拍频，并在拍频中互相抵消，计算机无多普勒频移值出现。

如果双角锥棱镜组在移动过程中，由于导轨的直线度偏差而发生角的倾斜，则两棱镜的角点在光轴方向将产生一个相对位移量此时两路的多普勒频移v1和v2不相等，即有v=v1-v精度：应用 ：精确测量导轨的直线度和平板的平面度等 测导轨的直线度时，双膜块组被固定在适当位置，而双角锥棱镜组固定在工作台上，移动工作台即可测出以角量表示的直线度 测角最小显示值(分辨率)可达01其测角精度在100”范围内可达0.5，量程可达土1000” (二)双频激光干涉仪测量直线度(以线量表示)双频激光器发出双频激光束 通过半反射镜至渥拉斯顿偏振分束器上，正交线偏振光v1和v2被分开theta的两束线偏振光 分别射向双面反射镜的两翼并由原路返回 工作原理返回光在渥拉斯顿镜处重新会和后，经半反射镜、全反射镜反射到检偏器 两光束在检偏器后形成拍频并被光电接收器接收 （1）若双面反射镜沿z轴平移到A点，由于v1和v2所走的光程相等，所以v1=v2，拍频互相抵消，计算机显示器无多普勒频移显示 计算机工作（2）在移动过程中由于导轨的直线度偏差而使双面反射镜沿y方向下落到B点 v1光的光程较原来的减少了2AC；与此相反，v2光的光程却增加了2BD。

两者总差值等于2（AC+BD），根据这一数值，即可以算出下落量 以线量表示的导轨直线性偏差 测直线度的精度可达土15m，其分辨率为lm，最大检测距离可达3m，最大下落量可测到15mm 精度(三)双频激光干涉用于同轴度的精密测量 双频激光直线度测量仪，在长距离上测量直线度，具有很高的精度和可靠性，但是这种仪器能否用于长距离同轴度的精密测量呢？ 提出问题同轴度测量仪器应具有以下的特点 解决问题(1)能够进行间断测量 (2)测量系统对激光束的平漂和角漂具有自适应能力，光束漂移应不影响测量结果 (3)光学系统对大气扰动应具有较强的抵抗力 (4)由于同轴度测量时，定心靶必须从一个孔移到另一个孔，还要进行找正，测量所用时间较长，因而要求仪器具有较好的长时间稳定性 现有的双频激光直线度干涉仪是无法满足上述要求的 原因（1）双频激光直线度干涉仪在信号处理上采用锁相倍频计数技术，不允许信号中断，否则计数立即无效 （2）即使对信号处理系统进行了改进，也有近程死区和测量范围的矛盾，实现相位测量的一个必要条件是：在测量范围内相位的变化范围必须在之间 希望把现有的激光直线度测量仪通过参数优化改造来实现同轴度是不可能的 结论 此外，在HP5528中，采用了等光强稳频方案(塞曼稳频)，虽然光频比较稳定，但频差变化比较大，频差值也比较高，不利于相位测量。

从以上几点看、要用双频激光干涉法测量同轴度，需重新考虑双频激光干涉仪的总体方案清华大学精仪系经过多年的研究，提出了一种双频激光测量同轴度的新方案，并研制了实用型的SJD3T双频激光同轴度干涉仪 1双频激光同轴度干涉仪 双频激光头出射的正交线偏振光通过第一个渥拉斯顿棱镜W1后，彼此分开一个小角度 再通过第二个涅拉斯顿棱镜W2变成两束平行光束 经双面直角棱镜反射 工作原理依次通过W2、W1后又会合成一束光，经检偏振器P后被探测器D2接收，形成测量信号 两光束在检偏器后形成拍频并被光电接收器接收 SJD3T方案与HP5528主要区别 (1)SJD3T方案中用了两个渥拉斯顿棱镜，而HP5528方案只用一个 (2)SJD3T中反射镜用的是双面直角棱镜，而HP5528用的是两个具有一定夹角的平面反射镜 这两点区别，使得SJD3T能够既保持双频干涉仪所特有的高精度和稳定性，又解决了同轴度测量的难题 参。