用avantage软件进行峰拟合.docx

1. 全谱图分析（主要是鉴别峰）（1） 打开全谱图，选择文件类型 vgd（2） 鉴别谱峰，手动（ ） ，自动（ ， ）手动鉴别峰（ ） ，可以选择根据元素鉴别峰，也可以选择根据能量范围）选择自动分析，会自动生成标好的各个峰 是自动峰鉴别，可以选择 XPS 位置容差、俄歇位置容差等参数不论采用上面三种中的那种鉴别峰的分析，软件都会自动计算出原子百分比、面积 CPS 等参数，感觉不太有用，有些峰的面积会被计算为负的，有些峰的原子百分比会被算为 0自动鉴别谱峰，会得到不需要的结果，而手动鉴别谱峰可以根据实际情况选择性的添加谱峰3） 能量校正根据标出的 C1S 峰的能量对峰进行能量校正，可以用软件的快捷键电荷偏移，将 C1S 的能量校正为 285ev，用此软件校正的能量有误差，还可以用 origin 软件进行能量的校正在图像上点击右键，用 copy active cell，导出数据文件，后保存为 txt格式，将文件导入到 origin 软件中，对 Binging Energy 列的数据进行处理，即可达到希望的能量校正2. 单元素谱峰的分析(1).数据平滑处理：Savitzky-Golay, 高斯或傅立叶，使用工具栏中的选择傅里叶平滑处理（2）去底与峰拟合，选择 smart 去底法，根据元素的化学环境确定拟合峰的个数，对峰进行拟合。

4） 校正荷电位移，在本例中选择 Si 衬底的能量 97.8ev 作为参考能量同样采用此软件校正的能量具有误差5） 关于 counts 与 counts/s，基本上论文中出现的都是 counts，因此点击（6） 刻蚀时间的调整，在最下方的工具栏内调整，如上图7） 去掉拟合残留，点击右键，选择 Display Options,勾选 Show Residuals.（8） copy active cell，粘贴到 txt 文件中，再导入到 origin 软件内（9） 点此空格，即可全选中数据，右键 plot-line，即可画出曲线（10） 点击下图圈的键，即可实现 line 和 line+symbol 的转换。