浅谈热场设计之应用.doc

浅谈热场设计之应用我想大家都知道设计一套好的热场对单晶的品质是至关重要的，设计一套热场人家主要是往 三方面发考虑，1是能耗，二是成晶，三是品质那么怎么降低能耗呢？一：选择导热系数、反射系数高的材料（选择）；比如：采用钳材料提高反射率，采用碳碳 的结构材料來增强保温性能等；我们知道钿材料通帘最常见的是用來做热屏，它可以把石英 州關的热辐射通过反射到熔休中，减小热量的散失唯一的缺点就是钢材价格比较贵，通常 大多选择石墨材料来代替代；二同时提高生长界面的温度梯度，DT/DY（S-L）,从式中我们看出只要提高热场的纵向温度 梯度就可以提高牛长界面的温度梯度；现在的最新工艺技术就是采用了水冷套筒（国内上虞 晶盛和美国KAEYX公司都在使用这种技术），这样做的目的是提高的生长界面的温度梯度, 同时也提高的拉速实验证明，采用这种技术，平均拉速能达到1.2MM/MIN晶億生K逋車（irm/hr.}生長連輙定三：热场的结构设计对单品的品质影响很大，通常表现在杂质，少子，OTSF w 热场的排 气方式（说到这里想到了关键，热场的排气很重要，不光光是因为气体短路或排气不畅原因，I何气体的走向对带走的热量使得能耗增加，这一方面也极关重耍•）通常国内使用最多的是下 排气，但LDK是国内使用上排气热场是成功的-•家；上排气有很多好处：比如：节约能耗， 提高热场的寿命等，可以大大的降低生产成本。

通常国外有些公司采用电脑软件模拟如下图:SUMMARYCrystal rotaiion rate [ rpmf；Crucible rotation raro [rprnj:£Heater Power LeadingGlobal: TMD75 |||W|Other HcoTcn PoweGlobal: 0 |kW]RF Hester Power LeadingGlotat: 0 |kW)Required growth rate；Cakulotcd growth rate；來分析热场的设计效果，可以很直观的看到热场各方血的性能及单品心长的品质好了今夭就说到这.里，欢迎朋友们一起来讨论热场技术，谢谢人家！（司马）。