玻璃镀膜工艺规程.doc

玻 璃 镀 膜 工 艺 规 程RDBL/WJ-7.5.1-111. 概述: 本规程对镀膜玻璃的工艺控制做了具体的规定, 以确保镀膜玻璃生产的精确控制, 保证产品的质量; 2. 适用范围: 适用于镀膜玻璃的工艺控制;3. 职责: 微机岗工艺控制员主要负责, 生产技术科（工艺主管）监督执行;4. 具体操作与规则:4.1 溅射室抽真空至410-5mbar以下, 抽气时间不能少于8小时;4.2 根据靶材寿命合理安排生产批量和换靶周期, 但必须保证在靶材溅痕最深处剩余3mm前换靶, 如有临时性大批量生产任务,可根据批量调整换靶周期;4.3 检查设备各部分是否全部正常, 包括: a 真空泵系统: 运转情况、油位、油质、泵温； b 阴极冷却水系统：运转情况、水温、水压，要求水压0.4 ～0.7MPa, 水温40℃, 温控单元必须在生产前8小时启动; c 循环冷却水系统:运转情况、水温、水压，要求水压0.6～0.7MPa, 供水温度低于30℃; d 去离子水单元:运转情况、电导率，要求电导率低于15μs/cm,发现电导率超标及时进行树脂再生; e 电渗析器: 检查电流、电压、淡水出口电导率、水槽中水的电导率，要求水槽中水的电导率低于180μs/cm, 发现超标及时换水, 电导率超标禁止给去离子水单元供水; f 空压机: 运转情况、气压，要求气压在0.6～0.8MPa; g 各工作气体气瓶压力不低于1.5MPa, 供气压力为0.2-0.3MPa; h 设备任何部位不正常均不能开车生产;4.4 预溅射: 4.4.1抽气过程中的预溅射：抽气过程中的预溅射，分为两步进行，当真空度达到110-4mbar后即可进行首次预溅射。

a. 锡靶：从5KW/10A起动进行金属性溅射,只通氩气1003sccm，逐步升到35KW/70A，注意在预溅过程电压超过700V立即降低功率或电流，溅射约20分钟b. 钛靶、不锈钢靶：采用金属性溅射，功率从5KW 、20KW、 40KW 到55KW，预溅射约5分钟c. 镍铬合金：对应的阴极开200SCCM氩气，在手动点靶状态下按功率5、10、15、20KW开启，在20KW时溅射5分钟，注意观察阴极电源输出功率是否为正常的20KW左右d. 银靶：在生产调试前通氩气100，100，180SCCM，将功率按10KW，20KW逐步起动 ，在20KW做2分钟金属性溅射即可e. 硅靶：通氩气20,120,220SCCM下,将功率从1KW开始,逐渐升至8KW, 溅射5分钟，关阴极等5分钟后再从8KW启动，逐渐升至18KW,在18KW做3-5分钟,注意在预溅过程中电压不要超过700V，连续溅射时间不能超过10分钟，防止靶材脱落当真空度达到510-5mbar后即可进行第二次预溅射a. 所有靶材均采用金属性溅射，锡靶5分钟，银靶1分钟，其他靶材3-5分钟b. 锡靶：从5KW/10A起动进行反应性溅射, 锡靶对应氩气70sccm，氧气550-600sccm，逐渐调到15KW/20A溅射10分钟，再逐步升到35KW/70A，溅射10分钟。

最后再进行金属性溅射3分钟c. 关闭阴极和工作气体继续抽气4.4.2 生产前的预溅射：在生产前, 应先对靶材进行预溅射, 以使靶材进入良好的工作状态, 满足生产的需要, 预溅射应遵守以下规定:a. 锡靶：从5KW/10A起动进行反应性溅射, 锡靶对应氩气70sccm，氧气550-600sccm，逐渐调到1到35KW/70A，预溅10分钟后开始调整氧量, 找出临界点,记录翻转前的电流，在临界点加20sccm氧气进行预溅，逐渐降氧气流量至溅射电流接近上次翻转时的电流，以此氧量作为工艺点，在工艺点位置预见溅3分钟经过对我们现有设备的长期摸索，工艺点定在50010 sccm比较合适b. 其他靶材均采用金属性溅射，银靶1分钟，其余靶材3-5分钟4.4.3 生产过程中的预溅射（清靶）：生产过程中要定期对锡靶进行清靶，即对锡靶进行金属性溅射，第一次清靶在生产约48小时后进行，第二次清靶在生产约72小时后进行，以后约每生产8—16小时清一次靶；生产过程中发现锡靶放电严重、阳极电位偏高（超过25V）或靶向色差偏大等现象应立即进行清靶，一般用35KW对应300sccm的氧量溅射至阴极电压达到700V即可，清靶后要重新进行高氧气流量的反应性溅射10-15分钟，然后选择工艺点的工作，要求工艺点基本与清靶前一样。

4.5 工艺参数的设置: 预溅完成后, 停阴极, 根据生产需要输入工艺菜单, 把所有需用的工作气体开启, 进入“自动准备”状态，开阴极，即可进入样品调试；4.6 试产样片: a 将待加工玻璃中切裁3001000mm的玻璃镀成样片; b 配合质检员测试样片的透光率、反射率、色差、面电阻等指标； c 样片以上指标达到标准要求, 在质检员同意后开始生产4.7 生产:1) 生产前和生产过程中要认真巡视设备的运行状况，监视工作气体压力及流量、冷却水压力及温度、压缩空气压力、清洗水电导率、泵的运转情况等，并填写《镀膜玻璃操作日志》，如发现不合格的设备状态要及时进行处理并向主管领导报告；交接班时必须把设备情况和生产情况交接清楚、认真核实2) 镀膜过程中不得擅自改变与溅射室、阴极直接相关的设备的工作状态，如阴极冷却水温度、压力、溅射室泵群等；3) 当工作气体气瓶的压力在＜1.5mpa时要更换,并随时保证有一满瓶为备用气瓶；更换工作气体的气瓶后,应停止生产3分钟;4) 每班生产前要正常核对工艺参数存档及所对应的工程,客户名称,实现同一工程,颜色的一致性生产过程中配合质检员作好颜色偏差的微调,保持颜色的一致性。

5) 每五片玻璃记录一次镀膜过程中的最低气压、最高气压、最大电流、最高电压，发现最大电流变化超过0.3A或最高气压变化超过0.0510-3mbar以及最高电压变化超过10V, 应立即停止生产, 查明原因, 予以解决, 再重新调试样品;6) 通过检测设备监测每锅的光学指标及偏差，发现问题及时与质检员沟通7) 每种膜系的生产都必须依质检员提供的工艺菜单为基础，工艺控制员可根据颜色偏差情况对一些允许调整的工艺参数（速度、氧气流量）做微小的调整;8) 生产期间应将当时对应的生产菜单,颜色偏差记录,目标曲线记录打印出来,及时交付质检员存档,以备下次生产时参考使用9) 反应性溅射时发生金属性溅射, 应立即停止生产, 重新找工艺点进行调试;10) 生产过程中发现锡靶放电严重、阳极电位偏高（超过25V）或靶向色差偏大等现象应进行清靶; 清理后重新找工艺点，重新调试; 11) 因设备故障等原因停产较长时间，应重新找工艺点，重新调试；12) 清洗好的玻璃在等待室的等待时间不应超过10分钟；4.8 其它未提及事宜参考《镀膜机操作规程》和《镀膜机技术说明》4.9 相关文件及表格《镀膜机操作规程》、《镀膜机技术说明书》、《镀膜玻璃工艺清单》、《镀膜玻璃生产记录》、《镀膜玻璃操作日志》。