特气管道施工工艺标准.docx

For personal use only in study and research; not for commercial useQG/ZDH -T03-12-2003中国电子系统工程第二建设公司洁净厂房高纯气体管道施工工艺标准拟稿单位：总工程师办公室编制：邓顺志审核：王开源批准：侯忆二OO三年一月二十五日目录1、总则12、高纯气体的三个主要参数 13、管道材料选择24、施工程序45、图纸会审56、工程测定57、绘制管段图58、设置预制洁净房69、材料检查确认610、保护气体的供给和管理 911、管段预制 1112、现场配管施工 1313、压力试验1914、系统吹扫 2015、系统测试21附录 1 露点、含湿量、绝对湿度换算表24附录 2 洁净室及洁净区空气中悬浮粒子洁净度等级26附录3 EP/BA管自动瀛弧焊接鸨棒尺寸表271. 总则1.1 本标准适用于洁净厂房高纯气体管道配管施工1.2 气体管道的干管，应敷设在上下技术夹层或技术夹道内，当与水、电管线共架时应设在其上部1.3 当采用碳素钢支吊架、碳素钢管卡时必须是镀锌件，且不锈钢管道与其接触处应采用不产尘的非金属材料隔离1.4 高纯气体管道的设计应符合下列要求：a. 按气体流量、压力或生产工艺需要确定管径，气体管道最小管径不小于 6 6x 1mm;b. 管道系统应尽量短；c. 不应出现不易吹除的盲管、死角；d. 管道系统应设必要的吹除口和测试取样口。

1.5 气体管道穿过洁净室墙壁或楼板处的管段不应有焊缝管道与墙壁或楼板之间应采取可靠的密封措施，并用装饰板封堵1.6 可燃气体和氧气管道的末端或最高点应设放散管放散管引至室外应高出屋脊 1 米，并应有防雨、防杂物侵入的措施可燃气体和氧气管道还应符合《洁净厂房设计规范》安全技术措施的有关要求1.7 高纯气体终端过滤器应设在靠近用气点处2. 高纯气体的三个主要参数所谓高纯气体管道的洁净技术控制，主要是指气体纯度、干燥度、洁净度的控制（即三度控制） 2.1 气体纯度 指气体中杂质气氛的含量， 通常用气体纯度的百分数表示，如 %（俗称6 个 9） ，也可用杂质气氛含量的体积比ppm、 ppb 表示洁净厂房高纯气体管道系统建成的各个环节必须做到上流的合格气体 流经厂房管道系统到达用气点的气体纯度仍能满足工艺对用气纯度的要求2.2 干燥度 气体中微量水分的含量，通常以露点表示，如露点-70℃，或以含湿量 ppm 表示，如含湿量 （两者的转换见附录 1）2.3 洁净度指气体中含有污染物粒子的数量，粒径为wm的粒子的个数，pc/m 3 高纯气体管道通常使用在洁净的生产环境当中， 对应的洁净环境等级，在《洁净厂房设计规范 GB50073-200仍中，直接采用国际标准ISO14644-1（详见附录2）对高纯气体洁净度的控制，当设计未加特别注明时，施工中对洁净度的控制应与使用空间的洁净度等级保持一致，严防气体中的污染物粒子超过规定值，而造成管路系统或洁净生产空间的污染。

洁净厂房高纯气体管道的设计、 施工管理， 不同于一般工业气体管道，任何一个环节稍有失控，就可能影响输送气体的质量，从而导至无法生产出合格的产品3. 管道材料选择将高纯洁净气体输送到各用气点而不被污染，在很大程度上受管路诸多因素的影响，其中管材的选择显得十分重要3.1 用于输送高纯气体的管道应具备以下性能a. 管材的透气性要小；b. 管材内表面吸附解吸气体的作用要小；c. 内壁光滑、耐磨损；d. 有良好的抗腐蚀性能；管子外径（mm）l. (mm)图示6~>36~>48~>55e.性能稳定，含碳量低3.2 管道材料选择管道材料由设计选定，自行设计时应遵守《洁净厂房设计规范》的有 关规定a.能满足上述要求的管材，对于气体纯度在 ％以上或在空气洁净度等 级中1~6级洁净室内时，以316L内壁经电抛光的不锈钢管（E?为最佳选 择，由于施工现场条件限制，管材应在制造厂脱脂、清洗、干燥，并有双 重膜包装，对于气体纯度为 ％的洁净管道和干燥空气管道可选用内壁经机 械抛光的304不锈钢管（BA）注：316L的国内对应牌号为 00Cr17Ni12Mo2Ti304的国内对应牌号为 0Cr18Ni9b.阀门及其它附件的选择阀门及其它附件的材质应与管材选用原则一致，在采用不锈钢管材的 管路系统中，不得采用铜材质的阀门，为确保阀门及管道系统的严密性和 介质不受污染，应采用两端为焊接连接的无填料波纹管阀或隔膜阀。

对于 系统终端采用螺纹连接时，应采用 VCR卡套连接；非焊接连接的垫片，对 于氢、氧管道应采用金属垫片，其它高纯介质管道可采用聚四氟乙烯垫片， 三通、弯头应采用与管材同材质的成品，为适应公司现有自动焊头的施焊 条件，订货应注明对颈长L的要求（见下表）4.施工程序5.支吊点划线图胞期明Hi皋以下问题，为绘制管段图副牌祚" T।a.玲邺耀楠建册审计单位;一支吊架安装b.设计诜树能否满足介质纯度、干燥度、d e f.裳谓哂地制簪与其他管线打架现象 各啰T工通鱼置的确定;洁净度要求；并最终确定走向;6.墙柱的适当位置，并作出标识，以此确定管道所处位置如与建筑结构发涡枭蛇舄哥架材质的选定；生矛盾时，再与有关方面协商调整，但最终应反应到竣工图上7 .绘制管段图7.1 凡施工图已提供透视图的，可利用透视图作为管段图，无透视图时应 在施工前绘制管段图7.2 不可将几个管道系统绘制在一张图上，一个小系统，可绘制在一张图 纸上，大系统可分段绘制在几张图上，但应标出连接符号7.3 无论是利用透视图还是自绘管段图均应标注各管段直径、长度、标高和阀门、三通、法兰等的位置 ，还应分别标出预制组件的焊口（即死口） 和现场焊接的焊口（即活口）位置，并在图中顺序标出焊口号。

7.4 图中标注的各项尺寸应是现场实测的尺寸7.5 对一个系统分段予制的原则是：a. 尽可能减少现场（安装场所）焊接的焊口数，大量的焊接工作尽可能在预制间完成；b. 现场焊接的焊口应设在便于操作的位置；c. 予制组件的大小应尽可能大一些，但不可无限制的大，既要考虑预制房面积的限制，也要考虑搬运安装所经通道和门洞的限制8 . 设置预制洁净房8.1 洁净厂房内高纯气体管道的预制场所，其洁净要求应与管道安装场所的洁净度要求一致，否则将很难控制所预制的管道不受污染，因此预制房的搭建是不容忽视的管道可能安装在不同洁净等级的房间，应按安装场所的最高洁净等级的要求来搭建预制房8.2 预制房应尽可能在厂房暂不使用的房间内搭设， 当不具备这种条件时，可就近先搭设符合挡风挡雨要求的临时建筑，再在其内搭设临时洁净预制房预制房的长、宽、高应能满足预制工作的要求一般宜采用长X宽X高=7.2米X 3.6米X 2.2米的规格，用防静电厚塑料膜（以 0.3mm厚为宜）围护，采用FFU或高效过滤器及低压风机用风管连通（要有调节阀，以获得必要的室内正压） ，完成上送风、下侧四周排风的空调系统室内要有充足的照明9 . 材料检查确认本检查为在现场接收管材、零部件时，验证是否满足订货书要求而进行的外观检查和确认。

9.1 供检查的环境到货的材料应是有双层薄膜包装的洁净材料材料从接收开始，不得 受到污染a.外包装完好情况的检查，在非洁净区进行，但在折除外包装后应立 即搬入洁净厂房或预制加工洁净房内；b.内包装的开封必须在洁净室或预制加工洁净房内进行，以确保材料不受污染检查完成后，对暂不用的材料应立即重新用薄膜袋包装密封并 置于洁净区妥善保管9.2 检查对象a.管材b.管子附件（三通、弯头、变径管等）c.阀类（阀门、减压阀等）d.计器类（压力计、压力传感器、压力线圈等）e.设备类制成品（筒、箱、阀盒等）9.3 检查项目NO检查项目管材管件阀类计器类设备类、制成品1外观检查OOOOO2数量检查OOOOO3规格尺寸△△△OO4材质检查OOXXXO：全数检查△:抽查5%X：不检查9.4 外观检查和质量要求9.4.1 管路系统的管材、 阀门和所有附件， 必须严格按设计要求选购， 不得随意更改或代换9.4.2 管材到货后应置于室内精心保管，杜绝露天堆放、日晒雨淋9.4.3 到货的管材， 两端应有塑料密封帽密封严密， 无破损和脱落； 有双层塑料薄膜密封包装，不得有破损9.4.4 阀门、管件应有塑料袋密封包装，无破损。

9.4.5 管子、阀门、管件等，使用前按、 、的要求切实进行下列外观检查：a. 管子直径、壁厚符合订货要求，且壁厚均匀；b. 管子应平直、圆滑、无局部凹陷、无压入物、无刮伤、碰伤和挤压等缺陷；c. 无裂纹、缩孔、折叠、重皮和凸筋等缺陷；d. 无锈蚀、锈斑等痕迹；e. 内表面的粗糙度是否符合设计要求， 螺纹是否有损、 保护是否良好；f. 内表面是否有尘埃、油脂，确认管子是否已经净化处理；g. 内面电抛光薄壁不锈钢管的进货要有出厂合格证书和相关材质证明当进货的管材受到质疑时，应抽取各种规格的管材，在管子的任何部位，随机切下 60mm 长的管段，并沿轴向剖开，在显微镜下对照样板验证内表面的相对粗糙度Rmax 是否符合设计要求，是否与出厂文件中所标注的内容与精度相符，净化处理是否符合要求；h. 查看管子外包装和管端密封帽是否有效；i. 法兰的密封面应平整、光滑，不得有毛刺及径向沟槽，凹凸法兰应嵌合准确，凸面的高度不得小于凹梢的深度；j.非金属垫片应质地柔软、无老化及分层现象，表面不得有折损及皱 纹等缺陷；金属垫片表面不得有裂纹、凹梢、毛刺、径向划痕及锈斑等缺 陷9.5 不合格品的处置经检查若不能符合质量要求时，应予退货或经商定留作降级使用。

9.6 验收后的保管经检查验收后，在规定的仓库或现场妥善保管，材料库应是专用库房, 不得和其它物资混放，管子、管件、阀门要分类保管10 .保护气体的供给和管理10.1 气体供给装置保护气体为高纯敏气，其纯度指标不得低于管道系统要求的纯度，M 气的供给采用低温液化气容器或高压瓶装鼠气系统装置见下图（其中虚 线框内的装置，在采用液瀛时才配置）：高压气瓶Ids流量计湿分计10.2 供给管理10.2.1 在供给联箱上安装湿分计，以确认、记录气体的供给纯度10.2.2 保护气体供给开始后，保持连续通气，以确保配管内的纯度10.2.3 流量控制a.焊前吹除可参照下图选择流量和吹除时间b.焊接时的气体流量参照下图选用：小mm—51015L/minC.施二过程中，间断作业时（如夜间），仍应保持一定的通气量，可按焊接通气量的1/4通气10.3 气体供给管理记录定期植查气体供给情况:a.供^联箱：含湿量、供给压力，并记下记录时间;b.气瓶：剩余量、压力、使用情况，并记下记录时间11 .管段画制11.1 预制环境及其管理11.1.2 为11.1.1 为保持预制件的洁净度，管段预制应在预制洁净室内进行 保持预制环境的洁净度，以下各条规定应每日进行一次检查,a.。