厚薄膜混合集成电路.doc

厚薄膜混合集成电路第 1 页 共 4 页厚薄膜混合集成电路王攀（陕西国防工业职业技术学院 微电 3101 班 西安市 710300）摘要：厚薄膜集成电路在我国发展至今，几经沧桑、几起几落，从无到有、从小到大，在近四十年中，经过两代人的奋斗，现在已被广泛用于航空航天、卫星火箭、家电通讯、仪器仪表、医疗卫生、计算机汽车和电力等许多方面，已经发展成为具有相当规模的、在我国电子产业中不可缺少的一门产业关键字：厚薄膜集成电路 应用 发展趋势由半导体集成工艺与薄（厚）膜工艺结合而制成的集成电路混合集成电路是在基片上用成膜方法制作厚膜或薄膜元件及其互连线，并在同一基片上将分立的半导体芯片、单片集成电路或微型元件混合组装，再外加封装而成与分立元件电路相比，混合集成电路具有组装密度大、可靠性高、电性能好等特点相对于单片集成电路，它设计灵活，工艺方便，便于多品种小批量生产；并且元件参数范围宽、精度高、稳定性好，可以承受较高电压和较大功率制造混合集成电路常用的成膜技术有两种：网印烧结和真空制膜用前一种技术制造的膜称为厚膜，其厚度一般在 15 微米以上，用后一种技术制造的膜称为薄膜，厚度从几百到几千埃若混合集成电路的无源网路是厚膜网路，即称为厚膜混合集成电路；若是薄膜网路，则称为薄膜混合集成电路。

为了满足微波电路小型化、集成化的要求，又有微波混合集成电路这种电路按元件参数的集中和分布情况，又分为集中参数和分布参数微波混合集成电路集中参数电路在结构上与一般的厚薄膜混合集成电路相同，只是在元件尺寸精度上要求较高而分布参数电路则不同，它的无源网路不是由外观上可分辨的电子元件构成，而是全部由微带线构成对微带线的尺寸精度要求较高，所以主要用薄膜技术制造分布参数微波混合集成电路1、 厚薄膜集成电路的应用；1.1、 在航空航天方面的应用；在航空和宇航行业，厚膜混合集成电路由于其结构和设计的灵活性高可靠性耐冲击和振动抗辐射等特点，在机载通信火力控制系统导弹制导系统以及卫星和各类宇宙飞行器的通信遥感和遥测系统中获得大量应用在军工行业，厚膜电路一般用作高稳定度小体积的模块电源，厚薄膜混合集成电路第 2 页 共 4 页传感器电路，前置放大电路，功率放大电路等1.2、 在家电通讯方面的应用在彩电行业，厚膜电路一般用作功率电路和高压电路，包括开关稳压电源电路视放电路帧输出电路电压设定电路高压限制电路伴音电路和梳状滤波器电路等厚膜多层步线技术已成功用于数码显示管的译码驱动电路，透明厚膜还用于冷阴极放电型液晶型数码显示管的电极。

在通讯设备中，厚膜混合集成压控振荡器模块电源精密网络有源滤波器线路均衡器旁音抑制器话音放大器高频和中频放大器接口阻抗变换器用户接口电路中继接口电路二 /四线转换器自动增益控制器光信号收发器激光发生器微波放大器微波功率分配器微波滤波器宽带微波检波器等1.3、 在仪器仪表方面的应用；在仪器仪表及机床数控行业，厚膜混合集成电路一般用于各种传感器接口电路电荷放大器小信号放大器信号发生器信号变换器 IGBT等功率驱动器功率放大器电源变换器等1.4、 在计算机方面的应用；计 算 机 （ 全 称 ： 电 子 计 算 机 ； 英 文 ：Computer） 是 20 世 纪 最 伟 大 的 科 学 技 术 发 明 之 一 ，对 人 类 的 生 产 活 动 和 社 会 活 动 产 生 了 极 其 重 要 的影 响 ， 并 以 强 大 的 生 命 力 飞 速 发 展 它 的 应 用 领 域从 最 初 的 军 事 科 研 应 用 扩 展 到 目 前 社 会 的 各 个 领 域 ，已 形 成 规 模 巨 大 的 计 算 机 产 业 ， 带 动 了 全 球 范 围 的技 术 进 步 ， 由 此 引 发 了 深 刻 的 社 会 变 革 。

计 算 机 已遍 及 学 校 、 企 事 业 单 位 ， 进 入 寻 常 百 姓 家 ， 成 为 信 息 社 会 中 必 不 可 少 的 工 具 在计算机工业，厚膜电路一般用于集成存储器数字处理单元数据转换器电源电路打印装置中的热印字头等1.5、 在汽车方面的应用；在汽车行业，厚膜电路一般用作发电机电压调节器电子点火器和燃油喷射系统此外，厚膜技术在许多新兴的与电子技术交叉的边缘学科中也具有持续发展的潜力，有关门类有：磁学与超导膜式器件声表面波器件膜式敏感器件(热敏力敏).膜式太阳能电池集成光路等2、厚薄膜集成电路的发展趋势；厚薄膜混合集成电路第 3 页 共 4 页混合集成技术的发展趋势是：1、用多层布线和载带焊技术，对单片半导体集成电路进行组装和互连，实现二次集成，制作复杂的多功能、高密度大规模混合集成电路2、无源网路向更密集、更精密、更稳定方面发展,并且将敏感元件集成在它的无源网路中,制造出集成化的传感器3、研制大功率、高电压、耐高温的混合集成电路4、改进成膜技术，使薄膜有源器件的制造工艺实用化5、用带互连线的基片组装微型片状无引线元件、器件，以降低电子设备的价格和改善其性能厚薄膜混合集成电路第 4 页 共 4 页参考文献：【1】 百度百科···········；【2】 国防学院电子期刊········；。