chiller简介.ppt

1,Chiller简介,Chiller是一种集成电路制造中用于制冷的系统其主要用在DRY ETCH，CVD，CMP和RTP的制程中控制硅片托盘和反应腔的温度 随着半导体制造工艺的不断提升，使得制程工程师对chiller的温控精度的要求越来越高目前普遍的精度要求为+/- 0.1℃，其工作原理是用16位的A/D转换器来读写温度传感器2,Chiller的结构,一台Chiller主要包括压缩机，高压泵，散热装置和热交换器四大部件 而用于控制温度是所必需的冷却液，则要根据半导体制造要求采用去离子、电阻率高的液体，通常要求大于5Mhom这样当冷却液流经反应腔时不会使得腔内的运动的等离子产生偏转和旋涡效应3,Chiller分类,根据功能来分，Chiller 分为两类： 可制冷/制热两种模式的chiller 只制热的chiller根据生产厂家来分，可分为： MAT－意大利 NESLAB－美国等,4,两种工作模式,Chiller有两种工作模式：制冷和制热 当温度高于某个值时，A处的阀门打开，机器进行制冷； 当温度较低时，机器制热，A阀门关闭 用A/D转换器来读写温度传感器，根据温度调节制冷制热量。

5,制冷工作模式,低压气态制冷剂流经1处时被加压为高压制冷剂然后在2处被高压泵加压为液态 液态制冷剂流到4处时，由于压力突然降低，制冷剂迅速气化，由于气化是吸热过程，从而达到制冷目的 1，2两处为加压过程，制冷剂温度会上升，所以在2处加了风扇，因此系统热量是在2处通过风扇吹风到冷凝机上的方式排放到空气中的6,制热工作模式,制热模式下制冷剂在5处被加热，然后流到蒸发器里，从而达到制热的目的,7,Chiller原理图,1压缩机,2冷凝机,3过滤,,,,,,,,,制冷剂液 化,气化吸热制冷,制冷剂的循环,,,,水将冷传至设备,主设备,4蒸发器,水的循环,8,Chiller 的自动控温系统,Chiller 的温度由一个小型单片机系统控制： 首先设定一个设备要求的温度值，然后由温度传感器读入一个温度值，如果此值高于设定值，则单片机发出指令，加大制冷量，降温；如果温度低于设定值，则减小制冷量，进行升温 如果系统所需功率超出chiller极限，系统将发出报警9,Chiller参数,Stability－控温精度Cooling Capacity－冷却能力Refrigerant－制冷剂（冷媒）Temperature Range－控温范围 Power Requirements－电源需求Max Ambient Temp.－最高环境温度Pump Performance－水泵能力Unit Dimensions(mm)－规格（长宽高）Unit Weight－单机重量Condenser cooling－冷却方式（空冷or水冷）,。