常用真空单位换算表.doc

常用真空单位换算表帕托微米汞柱毫巴大气压工程大气压PaTorrμ mHgmbaratmam1 Pa17.57.510-29.869231.0197× 10-3× 10-6× 1051 Torr133.3211031.33321.315791.3595× 10-3× 10-31 μ mHg0.1333210-311.33321.315791.3595× 10-3× 10-6× 10-61 mbar1027.57.519.869231.0197× 10-1× 102× 10-4× 10-31 标准大气压 =760 毫米汞柱 =76 厘米汞柱 =1.013 × 10^5帕斯卡 =10.336 米水柱公斤不是单位，一般我们通常说的，事实上是一种非标准单位，名称叫：公斤力 / 平方厘米[Kgf/cm^2] 1 标准大气压 =0.1MPa[兆帕 ]=101KPa=[千帕 ]左右 =1bar[巴 ]=760mmHg（毫米汞柱） =14.696 磅/ 英寸 2(psi) ≈1工程大气压≈ 1Kgf/cm^2[ 千克/平力方厘米 ] 千克：是质量单位， 千克力： 是作用在单位体积上一千克的力 一个标准大气压一般约等于 101 千帕即 0.1 兆帕，约等于一工程大气压约等于一千克力每平方厘米 工程大气压是比标准大气压小一点的 1 物理大气压＝ 1 标准大气压 (atm) 为什么会多一个工程大气压我也不清楚 但是工程大气压通常按千克力等， 用一种质量作用力对单位面积获得的压强。

而标准大气压 (atm)则为标准的大气压强，比工程大气压精确，但他们是约等于的没必要那么精确，除非你是在某些特定领域使用饱和水蒸汽的压力与温度的关系 ( 摘自 范仲元 : "水和水蒸气热力性质图表" p4～10 )温度℃22242628303234363840水蒸气压力 MPa0.002640.002980.003360.003780.004240.004750.005320.005940.006620.00738相应真空度 MPa0.098690.098350.097970.097550.097090.096580.096010.095390.094710.09395温度℃42444648505254565860水蒸气压力 MPa0.008200.009100.010090.011160.012340.013610.015000.016510.018150.01992精选文档.相应真空度 MPa0.09313 0.09223 0.09124 0.09017 0.08899 0.08772 0.08633 0.08482 0.08318 0.08141温度℃62646668707274767880水蒸气压力 MPa0.021840.023910.026150.028560.031160.033960.036960.040190.043650.04736相应真空度 MPa0.079490.077420.075180.072770.070170.067370.064370.061140.057680.05397温度℃828486889092949698100水蒸气压力 MPa0.051330.055570.060110.064950.070110.075610.081460.087690.094300.10133相应真空度 MPa0.050000.045760.041220.036380.031220.025720.019870.013640.007030温度℃102104106108110112114116118120水蒸气压力 MPa0.108780.116680.125040.133900.143270.153160.163620.174650.186280.19854温度℃122124126128130132134136138140水蒸气压力 MPa0.211450.225040.239330.254350.270130.278310.304070.322290.341380.36138精选文档.真空计算常用公式1、玻义尔定律体积 V ，压强 P， P· V＝常数（一定质量的气体，当温度不变时，气体的压强与气体的体积成反比。

即 P1/P2 ＝ V2/V1 ）2、盖·吕萨克定律当压强 P 不变时，一定质量的气体，其体积 V 与绝对温度 T 成正比：（ V1/V2 ＝ T1/T2 ＝常数）当压强不变时，一定质量的气体，温度每升高 (或 P 降低 )1 ℃，则它的体积比原来增加 (或缩小 )1/273 3、查理定律当气体的体积 V 保持不变，一定质量的气体，压强 P 与其他绝对温度 T 成正比，即： P1/P2 ＝T1/T2在一定的体积下，一定质量的气体，温度每升高 (或降低 )1 ℃，它的压强比原来增加 (或减少 )1/273 4、平均自由程：λ＝ (5 ×-3)/P10 (cm)5、抽速：S＝ dv/dt ( 升 / 秒)或 S＝ Q/PQ＝流量 (托·升 / 秒 ) P＝压强 (托 ) V ＝体积 (升 ) t ＝时间 (秒 )6、通导： C＝ Q/(P2-P1) ( 升 / 秒 )7、真空抽气时间：对于从大气压到 1 托抽气时间计算式： t＝ 8V/S ( 经验公式 )（ V 为体积， S 为抽气速率，通常 t 在 5~10 分钟内选择8、维持泵选择：S维＝ S前/109、扩散泵抽速估算：精选文档.S＝ 3D2 (D ＝直径 cm）10、罗茨泵的前级抽速：S＝ (0.1~0.2)S 罗 (l/s)11、漏率：Q 漏＝ V(P2-P1)/(t2-t1)Q 漏－系统漏率 (mmHg· l/s) V －系统容积 (l)P1－真空泵停止时系统中压强 (mmHg)P2－真空室经过时间 t 后达到的压强 (mmHg)t－压强从 P1 升到 P2 经过的时间 (s)12、粗抽泵的抽速选择：S＝ Q1/P 预 (l/s)S=2.3V · lg(Pa/P预 )/tS－机械泵有效抽速 Q1－真空系统漏气率 (托·升 / 秒 )P 预－需要达到的预真空度 (托 ) V－真空系统容积 (升 )t－达到 P 预时所需要的时间 Pa－大气压值 (托）13、前级泵抽速选择：排气口压力低于一个大气压的传输泵如扩散泵、油增压泵、罗茨泵、涡轮分子泵等，它们工作时需要前级泵来维持其前级压力低于临界值，选用的前级泵必须能将主泵的最大气体量排走，根据管路中，各截面流量恒等的原则有：PnSg ≥ PgS 或 Sg≥ Pgs/PnSg－前级泵的有效抽速 (l/s) Pn－主泵临界前级压强 (最大排气压强 )(l/s)Pg－真空室最高工作压强 (托 ) S－主泵工作时在 Pg 时的有效抽速。

(l/s)14、扩散泵抽速计算公式：S＝ Q/P ＝ (K · n)/(P · t)(/ 秒升)式中： S－被试泵的抽气速率 (l/s) n－滴管内油柱上升格数 (格 )精选文档.t－油柱上升 n 格所需要的时间 (秒 ) P－在泵口附近测得的压强 (托 )K －滴管系数 (托·升 / 秒 ) K ＝ V0· (L/n) · ( Υ 0/ Υ m)+Pa △ Vt其中 V0－滴管和真空胶管的原始容积 (升 ) L－滴管刻度部分的长度 (mm)n－滴管刻度部分的格数 (格 ) Υ 0－油的比重(克 / 厘米 3)Υ m－汞的比重 (克 / 厘米 3) Pa－当地大气压强 (托 )△ Vt －滴管的刻度上的一格的对应的容积 (升 / 格 )15、旋片真空泵的几何抽速计算公式：S＝π ZnLKv(D2-d2)/(24 × 104) (l/s)式中： Z 为旋片数， n 为转速 (转 / 分 )， L 为泵腔长度， D 为泵腔直径， d 为转子直径 (cm)， Kv 为容积利用系数 (一般取 95％ )16、 O 型橡胶槽深 B ＝ 0.7DD 为橡胶直径，槽宽 C＝ 1.6B17、方形橡胶槽深 B＝ 0.8AA 为方形橡胶边长，槽宽 C＝ 1.67B选用真空泵时，需要注意下列事项：1、真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。

如：真空镀膜要求-51× 10 mmHg 的真空度，选用-6的真空泵的真空度至少要 5× 10 mmHg 通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级2、正确地选择真空泵的工作点每种泵都有一定的工作压强范围，如：扩散泵为 10-3~10 -7mmHg ，在这样宽压强范围内，泵的抽速随压强而变化，其稳定的工作压强范围为-4-6mmHg 因而，泵的工作点应该选在这个范围之内，5× 10 ~5× 10而不能让它在-8mmHg 下长期工作又如钛升华泵。