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BOE Copyright ⓒ 2010Track Track 工工艺设备艺设备艺设备艺设备培培训资训资训资训资料料2010年10月26日Array工厂Track科BOE Copyright ⓒ 2010Glossary ( before you read this article )下文中可能使用到的基本术语和缩写表：Equipment controllerEC主控电脑，Track机设备的控制根节点Block controllerBC每个PLC（block）的控制器，共三个，1.SCR，2.I/F，3.DEVBlock Controller TerminalBCT控制器的显示屏（触摸式）Cell Motion console(位于Coater)CMCCoater机的涂布及其附属设备的控制单元Handy Operation PanelHOP手持式操作屏,与UCT 或CMC的固定屏幕同Programable Logic ControllerPLC请Baidu或GoogleInterfaceI/F与EXP的连接部分ScrubberSCR清洗单元Head coater HCT或HC涂胶及其附属设备，同时也常常指代涂胶机的整体AP plasmaAPP清除有机物的设备，取代5代线的UVSlit coaterSlit-CT涂胶机，与HCT，HC等名称经常混用，等待正式Manual 中。

Dry PlateDP减压干燥单元DeveloperDEV显影单元Heat Treatment UnitOven烘干单元，与COL往往一起讲设备也是连在一起的CoolingCOL冷却单元Rotary PassR/P旋转单元Elevator conveyorELV垂直升降Buffer单元ConveyorCV在某些单元间的起到连接作用的搬运单元（有特殊用途或协调单元间长度）Sub ArmS/ACoater旁的机械手Double/Twin PassTwin PassS/A 旁的双层 BufferBOE Copyright ⓒ 2010•本报告书的结构：1. ExcelinerTM 1800 设备简介（2. ExcelinerTM 1800 安全教育）3. ExcelinerTM 1800 软件界面4. ExcelinerTM 1800 控制&电力系统5. ExcelinerTM 1800 的维护Index ( before you read this article )BOE Copyright ⓒ 20101. ExcelinerTM 1800设备简介BOE Copyright ⓒ 2010LD/ULD (Robot)AOIELVCVPOST-BAKE & COLDEVSLIT•Track产线布局(请放映动画)：IN PassAPPSCRTitlerDHP & COLCVBlock 3 控制区域Block 0 控制区域Block 2 控制区域Block 1 控制区域ECEC•ELV：Elevator panel Buffer•DP：Dry plate•R/P：Rotary PassBufferI/FS/ABuffer/PassDPPRE-BAKE & COLCVR-PassEXP放入buffer 动画stop 1Sec如有Titler，在Titler中转向，没有 在此位置为Rotary单元①②③④⑤⑥•LD/ULD 和 APP ,AOI 都不是TEL的设备，由各自研修小组负责讲 解。

•BAKE 和 COL合并在②中讲解•Coater, EXP, AOI 前都有BUFFER, 在讲特殊的⑥ELV时其他会提 到并讲解注意玻璃缺口方向的变化 Robot运动与Recipe有关， 不一定按此运行Track产线BOE Copyright ⓒ 2010•SCR的参数： •Air curtain 高度 8±1mm •Brush 转速：300-400rpm •Brush 可在0-5mm范围上下调整 •BOE B3 的设备 Bubble rinseN2气体加泵加压 •Brush 上方Rinse：72±3mm •下部Spray距离上方：73mm •Air knife：35° / heigh(gap):2- 3mm(2.5±0.5mm)• SCR ：修改挤压用Roller材质VPE•容易将玻璃变形， 在Brush抬起时① SCRAPPBrushWash StageDry StageOUT StageFinal RinseAir KnifeBrushAir Curtain1.19%TMAHDI WaterBubblingGlass 方向BOE Copyright ⓒ 2010① SCR•SCR 1：•Rinse•Air Curtain•玻璃搬运方向•Air Curtain•从APP进入SCR实际上是有一个坡度的。

In PASS和APP比 SCR高7mm也就是说，水无法流向APP和in pass，SCR整 体比其他的要低•Air Curtain是在距离玻璃大概高度 8±1mm的位置如左图所 示，利用气体的隔断，从而保证1.19% TMAH的Rinse和DI Water的Rinse间互相不影响，可以在有限的设备流水线长度上 放置密集的Rinse，减少了设备的长度，使设备更紧凑同时 也防止了药液互相混合，有利于回收再利用Air Curtain1.19%TMAHDI Water•首先，使用1.19%的TMAH进行预 湿润处理(Pre Wet)设置风刀从 而隔断液体的流向•紧接着是DI Water水洗其中的 水来自下方的 DI Water Tank 1BOE Copyright ⓒ 2010① SCR•SCR 2：•此处双向Rinse，在BCT管路图上标记为两个,其DI Water供应 软管数目为其他的两倍分别向Upper Brush 和 Lower Brush喷 水•Rinse•Brush211•Brush Rinse2BrushBrush•Brush下部的Rinse，图中的Brush还没有装上，所以看得比较 清楚。

从下往上喷水，清洁Brush•使用Brush的目的主要是为了清除比 较大颗粒的Particle•Brush是可以调节高度的不同的厚 度的玻璃可以调节不同的上下间距 从而调节Brush上的软毛对极板的压 力BOE Copyright ⓒ 2010① SCR•SCR 3 ：•Rinse•防止喷溅板 •AK DRY•RinseFinal RinseBubblingAir Knife•基板经过HP Bubbling和 HP Rinse后到达Final Rinse•为了保证在没有基板的情况下下 部的Rinse喷射出的水不会飞溅到 上部的chamber盖上在这里使用 了一个防止喷溅的挡板在经过这 些以后，使用Air Kinfe 干燥•基板传送方向•Final Rinse的Water来自于DI Water Tank 2 ，Tank2的水流到Tank1 重复利 用BOE Copyright ⓒ 2010SCR的排气部分•Exhaust管增加气泵加速排气 •为了弥补排气量的不足•气液分离器，可以分离液体和气体在其靠 近通往1楼的排气侧有过滤器•利用气体的浮力和液体会自然分开，在中间 形成一个可以静置的空间，气体向上浮出。

从 而分离水和气泡Air•气液分离器上方的手动调节排气量的一个简 易阀门，通过旋转里面的薄圆形铁片可以调 节排气量的大小•铁片遮挡的部分越小则排气量越大BOE Copyright ⓒ 2010OVENPre-HeatBAKECOL•Pre - COL•T.C. – COLA Pre-Heat用于升温，Bake用于保温，COL用于降温 OVEN从上面打开进行PM清理下部的螺丝拧松后可以取出掉落的碎玻璃20mm20mmHeater反射板 FFUPre - COLCool AirUnitT.C. – COLCool Air冷却水Pre - HeatBake•玻璃基板运动方向•Heater的温度大于玻璃 基板需要达到的目标温 度而且，由于在靠近 入口和出口的位置的散 热量大，所以Heater块 温度的设置常常是：温度距离玻璃板目标温度在此中玻璃基板 升温至目标温度在此中玻璃基板保持目 标温度不变在此中直接吹冷风，温 度下降在此中可控制冷风的温 度，冷却玻璃基板② OVEN（动画）BOE Copyright ⓒ 2010② OVEN：Heat & Bake•Heat & Bake：设备外侧的观测窗上部的加热板下部加热板温度sensor•由于设备是密闭的，玻璃在里面的状态是 看不到的所以在两侧靠近Parts（梯子和脚 手架）的地方每隔一段距离设置了一个观 察用的窗口。

•上部和下部加热板的多少取决于具体的情 况•温度sensor在加热板中央的位置BOE Copyright ⓒ 2010② OVEN：Col•COL设备：•COL上方的FFU •为了防止CDA（Cool Dry Air）直接吹向基板， 同时也为了更加均匀的受到CDA的冷却可以看 到上部为了改变风向而使用的遮挡板下部的带 孔板在拧掉四角的固定螺栓后，可以向下取出， 在里面的碎玻璃可以从下面取出•COL in部分•COL的温度控制单元FFU使用CDA冷却从Bake中 出来的玻璃基板•里面使用冷却水循环来控制温度BOE Copyright ⓒ 2010•Coater的结构：•A：Head D：Mounting Section •B：Table E：Running Section •C：lines Section F：Auxiliary part of production•气垫脚③ SLIT COATERCDABOE Copyright ⓒ 2010•Position View(几个常用位置点)：•1 Release，拆卸Head时的位置•2 Home，Dry-prevention的位置•3 Filling，Thinner清洗Head时的排空位置•4 Head washing的位置。

•5 Uniformer的位置•6 Head 0 set 的探针的位置•7 Head-Table Gap的 1 号位置•8 Head-Table Gap的 2 号位置•9 Head-Table Gap的 3 号位置•10 挡板调节的压力计位置1 2 3 4 5 6 7 8 9 10涂胶方向排出废液③ SLIT COATERBOE Copyright ⓒ 2010③ SLIT COATER•在HCT的控制电脑旁边，悬挂有下图操作时可以对照此图进行操作注意的是操作过 程，必须先向上到达较高位置，再前后移动，防止Nozzle头被突出物体磕坏BOE Copyright ⓒ 2010•Head：50mm……PR 胶排气排气100um1 23BA4•1 调整螺栓•2 调整螺栓•3 固定螺栓•4 垫片•两个排气口阀门轮流交替打开从而使 Head中的气泡振荡有利于排出•Head上通过螺栓1，2 可调节Nozzle口的 大小（1缩小Nozzle 开口，2扩大）。

•为保证Nozzle口压力，Nozzle 口（ 唇）中间稍微狭小，两侧稍微宽唇Gap距离•调节螺栓时，要观察紧固螺栓拧紧和松弛下两相比较 的数值差因为往往你拧到目标值后，再拧紧紧固螺 栓时数值会变化需要事先估计预留出此部分的量③ SLIT COATERBOE Copyright ⓒ 2010③ SLIT COATER•调节Nozzle口的大小螺栓•1 为缩小Nozzle口的螺栓 •较大，所以插不入2的螺栓孔 •当拧紧时，会。