集成电路工艺原理7.ppt

集成电路工艺原理,第七章 金属互联,本章概要,引言 金属铝 金属铜 阻挡层金属 硅化物 金属淀积系统,7.1 引言,概述,金属化是芯片制造过程中在绝缘介质薄膜上淀积金属薄膜，通过光刻形成互连金属线和集成电路的孔填充塞的过程金属线被夹在两个绝缘介质层中间形成电整体高性能的微处理器用金属线在一个芯片上连接几千万个器件，随着互连复杂性的相应增加，预计将来每个芯片上晶体管的密度将达到10亿个由于VLSI组件密度的增加，互连电阻和寄生电容也会随之增加，从而降低了信号的传播速度减小互连电阻可通过用铜取代铝作为基本的导电金属而实现对于亚微米的线宽，需要低K值层间介质（ILD）通过降低介电常数来减少寄生电容7.1 引言,概述,特征尺寸的缩小将导致互连引线横截面面积和线间距的减小，电阻、电容、电感引起的寄生效应将会严重影响电路的性能，包括信号传输延迟的增加和信号传输畸变显著，使得互连性能降低实际上，当集成电路技术发展到深亚微米技术时代以后，互连已成为确定集成电路性能、封装密度、可靠性、生产率和成本的重要因素之一当集成电路技术进入纳米技术时代时，互连将成为制约集成电路性能提高和成本下降的主要因素需要指出的是，随着技术的进步和特征尺寸的缩小，互连引线间距的缩小和互连的密度的增加，所需要的互连引线的层数也增加。

7.1 引言,多层金属,7.1 引言,金属化概念,芯片金属化是指应用化学或物理处理方法在芯片上淀积导电金属膜的过程这一过程与介质的淀积紧密相关，金属线在IC电路中传输信号，介质层则保证信号不受邻近金属线的影响金属化对不同金属连接有专门的术语名称互连（interconnect）意指由导电材料（铝、多晶硅或铜）制成的连线将信号传输到芯片的不同部分互连也被用做芯片上器件和整个封装之间普通的金属连接接触（contact）意指硅芯片内的器件与第一层金属之间在硅表面的连接通孔（via）是穿过各种介质层从某一金属层到毗邻的另一金属层之间形成电通路的开口填充薄膜”是指用金属薄膜填充通孔，以便在两金属层之间形成电连接7.1 引言,金属互联,层间介质（ILD）是绝缘材料，它分离了金属之间的电连接ILD一旦被淀积，便被光刻刻蚀成图形，以便为各金属层之间形成通路用金属（通常是钨 W）填充通孔，形成通孔填充薄膜在一个芯片上有许多通孔，据估计，一个300mm2单层芯片上的通孔数达到一千亿个在一层ILD中制造通孔的工艺，在芯片上的每一层都被重复金属化正处在一个过渡时期，随着铜冶金术的介入正经历着快速变化以取代铝合金。

这种变化源于刻蚀铜很困难，为了克服这个问题，铜冶金术应用双大马士革法处理，以形成通孔和铜互连这种金属化过程与传统金属化过程相反（见下图）7.1 引言,金属互联,传统互联和大马士革互联的比较,7.1 引言,金属类型,金属类型,对IC工艺中的金属材料的要求是： 导电率：为维持电性能的完整性，必须具有高导电率，能够传导高电流密度 粘附性：能够粘附下层衬底，容易与外电路实现电连接与半导体和金属表面连接时接触电阻低 淀积：易于淀积并经相对的低温处理后具有均匀的结构和组分 ( 对于合金 ) 能够为大马士革金属化工艺淀积具有高深宽比的间隙7.1 引言,金属类型,刻印图形/平坦化：为传统铝金属化工艺提供具有高分辨率的光刻图形；大马士革金属化易于平坦化 可靠性：为了在处理和应用过程中经受住温度循环变化，金属应相对柔软且有较好的延展性 很好的抗腐蚀性，在层与层之间以及下层器件区具有最小的化学反应 应力：很好的抗机械应力特性以便减少硅片的扭曲和材料失效，比如断裂、空洞的形成和应力诱导腐蚀7.1 引言,金属类型,硅和硅片制造业中所选择的金属（在20℃）,7.2 金属铝,概述,在半导体制造业中，最早的互连金属是铝，目前在VLSI以下的工艺中仍然是最普通的互连金属。

在21世纪制造高性能IC工艺中，铜互连金属有望取代铝然而，由于基本工艺中铝互连金属的普遍性， 所以选择铝金属化的背景是有益的铝在20℃时具有2.65µΩ-cm的低电阻率，比铜、金及银的电阻率稍高然而铜和银都比较容易腐蚀，在硅和二氧化硅中有高的扩散率，这些都阻止它们被用于半导体制造另一方面，铝能够很容易和二氧化硅反应，加热形成氧化铝（AL2O3），这促进了氧化硅和铝之间的附着还有铝容易淀积在硅片上基于这些原因铝仍然作为首先的金属应用于金属化铝互联,7.2 金属铝,欧姆接触,欧姆接触 任何金属与半导体的接触一般总会形成肖特基势垒然而，为了不致破坏器件的电气性能，作为电极系统的金属-半导体接触，是不希望有整流作用和少数载流子注入效应的也就是说，电极接触应当尽量符合欧姆定律电极系统的金属-半导体接触应当是欧姆接触，这是对电极系统的基本要求7.2 金属铝,欧姆接触,7.2 金属铝,硅的熔点为1412℃，而纯铝的熔点为660℃然而，铝和硅熔合形成的合金实际上有更低的熔点，实际熔点依据它们的组分而定，例如：铝含量占88.7%，硅含量占11.3%的合金，其熔点为577℃这个温度被称为最低可熔化的温度，它是合金在特殊组分下的最低可熔化温度。

这限制了以后工艺加工的最高温度为了在铝和硅之间形成接触，加热界面是必要的这一过程通常在惰性气体或还原的氢气环境中，在450到500℃进行这个加热烘烤过程也被称为低温退火或烧结在硅上加热烘烤铝形成期望的电接触界面，被称为欧姆接触欧姆接触有很低的电阻欧姆接触结构,7.2 金属铝,出现的问题,7.2 金属铝,结尖刺的问题 在固态情况下，Al在Si中几乎不溶解，而Si在Al中的溶解度则比较高这样，在退火过程中，就会有相当多的Si原子溶到Al中去，同时在Si中留下空位，而Al就进入这些空位形成结尖刺结尖刺有可能引起结短路，这一过程称为结“穿通”出现的问题,7.2 金属铝,结尖刺的问题可通过在铝中添加硅和阻挡层金属化两种方法解决第一种方法是利用铝和硅的合金而不是纯铝如果铝中已经有硅，那么硅从衬底向铝中溶解的速度将会减慢然而硅在铝中形成合金的量是有限的，由于硅在铝中凝结，可能导致节结 ( 小的硅高浓度区域 ) 的形成节结的形成，可能明显地增加接触电阻，并且在节结点的局部加热可能引起可靠性严重下降解决结尖刺问题的主要方法是引入阻挡层金属以抑制扩散出现的问题,7.2 金属铝,电迁移问题 金属化引线中的电迁移现象是一种在大电流密度作用下的质量输运现象。

质量输运是沿电子流方向进行的，结果在一个方向形成空洞，而在另一方向则由于铝原子的堆积而形成小丘简单地说，电迁移现象是金属线内由高密度电流中的电子和原子的碰撞引起的原子的快速迁移，即导电电子与金属离子间动量交换，电子将动量传给金属离子，使其由电极负端向正端运动当金属为良导体、在直流电流密度比较大时，电迁移作用将是显著的于是金属离子由电极负端向正端运动（电子流方向）在产生空洞的地方会引起连线减薄，可能会引起断路而在金属原子堆积、形成小丘的地方，如果过多或大量的小丘形成，毗邻的连线或两层之间的连线有可能短接在一起在超大规模集成电路技术、高级电路的设计中，芯片温度会随着电流密度而增加，这两者都会使铝芯片金属化更易于引起电迁移出现的问题,7.2 金属铝,出现的问题,7.2 金属铝,传统的铝互联工艺,7.2 金属铝,传统的铝互连工艺 1)首先在介质层上淀积金属层铝； 2)然后光刻形成互连引线的光刻胶掩膜图形； 3)以光刻胶作掩膜，刻蚀形成金属互连引线的图形； 4)除去光刻胶传统的铝互联工艺,7.2 金属铝,概述,7.3 金属铜,Cu比Al有更好的电迁移特性及电导率，因此，Cu互连技术的应用将改善集成电路的可靠性及速度。

利用Cu作为互连金属材料代替传统的Al是人们一直希望实现的目标但由于一些关键的问题一直得不到很好的解决，Cu互连技术研究进展缓慢，以致许多人曾悲观地认为，在集成电路中铜互连技术可能是无法实现的问题之一是Cu的污染问题，Cu是半导体的深能级杂质，对半导体的载流子具有很强的陷阱效应，同时Cu在SiO2介质中的扩散很快，从而使SiO2的介电性能严重退化；,另一个问题是Cu引线图形的加工问题，由于一直难以找到可以刻蚀Cu金属薄膜材料的化学试剂和刻蚀手段，而仅仅利用传统的互连加工工艺，一直难以实现Cu的互连引线的图形加工Cu互连集成技术的突破是随着化学机械抛光（chemical mechanical polishing，CMP）技术的发明、大马士革工艺的提出和势垒层材料技术的发展而取得的人们研发出可以阻挡Cu扩散的势垒层材料技术成功地解决了Cu污染问题；而大马士革结构与CMP技术，成功地解决了Cu引线加工问题概述,7.3 金属铜,概述,,铜被普遍认为是一种理想的候选材料因此在深亚微米工艺（0.18μm及以下），铜将逐步代替铝成为硅片上多层布线的材料利用铜代替铝作为互连线代表了半导体工业的重要转变，可使计算机芯片体积缩小30％，集成度提高一倍，如要达到6层Cu/SiO2的RC要求，采用AL/SiO2则需要12层，它们构成的器件能满足高频、高集成度、大功率、大容量，使用寿命长的要求，它们速度提高40％，并且可大幅降低成本，已受到学术界和工业界的高度重视，Cu成为集成电路的下一代导线。

7.3 金属铜,铜的优点,7.3 金属铜,IC互连金属化引入铜的优点是 ： 电阻率的减小在20℃时，互连金属线的电阻率从铝的2.65μΩ·cm 减小到铜的1.678μΩ·cm，这减小 RC 的信号延迟 ， 增加芯片速度单纯采用铜代铝作为互连材料，可降低RC约40％使用铜互连线可以减少芯片上互连线的电阻，或者在保持电阻不变的情况下，减小互连金属的厚度来减小同一层内互连线间的耦合电容，从而降低耦合噪声和互连线的信号延迟因此更加适合高频器件和大功率器件良好的抗电迁移性能 铜在抗电迁移能力方面要比铝大一到两个数量级，器件的寿命更长，可靠性更佳 高熔点 当IC中的电流密度过高，高熔点的材料比低熔点的材料更不易于发生电子迁移，原因在于前者有更高的界面扩散激活能铝的熔点为660℃，铜的熔点为1083℃，所以铜更不易发生电子迁移铜的优点,7.3 金属铜,更少的工艺步骤 用大马士革方法处理铜具有减少工艺步骤 20% 到 30% 的潜力 热传导率 Cu具有更高的热传导率铜的优点,7.3 金属铜,Cu作为互连材料存在的问题 铜在Si和二氧化硅（介质材料）中是间隙杂质，Cu在Si中扩散相当快，一旦进入Si器件中会成为深能级受主杂质，对半导体中的载流子具有强的陷阱效应，使器件的性能退化甚至失效；同时Cu在SiO2（介质材料）中扩散相当快，从而使SiO2的介电性能严重退化，形成互连线的低击穿；,对铜的挑战,7.3 金属铜,Cu是一种稳定的惰性金属，不像铝那样易与刻蚀离子发生反应而被刻蚀。

一直难以找到可以刻蚀Cu金属薄膜材料的化学试剂和刻蚀手段，在传统的干法腐蚀中，由于不能产生易挥发性卤化物，因而不能用常规等离子体腐蚀工艺制备互连线图形； Cu在空气中和低温下（<200℃）易氧化，而且不能像铝一样形成钝化保护层来阻止自身进一步被氧化和腐蚀；,对铜的挑战,7.3 金属铜,对铜的挑战,7.3 金属铜,铜对二氧化硅、硅等材料的粘附性很差；铜不像铝那样易于在硅或二氧化硅衬底上生长，结构的不完美将导致电阻率的增大； 铜的扩散会引起所谓中毒效应，与硅在较低温度下（<200℃）反应生成Cu3Si，Cu和Si形成化合物后电阻率将增大好几倍，导致对有源区的沾污而引起漏电和Vt漂移特别是当其渗入到掺硼硅中时，会与硼发生反应，形成B－Cu化合物而使硼的有效掺杂浓度降低Si扩散入铜中将增加铜的电阻率；,同时，芯片工作时，临近金属线之间施加的电场也大大提高了铜的扩散速率基于以上原因，必须采取有效措施来防止铜向硅中扩散，解决以上问题一般是在沉积铜层之前再加一步，即在刻好的槽的衬底上溅射淀积约50nm厚的阻挡层，金属扩散阻挡层（Ta，TaN等）或者介质扩散阻挡层（Si3N4等），即在介质层和金属铜之间引入引入一层扩散阻挡层，以提高铜与衬底的粘结性和阻止铜向Si或二氧化硅衬底的扩散。