北京航空航天大学机械工程及自动化学院多材料等离子体刻蚀机（重招）采购文件.pdf
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中钢招标有限责任公司中钢招标有限责任公司 政府采购项目采购文件政府采购项目采购文件 项目名称：北京航空航天大学机械工程及自动化学院多材料等离子体刻蚀机（重招） 采购编号：1841STC50380 采 购 人：北京航空航天大学机械工程及自动化学院 代理机构：中钢招标有限责任公司 目 录 第一章第一章 响应邀请响应邀请 ............................................................................................................ 2 2 第二章第二章 供应商须知供应商须知.......................................................................................................... 6 6 第三章第三章 政府采购合同文本政府采购合同文本 ............................................................................................ 2929 第四章第四章 技术需求书技术需求书........................................................................................................ 4141 第五章第五章 评审标准评审标准 .......................................................................................................... 4444 第六章第六章 附件附件——响应文件格式响应文件格式 ........................................................................................ 4747 中钢招标有限责任公司 2 第一章 响应邀请 中钢招标有限责任公司接受北京航空航天大学机械工程及自动化学院的委托，对下述采购内容进行国内采购，现邀请合格的响应人前来响应。
1. 项目名称：北京航空航天大学机械工程及自动化学院多材料等离子体刻蚀机（重招） 2. 采购编号：1841STC50380 3. 资金来源：已落实 4. 采购预算：48 万元（最高限价：_/_万元） 5. 项目用途：教学 6. 项目基本概况介绍： 包 号 采购内容 数量 交货期 交货地 点 采购需求 01 多材料等 离子体刻 蚀机 1 套 合同签订 后 3 个月 内完成安 装调试并 通过验收 北京， 北 京航空 航天大 学指定 地点 1) ICP 等离子体刻蚀设备，用于 4 英寸及以 下样品尺寸 2) 适用于硅基材料的刻蚀工艺，Si 刻蚀速 率> 450nm/min 3) 样品取放通过 LoadLock 真空腔室进行， 样片自动在 Loadlock 腔与工艺腔之间进行传 送，采用矩形门阀作为双腔之间隔断阀 4) 工艺腔与 LoadLock 均为一体成型铝腔 5) 工艺的执行为自动化流程 6) 设备控制系统具有异常警报与处理模块， 具有用户登录与用户权限分级管理模块， 具有 工艺数据记录与机台状态记录某块， 具有工艺 菜单编辑与修改模块 7) 人机交互界面为工业触摸屏 8) 设备具备硬件可配置调节偏置电压的功 能 9) 标配四路进气等 具体详见第四章技术需求书。
7. 供应商资格要求： 1） 在中华人民共和国境内注册、响应比选、参加比选竞争的法人、其他组织或者自然人； 2） 供应商应具备《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定； ① 具有独立承担民事责任的能力； ② 具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度； ③ 具有履行合同所必需的设备和专业技术能力； 中钢招标有限责任公司 3 ④ 有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录； ⑤ 参加政府招标活动前三年内，在经营活动中没有重大违法记录； ⑥ 法律、行政法规规定的其他条件 3） 供应商必须从采购代理机构获得采购文件并登记备案， 否则无资格参加本次采购； 4） 本项目不接受联合体响应； 5） 本项目不允许转包、分包； 6） 本项目接受进口产品响应 （进口产品是指通过中国海关报关， 验放进入中国境内，且产自关境外的产品） ； 7） 若供应商所报产品为进口产品， 则供应商须具有所报进口产品生产厂家或其在国内的授权代理商出具的授权文件； 8） 本项目为不是专门面向中小企业的项目； 9） 近三年内（本项目响应截止时间前）被“信用中国”网站列入失信被执行人和重大税收违法案件当事人名单的、被“中国政府招标网”网站列入政府招标严重违法失信行为记录名单（处罚期限尚未届满的） ，不得参与本项目； 10） 单位负责人为同一人或者存在控股、 管理关系的不同单位， 不得参加同一项目响应； 11） 为本项目前期准备提供设计、咨询、规范编制服务的不得参与本项目； 12） 法律、行政法规、采购文件关于“合格供应商”的其他条件。
8. 获取采购文件的时间期限、地点、方式及采购文件售价： （1）时间期限：即日起至 2018 年 5 月 8 日，每天 9:00-12:00、13:00-16:00（北京时间、节假日除外） （2）地点：中钢招标有限责任公司（北京市海淀大街 8 号中钢国际广场 16 层） ； （3）获取方式及售价：采购文件每包人民币 500 元，可现场购买或邮购，若邮购，须加付快递费人民币 100 元供应商购买采购文件时须同时提供： ①供应商企业法人营业执照或事业单位法人证书或登记证或其他有效证明文件（复印件加盖公章） ； ②供应商法定代表人授权书或单位介绍信（原件加盖公章） ； ③供应商经办人身份证复印件（原件备查） ； 中钢招标有限责任公司 4 ④供应商若以汇款形式购买采购文件，须携带汇款单复印件，且汇款单附言处须注明本项目采购编号/包号； ⑤供应商若需开具增值税专用发票请提供：一般纳税人证明文件、纳税人识别号、地址、、开户行及账号，并加盖供应商单位财务专用章（Word 版、盖章后电子版均需发 3223074799@.com 邮箱或 anle@ 邮箱） ；若需开具增值税普通发票请提供说明和纳税人识别号并加盖供应商单位财务专用章（小规模纳税人只能开具增值税普通发票） 。
注：若邮购，供应商须在采购文件注：若邮购，供应商须在采购文件获取获取时间期限内确认采购代理机构项目联时间期限内确认采购代理机构项目联系人收到以上资料因发出购买资料后未及时向采购代理机构确认收到导致系人收到以上资料因发出购买资料后未及时向采购代理机构确认收到导致无法完成购买手续的，视为报名不成功无法完成购买手续的，视为报名不成功 9. 响应截止时间、比选会时间及地点： （1）响应截止时间及比选会时间：2018 年 5 月 11 日 9:00（北京时间） ，届时请供应商派代表出席比选会 （2）响应文件递交及比选会地点：北京航空航天大学知行楼北楼 101 会议室（北京市海淀区学院路 37 号） 10. 本项目的采购公告仅在中国政府采购网()、北京航空航天大学招标采购管理中心网()上发布 11. 本项目评审方法和标准：综合评分法，总分 100 分 12. 本项目需要落实的政府采购政策：节约能源、保护环境、促进中小企业及监狱企业发展、促进残疾人就业、使用信用记录结果、政府采购政策具体落实情况详见采购文件 13. 本采购公告的期限：自本公告发布之日起 5 个工作日 14. 凡对本次招标提出询问，请与下述采购项目联系人联系（技术方面的询问请以信函或的形式） 。
采购人名称：采购人名称：北京航空航天大学机械工程及自动化学院北京航空航天大学机械工程及自动化学院 地 址：北京市海淀区学院路 37 号 联 系 方式：蒋老师 010-82316603 采购代理机构名称：采购代理机构名称：中钢招标有限责任公司中钢招标有限责任公司 中钢招标有限责任公司 5 地 址：北京市海淀区海淀大街 8 号中钢国际广场 16 层，100080 联系方式：010-62688251 采购采购项目联系人项目联系人姓名姓名：：安乐安乐、、刘健、张静、封勋刘健、张静、封勋 联系方式：010-62688254（购买采购文件） 、62686386、62688251 传 真：010-62688250 电子邮件：liujian5@ 账户信息：账户信息： 开户名称：中钢招标有限责任公司 开户银行：中国民生银行股份有限公司北京大兴新城支行 账 号：9576 0328 0000 0067 中钢招标有限责任公司 2018 年 4 月 28 日 中钢招标有限责任公司 6 第二章 供应商须知 中钢招标有限责任公司 7 供应商须知资料表供应商须知资料表 本表是对供应商须知的具体补充和修改，如有矛盾，均以本资料表为准。
条款号 内容内容 1.3.6 本项目不接受联合体响应本项目不接受联合体响应 2.2 采购范围: 响应产品的供货、安装及相关伴随服务（包括但不限于响应 产品设计、开发、软硬件产品供货、安装调试、系统实现和集成、测试、 相关系统的衔接、功能验证、验收、实施期间现场及远程技术支持、培 训以及售后服务等） 3.2 现场考察踏勘： 不组织 □组织 比选会前答疑会： 不召开 □召开 演示视频： 无需递交 □递交 响应样品递交： 不需要 □需要 7.2 若供应商对本项目的多个包 （如有） 同时进行投标， 则响应文件的编制、 包装要求如下： 按包分别编制和包装； □统一编制和包装，具体为： 7.3 如供应商对本项目的多个包同时进行投标， 则供应商在本项目中最多中 标包的数量： 不限制； □限制数量为____个包，具体规定如下：______ 11.1 项目保证金金额：9600 元人民币 项目保证金交款单据 （电汇形式的项目保证金提交汇款凭证复印件） 须 在响应截止时间前与《报价一览表》及《供应商退款、开票信息》 （格 式见第六章）共同包装在一个信封内提交，并在该信封上标明“报价一 览表和项目保证金”字样。
在响应文件《商务技术文件分册》 “响应书” 中仍须提供项目保证金交款单据复印件，否则其响应无效 11.3 项目保证金形式：电汇（响应截止时间前到账 ） 项目保证金收受人：中钢招标有限责任公司 开户人名称：中钢招标有限责任公司 开户 银行：中国民生银行股份有限公司北京大兴新城支行 人民币账号： 9576 0328 000。
