ESD防护管理办法A02--精选文档

1、修订履历序号原内容修订后旧版修订人修订日期1无ESD检查频率及方法完善ESD检查频率及方法A01喻小林2015-11-101. 目的建立公司内/外部对ESD防护的要求,从而提升产品的可靠性。2. 范围 适用于公司内部产品实现各环节对ESD的管控, 以及对供应商所提供的ESD敏感材料的控制。3. 职责3.1 生产部门3.1.1 负责生产用静电防护用品的使用和管理；3.1.2 实施所确定的静电防护区域的静电防护措施。3.2 品质部3.2.1 统筹ESD防护的管理工作, 如ESD防护系统的建立, ESD防护系统可靠性的定期检查等；3.2.2 负责品质部范围内(IQC, IPQC, QA区域的ESD管理)；3.2.3 负责对ESD敏感材料的验证, 纠正/预防措施的提出及跟进。3.3 开发部负责明确对有特殊ESD防护要求产品/零部件提出防护要求。3.4 PMC(货仓)负责按本管理办法的要求对货仓内所有ESD敏感材料的分区放置, 静电防护的定期检查。3.5 行政人事部3.5.1 负责对新员工静电防护知识培训及特殊工作岗位技能培训, 并发岗位培训合格证；3.5.2 新设备安装前须保证设备接地和静电接

2、地分开, 产品实现过程中各区域静电接地系统的定期检查。4. 定义:4.1.1 静电: 处于不同静电势的物体之间的静电转移, 其静电势是由于物体直接接触或静电场感应引起；4.1.2 ESD(Electrostatic Detection): 静电防护；4.1.3 ESD敏感材料(部件): 可能在日常操作, 测试或转移中被静电场或静电放电破坏的零部件, 集成电路或成品；4.1.4 ESD敏感等级: 依据电子元器件的特性及其遭受静电放电或静电场破坏的危险系数划分为1,2,3级. 见如下:SSD的分级表级别和静电敏感度范围元器件类型级别和静电敏感度范围元器件类型1级 0-1999V微波器件(肖特基垫垒二极管、点接触、二极管等)、离散型 MOSFET器件、声表面波（SAW）器件、结型场效应晶体管(JFETs)、电耦合器件(CCDs) 、精密稳压二极管(加载电压稳定度、运算放大器(OPAMPs) 、薄膜电阻器、MOS集成电路(IC) 、使用1级元器件的混合电路、超高速集成电路(CHSIC)、可控硅整流器2级 2000-3900V超高速集成电路（UHSIC）精密电阻网络(RZ)、使用2级元器件的混合

3、电路、低功率双极型晶体管2级2000-3900V由试验数据确定为2级的元器件和微电路:离散型MOSFET器件结型场效应晶体管(JFETs)运算放大器(OPAMPs)集成电路(IC)3级4000-15000V由试验数据确定为2级的元器件和微电路、离散型MOSFET器件、运算放大器(OPAMPs) 、集成电路(IC)、超高速集成电路(UHSIC) 、不包括1级或2级中的其他微电路、小信号二极管、硅整流器、低功率双极型晶体管、光电器件、片状电阻器、使用3级元器件的混合电路压电晶体本公司所涉及到的ESD元件目前有: IC、MOS管、二极管、三极管、可控硅、高亮LED等.4.2接地系统4.2.1说明:4.2.1.1接地系统被用为静电电荷泄放的途径,以保证静电放电敏感元器件、设备、治具、操作人员处于同样的电位；4.2.1.2为确保人员接地的安全,接地系统分为人员防静电接地分系统与设备防接地分系统。4.2.2人员防静电接地分系统-简称为静电接地。4.2.2.1人员静电接地分系统使用独立的专用静电地线,专门用于人员静电接地,通过静电腕带连接到公共接地点。4.2.3设备防静电接地分系统-简称为设备地。5

4、. 工作内容:5.1 基础设施的ESD防护系统的建立；5.1.1 公司根据业务需要建立或改造ESD防护区域或产线时, 行政人事部根据规划的要求负责寻找有资质的ESD防护建造方来进行施工, 并监督施工质量。5.1.2 对于基础设施(含产线)施工的ESD防护要求设施名称是否需安全保护电路? 表面电阻对地电阻防静电工作台垫是, 串联1.0M5x10510105x 1051010器具接地系统否7.5x 1051097.5x105109车间地面接地系统否105101110510115.1.3 建造方施工完毕, 行政人事部应严格按照不低于上述规格的要求及相应的建造协议(合同)组织对施工场所进行检查, 必要时委托第三方进行检查或验收. 对于不合格的地方, 需跟进整改, 直至问题完全得到解决。5.1.4 工程部PIE需对正常使用的ESD防护区域设施/设备需按本管理办法的规定定期进行检查。5.2 ESD敏感器件的管理5.2.1 ESD敏感器件的采购5.2.1.1 采购部负责依据ERP系统中的BOM规格组织进行ESD敏感材料的采购, 有特殊ESD防护要求时, 需在采购单中予以注明；5.2.1.2 需要时,

5、 组织对ESD敏感材料/器件供应商进行现场及产品(包装)审核。5.2.2 ESD敏感材料的检验5.2.2.1 品质部需每天按照的要求对其检验场所进行ESD确认；5.2.2.2 品质部IQC检验人员负责对ESD敏感材料的来料检查(参考相应的来料检验程序或作业指导书)；5.2.2.3 IQC人员需认真检查ESD敏感材料的包装是否破损. 需要时, 需检查其包装材料的表面电阻及对地电阻, 并进行记录；5.2.2.4 在检验过程中发现有任何ESD检测异常时, 第一时间通知采购部. 并跟进最终措施的落实情况。5.2.3 ESD敏感材料的储存5.2.3.1 所有所定义的ESD敏感材料需严格按区域进行管理, 包括ESD防护检测, 温湿度检测和监控等；5.2.3.2 ESD储存区域的要求5.2.3.2.1 ESD防护区域需严格按下述要求进行ESD控制:设施名称是否需安全保护电路? 表面电阻对地电阻防静电货架是, 串联1.0M5x10510105x 1051010器具否7.5x 1051097.5x105109仓库地面接地系统否105101110510115.2.3.2.2 仓库需按本管理办法的要求定期检

6、测货仓各区域/设施ESD防护状况。5.2.3.3 ESD敏感材料的在线存储ESD敏感材料在线存储参考其仓库存储要求执行, 生产部门需严格按要求定期对在线存储货架进行ESD检测和记录。5.3 生产现场ESD防护管理5.3.1 生产部门及PIE负责对生产现场的ESD防护进行管理, 包括ESD防护区域的划分, 生产区域ESD防护的检测等；5.3.2 生产线所涉及到的ESD防护项目和内容:防护项目是否需安全保护电路? 表面电阻对地电阻流水线否7.5x 1051097.5x105109零件盒否7.5x 1051097.5x105109周转箱否7.5x 1051097.5x105109周转垫否7.5x 1051097.5x105109防静电工衣否7.5x 1051097.5x105109防静电鞋否7.5x 1051097.5x105109防静电帽否7.5x 1051097.5x105109防静电腕带否7.5x 1051097.5x105109防静电手套/指套否7.5x 1051097.5x105109货物栈板否108车间接地系统是,串联1.0M5x10510105x 10510105.3.3 各作

7、业工位操作人员进入工位工作前必须:5.3.3.1 穿戴好防静电工衣, 防静电鞋和防静电帽；5.3.3.2 在车间入口处对静电防护的准备进行个人的ESD检测；5.3.3.3 操作前戴好防静电手套, 腕带和/或指套；5.3.3.4 按作业指导书SOP的要求使用正确的防静电工作器具。5.3.4 IPQC需按本管理办法规定的检测周期其对所管辖的生产线的ESD防护进行检测,对于不符合规定要求之处, 立即要求生产部相关责任人进行纠正。5.3.5 按SOP的要求, 使用ESD防护的包装箱/袋对成品进行包装。5.4 ESD各区域/设备/器具的检测5.4.1 各区域负责人员需按附件一的要求, 按规定的频次对ESD防护状况进行检测；5.4.2 检测过程中发现有任何异常情况,应立即予以纠正。5.5 ESD防护异常处理5.5.1 ESD防护确认(检测)过程中,所发现的任何异常, 需第一时间采取纠正措施；5.5.2 如不能立即纠正的, 应逐级上报至总经理, 以便协调处理；5.5.3 举一反三, 预防其他区域, 设备, 人员或器具的ESD防护问题的发生。5.6 ESD防护记录所有ESD检测项目要求的检测, 均需予

8、以记录。5.7 测试方法 5.7.1楼层总的设备地(PE线)与总的防静电地之间的电阻使用万用表电阻档测试等电位端子箱防静电接地线与各楼层配电箱地线电阻（用一根导线拉接到配电箱房测量，测量值减去此导线的阻值）。 5.7.2设备接地电阻和漏电 使用万用表电阻档测试设备的金属外壳裸露部分到设备地之间的电阻； 开启设备,将万用表旋至交流（即AC或）档,黑、红笔分别接于金属外壳裸露部分和设备地线，测试其两端电压。 5.7.3设备地与静电地之间的电阻使用万用表电阻档测试各区域设备地线任何一点与静电地线任何一点之间的电阻。 5.7.4防静电包材表面电阻 使用ESD检测仪测防静电网格袋、防静电气泡袋、防静电隔板、刀卡、珍珠棉两面的表面电阻。 5.7.5电烙铁漏电和接地阻抗测试 打开电烙铁将万用表旋至交流（即AC或）档,黑、红笔分别接于烙铁头尖端和设备地线，测试其两端电压。 打开烙铁将万用表旋至电阻档,黑、红笔分别接于烙铁头尖端和设备地线，测试其两端阻值。 5.7.6人员接地 人员正确佩戴防静电手环,将静电手环和静电手环测试仪接线端夹或插于静电地指定位置处;被测人用未佩戴防静电手环的手的大拇指或食指按压静电手环测试仪的金属板,静电手环测试仪亮绿灯为合格,亮红灯为不合格.。 5.7.7静电服、静电帽 使用ESD检测仪测量静电衣（随即取3点）、静电帽的表面阻抗。 5.7.8防静电台垫表面阻抗、拉皮带表面阻抗 每米抽3个点（前、后、中间）使用ESD检测仪测试其表面电阻。 5.7.9防静电台垫接地线电阻 使用万用表电阻档，红、黑表笔分别接接地线两端测其电阻。5.7.10电批漏电和接地阻抗测试 将万用表旋至交流(即AC或)档,黑、红笔分别接于电批咀和设备地线,测试其两端电压。 将万用表旋至电阻档,黑、红笔分别接于电批咀和设备地线，测试其两端阻值。5.8 ESD检测项目频次规定：区域

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