大庆高新区年产240万片4英寸砷化镓抛光片项目环境影响报告书

年产 240 万片 4 英寸砷化镓抛光片项目 环境影响报告书环境影响报告书 编制单位：南京国环科技股份有限公司 委托单位：大庆溢泰半导体材料有限公司 编制时间：二 0 一八年十一月 目目 录录 1 概述概述 .1 1 1.1 任务由来任务由来.1 1 1.2 项目特点项目特点.2 2 1.3 关注的主要环境问题及环境影响关注的主要环境问题及环境影响 .3 3 1.4 评价原则与工作过程评价原则与工作过程 .5 5 1.5 分析判定相关情况分析判定相关情况 .6 6 1.6 环境影响报告主要结论环境影响报告主要结论 .1616 2 总则总则 .1717 2.1 编制依据编制依据.1717 2.2 编制目的编制目的.1919 2.3 环境影响识别与评价因子筛选环境影响识别与评价因子筛选 .1919 2.4 评价标准评价标准.2020 2.5 评价内容及评价重点评价内容及评价重点 .2323 2.6 评价工作等级及评价范围评价工作等级及评价范围 .2323 2.7 污染控制与环境保污染控制与环境保护目标护目标 .3030 2.8 区域环境功能区划区域环境功能区划 .3333 3 工程概况及工程分析工程概况及工程分析 .3434 3.1 本项目概况本项目概况 .3434 3.2 本项目工程分析本项目工程分析 .4545 3.3 本项目污染物排放量汇总本项目污染物排放量汇总 .6565 4 环境现状调查与评价环境现状调查与评价 .6868 4.1 自然环境概况自然环境概况 .6868 4.2 大庆高新技术产业开发区概况大庆高新技术产业开发区概况 .7474 4.3 环境保护目标环境保护目标调查调查 .7676 4.4 环境质量现状环境质量现状 .7777 5 环境影响预测与评价环境影响预测与评价 .9797 5.1 施工期环境影响分析施工期环境影响分析 .9797 5.2 运营期环境影响评价运营期环境影响评价 .100100 6 环境保护措施及其可行性论证环境保护措施及其可行性论证 .154154 6.1 施工期污染防治措施施工期污染防治措施 .154154 6.2 运营期污染防治措施运营期污染防治措施 .156156 7 环境影响经济损益分析环境影响经济损益分析 .177177 7.1 经济效益及社会效益分析经济效益及社会效益分析 .177177 7.2 环境效益分析环境效益分析 .178178 7.3 结论结论 .180180 8 环境管理与监测计划环境管理与监测计划 .181181 8.1 环境管理环境管理 .181181 8.2 环境监测计划环境监测计划 .187187 8.3 环境监理环境监理 .189189 8.4 环境保护设施竣工验收建议环境保护设施竣工验收建议 .190190 9 结论结论 .192192 9.1 产业政策符合性及选址合理性结论产业政策符合性及选址合理性结论 .192192 9.2 环境质量现状评价结论环境质量现状评价结论 .192192 9.3 环境影响预测结论环境影响预测结论 .193193 9.4 污染防治措施污染防治措施 .196196 9.5 总量控制结论总量控制结论 .199199 9.6 公众参与结论公众参与结论 .199199 9.7 环境经济损益分析结论环境经济损益分析结论 .200200 9.8 综合评价结论综合评价结论 .200200 年产 240 万片 4 英寸砷化镓抛光片项目环境影响报告书 南京国环科技股份有限公司 第 1 页 共 200 页 1 概述概述 1.1 任务由来 中国制造 2025，是中国政府实施制造强国战略第一个十年的行动纲领。在10 个重点发展的领域之一，新一代信息技术产业中提出，着力提升集成电路设计水平，不断丰富知识产权（IP）核和设计工具，突破关系国家信息与网络安全及电子整机产业发展的核心通用芯片，提升国产芯片的应用适配能力。掌握高密度封装及三维（3D）微组装技术，提升封装产业和测试的自主发展能力。形成关键制造装备供货能力。本项目产品是砷化镓抛光片，主要应用于微波集成电路及其他高压、高功率领域。砷化镓高速半导体器件具有优异的物理性能，其在微波集成电路领域、高压和高功率领域得到了广泛应用。砷化镓（GaAs）功率放大器在高功率传输领域展现的优异的、不可替代的物理性能优势，使得砷化镓高速半导体器件产品越来越广泛应用于手机电话、无线局域网络、光纤通讯、卫星通讯、卫星定位、GPS 汽车导航等领域。预计在未来较长的期间内，砷化镓高速半导体器件将在通讯市场占据重要地位。因此，砷化镓材料在通讯领域应用前景非常广阔。我国的砷化镓材料行业，虽然受到国家的高度重视，但由于投资强度不足且分散，研究基础一直比较薄弱，发展速度缓慢。只是近几年由于半导体照明产业的拉动作用，部分民营企业开始涉足这个行业，发展速度有所加快，但也仅限于 LED 用的低端砷化镓材料，集成电路和功率器件用的大直径半绝缘砷化镓材料还是掌握在少数国际大公司手中，国内所用的 4-6 英寸半绝缘砷化镓晶片仍然基本全部依赖进口。无线通讯、光纤通讯、汽车电子等领域的高速发展，使得对砷化镓器件和电路的需求量急剧增加，进而极大地增加了对半绝缘砷化镓材料的需求量。作为半绝缘砷化镓下游产业的砷化镓集成电路业市场平均增长近年都在40%以上，尽管砷化镓分立器件的市场份额在逐步减少，砷化镓射频器件市场仍有 30%的年增长，加之卫星通讯系统和车载雷达用砷化镓单晶的潜在市场，半绝缘砷化镓的需求前景非常看好。综合以上原因，大庆溢泰半导体材料有限公司计划于黑龙江省大庆高新区建设年产240万片4英寸砷化镓抛光片项目，项目投产后产品用途广泛，市场需求稳年产 240 万片 4 英寸砷化镓抛光片项目环境影响报告书 南京国环科技股份有限公司 第 2 页 共 200 页 定，同时项目建成后能够解决社会部分闲置人员的就业问题，其社会效益显著。因此，因此本项目建设是十分必要的。受大庆溢泰半导体材料有限公司的委托，南京国环科技股份有限公司承担了大庆溢泰半导体材料有限公司年产240万片4英寸砷化镓抛光片项目的环境影响评价工作。根据建设项目环境影响评价分类管理名录（2017.09.01）及建设项目环境影响评价分类管理名录修改单（2018.4.28），本项目属于十五、化学原料和化学制品制造业，38 半导体材料，因此编制环境影响报告书。本项目无化学合成工序，采用砷化镓多晶为原材料，通过单晶生长、晶体加工、切片、磨边、研磨、抛光和清洗工序制成砷化镓抛光片，依据关于发布建设项目环境影响评价资质管理办法配套文件的公告（环境保护部公告 2015年第 67 号）附件 2 建设项目环境影响报告书（表）适用的评价范围类别规定，半导体材料适用的评价范围类别为冶金机电，因此本项目环境影响报告书行业类别为冶金机电行业。根据中华人民共和国环境保护法、中华人民共和国环境影响评价法、建设项目环境保护管理条例等有关规定的要求，课题组在资料调研、类比调查、环境现状监测及模式计算的基础上，编制完成了该项目的环境影响报告书，现提交主管部门及与会专家审查。1.2 项目特点（1）本项目为大庆溢泰半导体材料有限公司年产 240 万片 4 英寸砷化镓抛光片项目，属于国民经济行业分类（GB/T4754-2017）中的 C 制造业中 C3985电子专用材料制造。根据产业结构调整指导目录（2011 年本）（2013 年修正），本项目属于鼓励类第二十八条“信息产业”第 22 项“导体、光电子器件、新型电子元器件等电子产品用材料”，所以本项目的建设符合国家产业政策要求。（2）本项目以砷化镓多晶为原料，通过单晶生长、晶体加工、切片、磨边、研磨、抛光、清洗制成砷化镓单晶晶片，依据项目实际生产过程，本项目无化学合成工序，生产工序主要为单晶生长和后续加工工序。（3）本项目建设在大庆高新技术产业开发区主体区内，开发区产业发展方向为汽车制造、新材料业、高端装备制造、高端服务、高端新兴产业五大产业，年产 240 万片 4 英寸砷化镓抛光片项目环境影响报告书 南京国环科技股份有限公司 第 3 页 共 200 页 本项目位于大庆高新技术产业开发区主体区的产业综合区片的区域内，本项目属于大庆高新区 2015-2020 年优先鼓励发展产业目录第三大类“新材料产业”中的第 3 项“电子信息材料”中的半导体材料：多晶硅和单晶硅、砷化镓、碳化硅及抛光片、外延片，薄膜光伏材料，靶材等，因此本项目符合大庆高新技术产业开发区主体区的产业发展定位。（4）本评价范围内环境空气质量为二类区，执行环境空气质量标准（GB3095-2012）中二级标准；本项目地表水评价区域北二十里泡执行地表水环境质量标准（GB3838-2002）中 IV 类水质标准；依照地下水质量标准（GB/T14848-2017）中地下水质量分类及质量分类指标，本评价区域执行 III 类标准；本工程厂址周围声环境执行 声环境质量标准（GB3096-2008）2 类标准。（5）本项目有组织排放废气主要为生产车间的多晶清洗排风、晶体脱模排风、晶体加工车间排风、测试车间排风、切片车间排风、磨边车间排风、研磨车间排风、抛光车间排风和清洗车间排风；燃气锅炉烟气、污水处理车间恶臭气体和食堂油烟；无组织废气主要为污水处理车间无组织恶臭气体；本项目废水污染源主要为生产工艺过程排放的废水以及工作人员生活污水；本项目主要噪声源为空压机、机泵、风机等设备噪声；本项目产生的固体废物主要为生产过程产生的固体废物及职工生活垃圾。在确保全面严格落实本报告书所提各项污染防治措施并正常运行的前提下，通过加强环境管理和环境监测，所排污染物均能作到达标排放，对周围环境影响较小，可被周围环境所接受，从环境角度分析，本项目的建设是可行的。1.3 关注的主要环境问题及环境影响 1.3.1 关注的主要环境问题（1）废气 本项目产生的废气主要为生产装置排放的工艺废气，锅炉烟气，污水处理车间废气。生产装置排放的工艺废气 拟建项目生产过程中产生的废气主要为：多晶清洗排风、晶体脱模排风、晶年产 240 万片 4 英寸砷化镓抛光片项目环境影响报告书 南京国环科技股份有限公司 第 4 页 共 200 页 体加工车间排风、测试车间排风、切片车间排风、磨边车间排风、研磨车间排风、抛光车间排风和清洗车间排风。拟建项目设 4 套废气处理装置对各车间排风进行集中处理，共设 4 个排气筒。锅炉烟气 本项目锅炉采用清洁能源天然气为燃料，锅炉选用超低氮冷凝真空热水锅炉，该型号锅炉目前在国内应用广泛，能够通过FCT冷焰燃烧技术实现超低氮燃烧。锅炉烟气中各污染因子排放浓度均能满足锅炉大气污染物排放标准（GB13271-2014）表 2 中新建燃气锅炉排放标准。污水处理车间恶臭气体 污水处理车间产生的废气主要为废水处理过程中排放的恶臭气体，采用活性炭吸附法对项目产生的恶臭气体进行处理，处理后满足恶臭污染物排放标准（GB14554-1993）二级标准及厂界标准要求，由 15m 高排气筒排放。（2）废水 本项目产生的生产废水主要分为三类：含砷颗粒黑水 晶体加工车间和磨边车间产生的废水中含砷量较高，主要为固体形态的砷化镓，且纯度较高，需要单独进行预处理后方可与厂内其他废水混合后进行综合处理。高氨氮废水 多晶清洗、切片车间、研磨车间和清洗车间均使用氨水双氧水和水的混合液对砷化镓晶片进行清洗，废水中双氧水、氨水和砷酸根含量较高，需要单独进行预处理后方可与厂内其他废水混合后进行综合处理。其他含砷废水 除以上两部分废水外，生产车间产生的多晶清洗废水、晶体加工废水、测试车间废水、切片废水、磨边废水、研磨废水、抛光废水、清洗废水，车间地面冲洗废水，为一般生产废水排入厂内污水处理车间进行处理；本项目根据废水来源和废水特性，将含砷颗粒黑水；含氨水、双氧水这二股不同特性的废水采取分别收集，分别处理后再排入废水集水调节池，与其它生产工序产生的废水一起混合后，再采用生化、物化处理的工艺。三股混合废水经处年产 240 万片 4 英寸砷化镓抛光片项目环境影响报告书 南京国环科技股份有限公司