东莞市中晶半导体科技有限公司Micro LED产业化项目环评报告表

1第第 1 章章 前言前言1.1 项目由来项目由来发光二极管(light emitting diode 简称 LED)是半导体光电器件中作为发光、显示应用的最重要的元器件之一。它是一种具有两个电极端子，在电极间施加电压，通过极小的电流，发出光亮的光电元件，具有使用寿命长、反应速度快、可靠性高等优点，正广泛应用于各种仪器仪表、计算机、汽车、收录音机、照相机、电视机等产品，具有良好的市场前景。LED 半导体照明以其节电效率、饱满色光、无限混色、迅速切换、耐震、耐潮、冷温、超长寿、少维修优势，成为目前各国绿色照明政策之核心产业。特别是高功率的白光 LED 让半导体照明被认为是 21世纪最有可能进入普通照明领域的一种新型固态冷光源，半导体光源已成为全球最热门、最瞩目的光源技术。我国是世界照明电器第一大生产国、第二大出口国，半导体照明产业有着一定的产业基础。面对半导体照明的历史机遇，通过整合海内外的技术资源，发展LED 上游产业，符合国家整体利益与我国 LED 产业发展前景。目前纵观 LED 整体产业链，由于上游产业对于技术和资金要求较高，导致国内企业数量少、规模小的特点。相比之下，由于下游封装和应用对企业资金和技术要求相对较低，国内从事这两个环节的企业数量较多，上游芯片原料大多依赖国外进口。东莞市中晶半导体科技有限公司是一家集半导体材料、芯片、器件等设计、研发、生产于一体的综合开发公司。2019 年 6 月东莞市中晶半导体科技有限公司拟投资 10 亿元，在东莞市松山湖高新技术产业开发区东部地区及电子信息产业基地阿里山路北侧和桃园路东侧(北纬 225436.66、东经 1135523.50)建设东莞市中晶半导体科技有限公司 Micro LED 产业化项目。项目年产 2 英寸氮化镓自支撑衬底 2880 片、氮化镓基发光二极管晶圆 30 万片、氮化镓基发光二极管芯片 10 万片(注：芯片产品数量为等效于晶圆产品数量)。项目劳动定员 240 人；项目年工作 350 天，采用三班，8 小时工作制。1图图 1.1-1 项目所在地水系图项目所在地水系图项目位置11.2 评价工作程序评价工作程序根据中华人民共和国环境保护法(2015 年 1 月 1 日)、中华人民共和国环境影响评价法(2018 年修订)、建设项目环境影响评价分类管理名录(生态环境部令 第 1 号，2018 年 4 月 28 起执行)等文件的有关规定，该项目须编制环境影响报告书。2019 年 7 月东莞市中晶半导体科技有限公司委托湖南绿鸿环境科技有限责任公司承担该项目环境影响评价工作。评价单位接受委托后，即由东莞市绿航环保工程有限公司组成课题组，按照相关法律法规、评价技术导则及规范的要求，根据建设单位提供的有关资料，进行了详细的现场调查、预测计算与分析，编制完成东莞市中晶半导体科技有限公司 Micro LED 产业化项目环境影响报告书。按照建设项目环境影响评价技术导则 总纲(HJ2.1-2016)的要求，项目评价工作程序见图 1.2-1。图图 1.2-1 建设项目环境影响评价工作程序图建设项目环境影响评价工作程序图21.3 环境影响评价工作过程环境影响评价工作过程东莞市中晶半导体科技有限公司 Micro LED 产业化项目的环境影响评价主要工作过程为：接受委托确定环境影响评价文件类型收集资料初步工程分析环境现状调查环境质量现状监测污染源分析环境影响预测评价提出环境保护措施并进行经济技术可行性论证分析论证项目建设及选址合理合法性编制环境影响报告书环境技术中心评审报环境保护行政主管部门审批。1.4 分析判定相关情况分析判定相关情况项目的建设营运要求符合国家、行业及地方的各项法律法规要求。根据项目建设营运的特点，项目合理合法性论证需要从产业、规划等方面进行论证分析。1.4.1 与中华人民共和国大气污染防治法（与中华人民共和国大气污染防治法（2018 修订版）符合性分析修订版）符合性分析根据中华人民共和国大气污染防治法：“第四十五条产生含挥发性有机物废气的生产和服务活动，应当在密闭空间或者设备中进行，并按照规定安装、使用污染防治设施；无法密闭的，应当采取措施减少废气排放。”“第四十七条石油、化工以及其他生产和使用有机溶剂的企业，应当采取措施对管道、设备进行日常维护、维修，减少物料泄漏，对泄漏的物料应当及时收集处理。”本项目晶片清洗工序使用的丙酮与乙醇，超声清洗工序使用的异丙醇与乙醇、光刻微影工序使用的 HMDS、光刻胶，去胶工序使用的去胶液、丙酮、异丙醇，有机清洗工序使用的丙酮、异丙醇，上蜡键合使用的上蜡剂，下蜡清洗使用的去蜡液、丙酮和异丙醇，均会挥发产生 VOCs 废气。有机废气经收集后采用“沸石转轮浓缩+蓄热式热力焚化炉装置”处理，处理效率为 99%，尾气通过楼顶高空排放。其排放浓度可满足参照标准家具制造业挥发性有机化合物排放标准（DB44/814-2010）表 1 中 II 时段相关标准要求，不会对周边环境产生明显影响。因此，本项目符合中华人民共和国大气污染防治法相关要求。1.4.2 产业政策相符性分析产业政策相符性分析根据国民经济行业分类（GB/T4757-2017），本项目属于“C3979 其他电子器件制造”。对照产业结构调整指导目录(2013 年修正本)，项目属于“鼓励类”中“二十八、信息产业：42、半导体照明衬底、外延、芯片、封装及材料等”类别。3根据东莞市产业导向目录(2008 年本)，项目不属于“鼓励类”、“限制类”、“淘汰类”类别，故属于“允许类”。根据广东省主体功能区产业调整指导目录(2014 年本)，项目属于“鼓励类”中“二十七、信息产业：42、半导体照明衬底、外延、芯片、封装及材料等”类别。根据广东省主体功能区产业准入负面清单（2018 年本）（广东省发展和改革委员会、广东省经济和信息化委员会粤发改规201812 号，2018 年 9 月 14 日），东莞属于优化开发区，不属于广东省优化开发区产业准入负面清单列有的类别，属于允许类。因此，本项目建设是符合国家和地方的产业政策要求。1.4.3 与相关规定相符性分析与相关规定相符性分析（1）与与印发印发的通知（粤环【的通知（粤环【2012】18 号）相符性分析号）相符性分析根据印发的通知（粤环【2012】18 号）的规定：在自然保护区、水源保护区、风景名胜区、森林公园、重要湿地、生态敏感区和其他重要生态功能区实行强制性保护，禁止新建VOCs 污染企业，并逐步清理现有污染源。在水源涵养区、水土保持区和海岸生态防护带等生态功能区实施限制开发，加强对排污企业的清理和整顿，严格限制可能危害生态功能的产业发展。新建 VOCs 排放量大的企业入工业园区并符合园区相应规划要求。原则上珠江三角洲城市中心区核心区域内不再新建或扩建 VOCs 排放量大或使用VOCs 排放量大产品的企业。本项目厂址不在自然保护区、水源保护区、风景名胜区、森林公园、重要湿地、生态敏感区和其他重要生态功能区内，本项目运营期仅排放少量的 VOCs，且符合园区相应规划要求，因此本项目符合印发的通知（粤环【2012】18 号）的要求。（2）与关于印发东莞市建设项目环境准入负面清单（东环办【）与关于印发东莞市建设项目环境准入负面清单（东环办【2017】31 号号）相符性分析相符性分析表表 1.4-1 本项目与本项目与关于印发东莞市建设项目环境准入负面清单关于印发东莞市建设项目环境准入负面清单（东环办东环办【2017】31 号）相符性一览表号）相符性一览表序号东环办【2017】31 号文件要求本项目是否符合1全市范围内水污染类：（1）本项目符合国家和地方相符合4（1）禁止新建不符合国家产业政策的小型造纸、制革、印染、染料、炼焦、炼硫、炼砷、炼汞、炼油、电镀、农药、石棉、水泥、玻璃、钢铁、火电以及其他严重污染水环境的生产项目；（2）禁止在镇（街）及以上已通过规划环评并符合环境功能区划的产业聚集区以外的区域新建、扩建不符合环境功能区划、不满足清洁生产和工业废水“零排放”要求、企业总投资规模低于 5000万元（不含土地费用）且非企业自身产品不可或缺配套的涉及电氧化、化学镀、酸洗、磷化、蚀刻、钝化、电泳等表面处理工艺排放废水的项目；（3）全市 7 个环保专业基地外，原则上禁止新建电镀、湿式印花、漂染、洗水、造纸等重点污染项目。国家、省、市重大项目确需在基地外配套建设的须经市政府同意，并报具有相应审批权限环保部门审批；（4）除市、镇以上（含）重大项目外，在经报市环保局备案的各镇街（园区）工业集聚区以外原则上不再批准建设有新增工业废水排放的建设项目。关产业政策，不属于不符合国家产业政策的小型造纸、制革、印染、染料、炼焦、炼硫、炼砷、炼汞、炼油、电镀、农药、石棉、水泥、玻璃、钢铁、火电以及其他严重污染水环境的生产项目；（2）本项目符合相关环境功能区划，清洁生产水平可达到国内先进水平，属生物药品制造，不属于电氧化、化学镀、酸洗、磷化、蚀刻、钝化、电泳等行业；（3）本项目不属于电镀、湿式印花、漂染、洗水、造纸等重点污染项目；（4）本项目位于东莞市松山湖高新技术开发区南部地区，区域属于工业集聚区。2饮用水源保护区：（1）禁止在饮用水水源一级保护区内新建、改建、扩建与供水设施和保护水源无关的建设项目；（2）禁止在饮用水水源二级保护区内新建、改建、扩建排放污染物的建设项目；（3）禁止在饮用水水源准保护区内新建、扩建对水体污染严重的建设项目；改建建设项目，不得增加排污量；（4）禁止新建、扩建排放含有持久性有机污染物和含汞、镉、铅、砷、铬等污染物的项目；（5）禁止设置排污口；（6）禁止设置油类及其他有毒有害物品的储存罐、仓库、堆栈、油气管道和废弃物回收场、加工场；（7）禁止设置占用河面、湖面等饮用水源水体或者直接向河面、湖面等水体排放污染物的餐饮、娱乐设施；（8）禁止设置畜禽养殖场、养殖小区；本项目边界与松木山水库水源准保护区的最近距离约2200 米、与松木山水库一级保护区的最近距离约 2450 米，本项目选址不属于饮用水源保护区范围。符合5（9）禁止其他污染水源的项目；（10）禁止建设工业固体废物集中贮存、处置的设施、场所和生活垃圾填埋场。3东江流域：（1）禁止建设农药、铬盐、钛白粉、氟制冷剂生产项目，禁止建设稀土分离、炼砒、炼铍、纸浆制造业和氰化法提炼产品及开采和冶炼放射性矿产的项目；（2）重金属污染防治重点区域禁止新（改、扩）建增加重金属污染排放的项目，禁止在重要生态功能区和因重金属污染导致环境质量不能稳定达标的区域建设涉重金属污染项目。东江流域内停止审批向河流排放汞、砷、镉、铬、铅等重金属污染物和持久性有机污染物的项目。（3）东江干流、东江北干流、东江南支流的水源保护敏感区以及重要水库集雨区和供水通道两岸敏感区范围内，严禁新建电镀（含配套电镀和线路板）、湿式印花、漂染、洗水、鞣革、造纸、重化工、发酵酿造、涉重金属和持久性有机物污染、危险废物综合利用或处置等重点污染项目。本项目为半导体材料制造行业，不属于表述中的农药、铬盐、钛白粉、氟制冷剂等行业。符合（3）与关于印发东莞市建设项目差别化环保准入实施意见（修订稿）的通知）与关于印发东莞市建设项目差别化环保准入实施意见（修订稿）的通知（东环（东环2018295 号）相符性分析号）相符性分析东莞市建设项目差别化环保准入实施意见（修订稿）的通知（东环2018295号）中与本项目相关规定相符性分析见下表：表表 1.4-2 本项目与东环本项目与东环2018295 号相符性一览表号相符性一览表序号东环2018295 号本项目是否符合1水源保护敏感区。东江干流、东江北干流、东江南支流、中堂水道的水源保护敏感区以及重要水库集雨区和供水通道两岸敏感区范围内，严禁新建、扩建电镀（含配套电镀和线路板）、湿式印花、漂染、洗水、鞣革、造纸、化工、发酵酿造、涉重金属和持久性有机物污染、危险废物综合利用或处置等重点污染项目以及电氧化、化学镀、酸洗、磷化、蚀刻（含线路板蚀刻）、钝化、电泳等涉水污染金属表面处理工艺项目，同时要综合利用行政执法、加强监测以及严格排