3氮化镓(GaN)外延片及微波功率器件产

氮化镓氮化镓(GaN)外延片及微波功率器件产外延片及微波功率器件产业化项目业化项目 环境影响报告书环境影响报告书（送审送审稿）稿）建设单位：建设单位：云南凝慧电子科技有限公司云南凝慧电子科技有限公司 编制单位：湖南景玺环保科技有限公司编制单位：湖南景玺环保科技有限公司 编制时间编制时间：二零二零一一七七年年贰贰月月 云南凝慧电子科技有限公司氮化镓(GaN)外延片及微波功率器件产业化项目环境影响报告书 I 目 录 1 概述.1 1.1 项目由来项目由来.1 1.2 项目特点及关注的主要环境问题项目特点及关注的主要环境问题.2 1.3 环评工作过程环评工作过程.2 1.4 环评主要结论环评主要结论.3 2 总则.5 2.1 编制依据编制依据.5 2.2 评价目的及评价原则评价目的及评价原则.8 2.3 评价因子评价因子.9 2.4 采用的环境标准采用的环境标准.10 2.5 评价工作等级和评价重点评价工作等级和评价重点.15 2.6 评价范围及环境敏感保护目标评价范围及环境敏感保护目标.17 3 工程分析.19 3.1 项目基本概况项目基本概况.19 3.2 产品方案产品方案.19 3.3 项目主要建设内容项目主要建设内容.20 3.4 厂区平面布置厂区平面布置.21 3.5 项目主要生产设备项目主要生产设备.22 3.6 原辅材料原辅材料.22 3.7 给排水给排水.22 3.8 供气、供热和供电供气、供热和供电.26 3.9 项目生产工艺流程及产污环节分析项目生产工艺流程及产污环节分析.27 3.10 项目污染源强及污染物排放量分析项目污染源强及污染物排放量分析.28 4 环境现状调查与评价.43 4.1 滇中产业新区概况滇中产业新区概况.43 4.2 昆明空港经济区昆明空港经济区.44 4.3 厂区周围状况厂区周围状况.45 4.4 自然环境状况自然环境状况.45 4.5 环境质量现状评价环境质量现状评价.50 4.6 区域污染源调查区域污染源调查.56 5.施工期环境影响分析与评价.58 5.1 大气环境影响分析与评价大气环境影响分析与评价.58 5.2 水环境影响分析与评价水环境影响分析与评价.60 5.3 声环境影响分析与评价声环境影响分析与评价.61 5.4 固体废物影响分析与评价固体废物影响分析与评价.63 5.5 生态环境影响分析与评价生态环境影响分析与评价.63 6 营运期环境影响预测与分析.65 6.1 大气环境影响分析大气环境影响分析.65 6.2 地表水环境影响分析地表水环境影响分析.72 6.3 地下水环境影响分析地下水环境影响分析.73 6.4 声环境影响预测与评价声环境影响预测与评价.74 6.5 固体废弃物处置影响评价固体废弃物处置影响评价.76 7 环境风险评价.78 7.1 风险识别及评价等级风险识别及评价等级.78 7.2 最大可信事故源项分析最大可信事故源项分析.83 7.3 后果计算后果计算.86 7.4 风险管理风险管理.89 云南凝慧电子科技有限公司氮化镓(GaN)外延片及微波功率器件产业化项目环境影响报告书 II 7.5 风险评价小结风险评价小结.100 8 环境保护措施及其技术经济论证.101 8.1 废气防治措施评述废气防治措施评述.101 8.2 废水防治措施评述废水防治措施评述.106 8.3 噪声防治措施评述噪声防治措施评述.114 8.4 固废防治措施评述固废防治措施评述.116 8.5 地下水及土壤环地下水及土壤环境保护措施论证境保护措施论证.117 8.6 污染治理污染治理“三同时三同时”验收清单验收清单.118 9 产业政策和清洁生产分析.120 9.1 产业政策相符性分析产业政策相符性分析.120 9.2 清洁生产分析清洁生产分析.120 10 污染物排放总量控制.124 11 环境影响经济损益分析.125 11.1 经济投资损益分析经济投资损益分析.125 11.2 社会效益分析社会效益分析.125 11.3 环境效益分析环境效益分析.125 12 环境管理与环境监测.126 12.1 环境管理环境管理.126 12.2 环境监测环境监测.127 12.3 排污口规范化排污口规范化.128 13 厂址选择与厂区平面布置合理性分析.130 13.1 与规划的符合性分析与规划的符合性分析.130 13.2 环境容量分析环境容量分析.141 13.3 当地政府单位、社会团队和个人意见当地政府单位、社会团队和个人意见.142 13.4 厂区平面布置厂区平面布置.143 13.5 小结小结.144 14 结论.145 14.1 项目概况项目概况.145 14.2 产业政策符合性产业政策符合性.145 14.3 相关规划符合性相关规划符合性.145 14.4 总量控制总量控制.146 14.5 污染物达标排放污染物达标排放.146 14.6 环境影响环境影响.146 14.7 环境风险环境风险.147 14.8 总结论总结论.147 云南凝慧电子科技有限公司氮化镓(GaN)外延片及微波功率器件产业化项目环境影响报告书 III 附件和附图 附件：附件 1：审批登记表 附件 2:环评委托书 附件 3：投资备案证 附件 4：投资协议书 附件 5：标准确认函 附件 6：环境质量现状监测报告 附图：附图 1：评价范围及监测布点图 附图 2：建设项目与周围敏感保护目标位置关系图 附图 3：建设项目地理位置和水系图 附图 4：平面布置总图 附图 6：生产工艺流程总图和产排污节点分布图 附图 7：滇中新区临空产业园规划图 附图 8：园区污水工程规划图 云南凝慧电子科技有限公司氮化镓(GaN)外延片及微波功率器件产业化项目环境影响报告书 1 1 1 概述概述 1.11.1 项目由来项目由来 第三代半导体材料是近年来迅速发展起来的以碳化硅（SiC）、氮化镓（GaN）、氧化锌（ZnO）、金刚石、氮化铝（AlN）为代表的宽禁带半导体材料。和第一代、第二代半导体材料相比，第三代半导体材料具有宽的禁带宽度，高的击穿电场、高的热导率、高的电子饱和速率及更高的抗辐射能力强的优点，是固态光源和电力电子、微波射频器件的“核芯”。与硅类功率器件的性能相比，GaN 功率器件的性能具有十分明显的优势。首先，转换效率很高，GaN 的禁带宽度是硅的 3 倍，临界击穿电场是硅 10 倍，因此，同样额定电压的 GaN 功率器件的导通电阻比硅器件低 1000 倍左右，大大降低了开关的导通损耗；其次，工作频率很高，GaN 的电子渡越时间比硅低 10倍，电子速度比在硅中高 2 倍以上，反向恢复时间基本可以忽略，因此 GaN 开关功率器件的工作频率可以比硅器件提升至少 20 倍，大大减小了电路中储能元件如电容、电感的体积，从而成倍地减小设备体积，减少铜等贵重原材料消耗，开关频率高还能减少开关损耗，进一步降低电源总的能耗；第三，工作温度很高，GaN 的禁带宽度高达 3.4eV，本征电子浓度极低，电子很难被激发，理论上 GaN器件可以工作在 800以上的高温。GaN 功率器件结构可以在 SiC、金刚石等高导热率衬底上生长，从而具有极高的散热特性，同时也可以在价格低、工艺成熟、直径大的 Si 衬底上生长，具有低成本、高性能优势。因此，GaN 功率器件已经被认为是当前最理想的微波功率器件。业界普遍看好 GaN 功率器件的市场发展前景。本项目技术源于西安电子科技大学郝跃院士研发团队。西安电子科技大学郝跃院士多年从事宽禁带半导体研究，郝院士研制的氮化镓（GaN）微波功率器件是雷达和通信网络建设的必备元器件，技术达国际先进水平，目前已完成超过2000 件的微波功率器件试制，为项目的产业化应用提供了生产实例和产业化设计依据。为了推进项目的产业化应用，云南凝慧电子科技有限公司获得了郝跃院士团队与氮化镓项目相关的三十一项专利转让，同时拟投资 120030 万元在云南省昆明空港经济区建设氮化镓(GaN)外延片及微波功率器件产业化项目，项目达云南凝慧电子科技有限公司氮化镓(GaN)外延片及微波功率器件产业化项目环境影响报告书 2 产后年产氮化镓外延片 9 万片（中间产品）、军用雷达微波功率器件 5 万枚、5G通信用功率器件及其他器件 6000 万枚。本项目已取得云南滇中新区行政审批局的备案（备案项目编码：165301113960011）（见附件3），按照中华人民共和国环境保护法、中华人民共和国环境影响评价法和建设项目环境保护管理条例的有关规定，应当在工程项目可行性研究阶段对该项目进行环境影响评价。为此，云南凝慧电子科技有限公司于2016年9月委托湖南景玺环保科技有限公司承担本项目环境影响评价报告书的编制工作。1.21.2 项目特点及关注的主要环境问题项目特点及关注的主要环境问题 本项目生产过程中产生的废气主要为氨气、氯气、颗粒物、非甲烷总烃、氟化物、SO2、氮氧化物等，所有的废气经处理后均可以达标排放，经影响预测对当地的环境影响很小；晴天所有的废水经处理后全部回用，雨天仅生活污水外排进入园区污水管网；所有固废全部妥善处置。针对本项目的工程特点和项目周围的环境特点，本项目的主要环境问题是：（1）大气污染物对当地大气环境的影响；（2）废气、废水治理工程的技术经济可行性；（3）本项目环境风险控制情况以及可接受程度。1.31.3 环评工作过程环评工作过程 根据中华人民共和国环境保护法、建设项目环境保护管理条例和中华人民共和国环境影响评价法 的相关规定，本项目应开展环境影响评价。为此，云南凝慧电子科技有限公司委托湖南景玺环保科技有限公司承担本项目的环境影响评价工作。湖南景玺环保科技有限公司接受委托后，即组织评价技术小组，赴现场踏勘，调查并收集了建设项目有关资料，经工程分析、环境影响识别和影响预测分析，并在此基础上，根据国家相关的环保法律法规和相应的标准，编制了本项目环境影响报告书。通过环境影响评价，了解了项目建设前的环境现状，预测了项目建设过程中和运营后对周围水环境、环境空气及声环境的影响程度和范围，并提出了污染防治对策和减缓项目建设对周围环境影响的可行措施，为项目工程设计、云南凝慧电子科技有限公司氮化镓(GaN)外延片及微波功率器件产业化项目环境影响报告书 3 施工和项目建成后的环境管理提供科学依据。本次环评采用的技术路线见图1.3-1。图图 1.3-1 环评技术路线图环评技术路线图 1.41.4 环评主要结论环评主要结论 本项目符合国家产业政策，厂址选择符合规划要求；采取的污染治理措施可行，可实现污染物达标排放，对环境污染贡献值小，影响小，污染物排放总量能适应环境功能级别，可维持环境质量现状；项目符合清洁生产原则；在企业做到云南凝慧电子科技有限公司氮化镓(GaN)外延片及微波功率器件产业化项目环境影响报告书 4 污染物稳定达标排放和确保环境风险事故可知可控的前提下当地公众对项目建设没有反对意见；在建设单位做好各项风险防范措施及应急措施的前提下项目的风险值在可接受范围内；经济损益具有正面效应。因此，从环境保护角度上讲，施工期和运营期建设单位在积极采取必要的环境保护措施，同时加强风险事故的控制措施后，该项目在本地区建设是可行的。云南凝慧电子科技有限公司氮化镓(GaN)外延片及微波功率器件产业化项目环境影响报告书 5 2 2 总则总则 2.12.1 编制依据编制依据 2.1.1 国家法规与政策国家法规与政策（1）中华人民共和国环境保护法，国家主席令第九号，2014.4.24 修订，2015.1.1 起施行；（2）中华人民共和国水污染防治法，国家主席令第 87 号，2008.2.28 修订通过，2008.6.1 起施行；（3）中华人民共和国大气污染防治法，国家主席令第 32 号，2015.8.29修订通过，2016.1.1 起执行；（4）中华人民共和国环境噪声污染防治法，国家主席令 77 号，1996.10.29通过，1997.3.1 起执行；（5）中华人民共和国固体废物污染环境防治法，国家主席令第 31 号，2015.4 修订；（6）中华人民共