华天科技（昆山）电子有限公司晶圆级高端封装测试产品生产扩建项目 环评报告表

建设项目环境影响报告表 项目名称：华天科技（昆山）电子有限公司华天科技（昆山）电子有限公司 晶圆级高端封装测试产品生产扩建项目（晶圆级高端封装测试产品生产扩建项目（第一阶段第一阶段）建设单位(盖章)华天科技（昆山）电子有限公司华天科技（昆山）电子有限公司 编制日期:2021 年 3 月 江苏省环境保护厅制 公示稿 建设项目环境影响报告表编制说明 建设项目环境影响报告表由具有从事环境影响评价工作资质的单位编制。1 项目名称指项目立项批复时的名称，应不超过 30 个字（两个英文字段作一个汉字）。2 建设地点指项目所在地详细地址，公路、铁路应填写起止地点。3 行业类别按国标填写。4 总投资指项目投资总额。5 主要环境保护目标指项目区周围一定范围内集中居民住宅区、学校、医院、保护文物、风景名胜区、水源地和生态敏感点等，应尽可能给出保护目标、性质、规模和距厂界距离等。6 结论与建议给出本项目清洁生产、达标排放和总量控制的分析结论，确定污染防治措施的有效性，说明本项目对环境造成的影响，给出建设项目环境可行性的明确结论。同时提出减少环境影响的其它建议。7 预审意见由行业主管部门填写答复意见，无主管部门项目，可不填。8 审批意见由负责审批该项目的环境保护行政主管部门批复。公示稿一、建设项目基本情况一、建设项目基本情况 项目名称项目名称 华天科技（昆山）电子有限公司晶圆级高端封装测试产品生产扩建项目（第一阶段）建设单位建设单位 华天科技（昆山）电子有限公司 法人代表法人代表 肖智轶 联系人联系人 张成新 通讯地址通讯地址 江苏省昆山开发区龙腾路 112 号 联系电话联系电话 0512-50353766 传真传真/邮政邮政编码编码 215300 建设地点建设地点 江苏省昆山开发区龙腾路 112 号 立项审批立项审批部门部门 江苏省昆山开发区管理委员会 批准文号批准文号 昆开内备【2021】13号 建设性质建设性质 扩建 行业类别行业类别 及代码及代码 C3973 集成电路制造 占地面积占地面积（平方（平方米）米）全厂 78000 绿化面积绿化面积(平方米平方米)依托现有已建 全厂 12960 总投资总投资(万元万元)90600 其中：环保投资其中：环保投资（万元）（万元）5340 环保投环保投资占总资占总投资比投资比例例 5.9%评价经费评价经费（万元）（万元）/预期投产日期预期投产日期 2021 年 4 月 原辅材料（包括名称、用量）及主要设施规格、数量（包括锅炉、发电机等）原辅材料（包括名称、用量）及主要设施规格、数量（包括锅炉、发电机等）华天科技（昆山）电子有限公司晶圆级高端封装测试产品生产扩建项目（三期总规划项目）分三阶段进行建设，三期总规划项目于 2020 年 10 月 23 日通过苏州市行政审批局审批（苏行审环评（2020）41044 号），为便于企业监管，拟单独编制分阶段项目的环评报告，本次扩建项目为其中第一阶段项目。本次扩建项目产品原辅料消耗表见表 1-1，主要原辅料理化性质见表 1-2。1 1 公示稿表表 1-1 主要原辅料消耗主要原辅料消耗 类别 名称 规格 组分 年耗量 单位 最大仓 储量 t 包装储存 方式 包装 方式 储存地点 来源及 运输 原料 辅料 TSV 晶圆 12 英寸 主要成分 Si，含有微量氮化镓 12 万片 1 万片/室内/盒装 原料仓库 国内运输 玻璃 Dia300mm 0.4t 玻璃 15 万片 3 万片 100 片/盒 室内/盒装 原料仓库 国内运输 聚酰亚胺胶带 330mm50m0.04mm 聚酰亚胺 62.5%、硅树脂37.5%13 万米 2 万米 30kg/卷 室内/卷装 原料仓库 国内运输 玻璃清洗剂 Deconex OP 148 氢氧化钠 5%-15%、两性表面活性剂5%、非离子表面活性剂5%、阴离子表面活性剂5%25.6 t 1.2t 30kg/桶 室内/桶装 乙类化学品库 国内运输 环氧树脂胶 353ND PART A+B 双酚 F 75-100%、咪唑25%-50%0.256 t 0.2t 412g/瓶 室内/瓶装 乙类化学品库 国内运输 异丙醇 电子级 99.7%148933 L 2000L 20L/桶 室内/桶装 甲类化学品库 国内运输 硅晶片粘着剂 AP8000 3-氨丙基硅三醇0.5%、1-甲氧基-2-丙醇99%、1-甲氧基-1-丙醇0.5%24848 L 1000L 1 加仑/瓶 室内/瓶装 甲类化学品库 国内运输 光刻胶 AZP4620 丙二醇单甲醚醋酸酯60%-65%、甲酚酚醛树脂35%、重氮萘醌磺酸酯 1%-5%1284 L 113.55L 1 加仑/瓶 室内/瓶装 乙类化学品库 国内运输 光刻胶 JSR5100 乳酸乙酯55%-65%、羟基苯乙烯树脂20%-30%、感光剂5%-15%0.096 t 0.03t 1千克/瓶 室内/瓶装 乙类化学品库 国内运输 2 2 公示稿显影液 4%KOH 4%KOH 81000 L 1000L 10L/桶 室内/桶装 乙类化学品库 国内运输 显影液 TMAH2.38%四甲基氢氧化铵 2.38%、剩余量为水 53 t 2t 1 加仑/瓶 室内/瓶装 乙类化学品库 国内运输 防护材料 EPIC LSF60 双酚 A 为基础环氧树脂40%-50%、丙二醇甲醚醋酸酯20%-30%、改性酚醛树脂15%-20%7.86 t 4t 1 加仑/瓶 室内/瓶装 甲类化学品库 国内运输 WLP-SH-32-1-1 3-甲氧基-1-丁醇30.0%-60.0%、丙烯酸类聚合物 30.0%-60.0%、丙烯酸类单体10.0%-30.0%染料化合物1%1.04 t 0.3t 1 加仑/瓶 室内/瓶装 乙类化学品库 国内运输 无水碳酸钠 电子级 99.8%16.2 t 1t 0.5kg/瓶 室内/瓶装 乙类化学品库 国内运输 丙酮 电子级 99.7%79650 L 2000L 20L/桶 室内/桶 甲类化学品库 国内运输 钛靶材 Ti 99.999%Ti 99.999%7（0.063t）个 4 个 盒装 室内/盒装 原料仓库 国内运输 铜靶材 Cu 99.999%Cu 99.999%22(0.418t)个 4 个 盒装 室内/盒装 原料仓库 国内运输 电镀铜 铜阳极 磷铜阳极 12 英寸（3mm 厚）Cu 99.935-99.96%、P0.04-0.065%120（0.23t）个 25 个 盒装 室内/盒装 原料仓库 国内运输 电镀铜母液 CZ606-M-KG 硫酸铜 22%、硫酸 5%、脂肪醚醇 2%26 t 1t 2kg/桶 室内/桶装 乙类化学品库 国内运输 添加剂 A CZ606-A-KG 噻唑类化合物 2%、聚氧乙烯脂肪醇醚 3%1.82 t 0.1t 10kg/桶 室内/桶装 乙类化学品库 国内运输 3 3 公示稿添加剂 B CZ606-B-KG 聚氧乙烯脂肪醇醚 2%、硫酸1%3.96 t 0.1t 10kg/桶 室内/桶装 乙类化学品库 国内运输 添加剂 C CZ606-C-KG 聚乙烯亚胺季铵铜 5%、聚氧乙烯脂肪醇醚 4%2.1 t 0.1t 10kg/桶 室内/桶装 乙类化学品库 国内运输 抗氧化剂/烷基酚醚类表面活性剂 7%；磷酸钠 0.5%；甘油 1.8%；唑类缓冲剂 0.5%；其余为水 960 L 200L 20L/桶装 室内/桶装 乙类化学品库 国内运输 化镀镍 除油剂 LCC-2-M-KG 表面活性剂 0.4%，乙酸 0.3%2.34 t 0.1t 10kg/桶 室内/桶装 乙类化学品库 国内运输 过硫酸钠 电子级 99.9%0.95 t 0.025t 0.5kg/瓶 室内/瓶装 乙类化学品库 国内运输 活化液 LAT-1-M-KG 硫酸 9%,硫酸铜 0.07%，硫酸钯 0.03%2.44 t 0.1t 10kg/桶 室内/桶装 乙类化学品库 国内运输 后浸液 LPD-1-M-KG 硫酸 8.9%，氯化钠 1.9%1.49 t 0.08t 10kg/桶 室内/桶装 乙类化学品库 国内运输 化镀镍母液 NMR-1-M-KG 次亚磷酸钠 24%，氢氧基羧酸29.9%，氢氧化钠 5.5%11301 L 1000L 20L/桶 室内/桶装 乙类化学品库 国内运输 添加剂 A NMR-1-A-KG 硫酸镍 35.7%8523 L 500L 20L/桶 室内/桶装 乙类化学品库 国内运输 添加剂 B NMR-1-B-KG 次亚磷酸钠 44.1%，氢氧基羧酸 2.5%5648 L 500L 20L/桶 室内/桶装 乙类化学品库 国内运输 添加剂 C NMR-1-C-KG 氢氧化钠 12.5%5976 L 500L 20L/桶 室内/桶装 乙类化学品库 国内运输 添加剂 D NMR-1-D-KG 硫酸 0.05%3006 L 100L 20L/桶 室内/桶装 乙类化学品库 国内运输 化镀金 化镀金母液 TUS-M-KG 氢氧化钠 5.5%，氢氧基羧酸盐 5.8%349 L 20L 20L/桶 室内/桶装 乙类化学品库 国内运输 化镀金添TUS-R-KG 乙二胺四氯乙烯钾 0.1%，柠546 L 60L 20L/桶 室内/桶乙类化国内4 4 公示稿加剂 檬酸钾 6.9%装 学品库 运输 氰化金钾 KAu(CN)4 KAu(CN)499.9%19 kg 5000 克 100g/瓶 室内/瓶装 甲类化学品 国内运输 无铅锡膏 97SCLF318 AGS88.5V 锡 60%-100%、变性酸氢化胶树脂 1-5%、松香 1-5%、银1-5%、铜 0.1-1%1.5 t 0.4t 0.5 kg/瓶 室内/瓶装 乙类化学品库 国内运输 BGA 清洗剂 清洗剂 ST-120 乙二醇醚 85%、异丙醇胺10%，其余为水 11.2 t 7t 19 kg/桶 室内/桶装 乙类化学品库 国内运输 八氟化四碳 50Kgs C4F8 99.999%2 t 0.5t 50kg/瓶 室内/瓶装 乙类化学品库 国内运输 六氟化硫,SF6 50Kgs 六氟化硫 99.999%5.8 t 1t 50kg/瓶 室内/瓶装 乙类化学品库 国内运输 氩气/240 m3 20m3 10m3/瓶 室内/瓶装 乙类化学品库 国内运输 正硅酸乙酯 DISS634 正硅酸乙酯(99.99%)0.1 t 0.017 17kg/瓶 室内/瓶装 乙类化学品库 国内运输 NF3/0.4 t 0.017 17 kg/瓶 室内/瓶装 乙类化学品库 国内运输 氦气/108 m3 20m3 10m3/瓶 室内/瓶装 乙类化学品库 国内运输 无水乙醇 电子级 纯品 99.5%6.2 t 1.5t 20kg/桶 室内/桶装 甲类化学品库 国内运输 Cu 刻蚀液 RTE-30 H2O2 2%、硫酸 6%48963 L 900L 10L/桶 室内/桶装 乙类化学品库 国内运输 硫酸 电子级，30%H2SO4 30%16181 L 5t 20kg/桶 室内/桶装 乙类化学品库 国内运输 Ti 刻蚀液 CZ703-KG 过硫酸钠 5%，氟化钠 0.5%19.1 t 0.6t 10kg/桶 室内/桶乙类化国内5 5 公示稿装 学品库 运输 去胶剂 除胶剂 柠檬酸 45%、添加剂 5%、甲基吡咯烷酮10%-20%60750 L 3000L 25L/桶 室内/桶装 乙类化学品库 国内运输 钢网清洗剂 S-P301 硅酸钠 1.0%3.0%、碳酸钠2.0%5.0%、1-（1-甲基-2-丙氧基乙氧基）-2-丙醇5%100%水 25%35%、二丙二醇丁醚（余量）240 L 100L 20L/桶 室内/桶装 乙类化学品库 国内运输 丝网清洗剂 1571-G/5G/54G 二丙二醇丙醚 6080%、3-甲氧基-3-甲基-1-丁醇 1030%2.6 t 2.7t 17kg/桶 室内/桶装 甲类化学品库 国内运输 FC 研磨轮 320#8000#金刚石 8 pcs 80 pcs/室内/盒装 原料仓库 国内运输 减薄胶膜 2